【課題】温度係数が逆符号のＸカット水晶板とＹカット水晶板とを直接接合して零温度係数をもつ水晶振動子を構成し、温度依存性が小さく、かつ、電気機械結合係数が大な、さらに周波数温度特性の良い水晶振動子を得る。
【解決手段】プラスの温度係数を有するＸカット水晶板１０とマイナスの温度係数を有するＹカット水晶板１１の対向する主面を適宜の接合方法により直接接合するとともに、他の対向する露出した主面に電極１２をそれぞれ形成して零温度係数を有する水晶振動子を構成する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の検出結果に基づいて出力周波数を補正する発振装置において、出力周波数の温度補償を高精度に行うこと。
【解決手段】共通の水晶片により第１及び第２の水晶振動子を構成すると共に、これら水晶振動子に夫々接続される第１及び第２の発振回路の発振出力をｆ１、ｆ２とし、基準温度における第１及び第２の発振回路の発振周波数を夫々ｆ１ｒ、ｆ２ｒとすると、ｆ１とｆ１ｒとの差分に対応する値と、ｆ２とｆ２ｒとの差分に対応する値と、の差分値に対応する値をそのときの温度として取り扱う。そしてこの差分値に対応する値に基づいてｆ１の周波数補正値の近似式により第１の補正値を求め、この第１の補正値と実測した周波数補正値との差である補正残差から当該補正残差分を相殺するための第２の補正値を求める。そしてこれら第１の補正値と第２の補正値との和から周波数補正値を求める。 （もっと読む）

【課題】サーミスタ電極に外部からのノイズが重畳することを低減し、温度情報の差異を抑え、発振周波数の変動を低減させた圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスは、素子搭載部材１１０と、素子搭載部材１１０に搭載されており励振用電極１２２を有している圧電振動素子１２０と、素子搭載部材１１０の内部に設けられているサーミスタ電極１４０とを備えている。サーミスタ電極１４０の全体が、平面透視において圧電振動素子１２０の励振用電極１２２と重なっている。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】圧電板の外形を正しく認識して、電極部を高精度に形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】金属積層膜２８上にフォトレジスト材を塗布し、金属積層膜２８上にフォトレジスト膜４４を形成する第１フォトレジスト膜材形成工程と、フォトレジスト膜４４をパターニングしてレジストパターン５４を形成する第１パターニング工程と、レジストパターン５４の形成領域以外の領域の金属積層膜２８を除去して、下地電極膜を形成する第１エッチング工程と、を有し、フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳにおける第１面Ｓａ側に配置された第１治具７２、及び第２面Ｓｂ側に配置された第２治具７３により、ウエハＳを厚さ方向の両側から挟持して行い、第１治具７２及び第２治具７３は、ウエハＳの厚さ方向から見て重なり合わない位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体を用いた振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、該基部から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、該振動腕上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４とを有し、該圧電体素子は、該振動腕上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、該圧電体素子の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、励振電極をキャビティの外に形成することにより小型化された圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一主面及び他主面を有し、電圧の印加により振動する圧電振動部（１１１）を有する第１板（１１０）と、第１板の一主面に接合される第２板（１２０）と、第１板の他主面に接合される第３板（１３０）と、圧電振動部を振動させる第１励振電極（１６０ａ）及び第２励振電極（１６０ｂ）と、を備え、第１励振電極は第２板の第１板とは反対側の面に形成され、第２励振電極は第３板の第１板とは反対側の面に形成される圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ共振器において、差動動作を可能とする構成を有して、ノイズの低減を図ることができ、小型で高出力の捩り振動を用いたＭＥＭＳ共振器を提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳ共振器は、両端が捩り振動の節となり、中央が捩り振動の腹となる振動部（５ａ）を有する振動子（５）と、前記振動部（５ａ）の外周面を構成する少なくとも２つの側面に対向し、前記振動部（５ａ）の中央に配置された少なくとも３つの電極（２，３，７）と、を備えており、前記少なくとも３つの電極における２つの電極に対して、互いに位相が１８０度異なる交流信号が入力または出力されるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】振動体の支持構造体の寸法精度のばらつきによる共振周波数のばらつきを小さくし、かつ、支持構造体から漏洩するエネルギー損失を極力小さくする。
【解決手段】ディスク型の振動体１と、該振動体１の両側に前記ディスク型振動体の外周部に対して所定の空隙ｇを有して、それぞれ対向して配置される駆動電極２，２と、該駆動電極２，２に同相の交流バイアス電圧を印加する手段２ａと、前記ディスク型振動体１と前記駆動電極２，２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段３，３ａとを備えた静電駆動型のディスク型ＭＥＭＳ振動子において、前記ディスク型振動体１が該ディスクの中心に直立して設けた柱状の支持構造体１ａで支持され、かつ、該支持構造体１ａの横断面形状が非円形であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】振動子の振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝（１２０ａ）を形成し、かつ、この溝の中に電極（１４０ａ）を形成する。これによって、ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】一般的な共振回路において可変リアクタンス素子や可変インダクタンス素子を使用することなく、発振周波数やフィルタの周波数特性を制御し得る共振回路、及びかかる共振回路を使用した発振回路やフィルタ等を提供する。
【解決手段】水晶振動子等の圧電振動子やコイル、コンデンサあるいはそれらと等価的な素子を組み合わせた共振回路であって、互いに共振周波数の異なる少なくとも２つの共振回路を組み合わせ、夫々の共振回路の励振電流若しくは電圧を独立に変化させると、複合共振回路全体の反共振周波数を変動させることができる現象を利用して、その周波数特性を自在に調整し得る発振回路やフィルタを構成する。 （もっと読む）

【課題】内部応力の集中を回避し、信頼性の高い振動片、振動子、発振器を提供する。
【解決手段】基部１０と、前記基部から延出する腕部２０，３０，４０とを備える振動片であって、前記腕部１０の一方の主面に配置される圧電素子を備え、前記圧電素子は圧電体膜７０ａ、７０ｂ、７０ｃと、前記圧電体膜の一方の側に設けた第１電極膜５０と、前記圧電体膜の他方の側に設けた第２電極膜６０と、を備え、前記圧電素子は、前記第１電極膜を前記主面の側に配置され、前記圧電体膜の前記基部の側の端部が、前記腕部の平面内に有る振動片。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜の段差部へ第２電極を延伸して確実に形成することが可能な圧電振動片を提供する。
【解決手段】水晶振動片（屈曲振動片）１は、基部２と、基部２から延長して形成され屈曲振動をする振動腕３と、励振電極（第１電極）１２と、励振電極（第２電極）２２と、励振電極１２および励振電極２２との間に配置された圧電体層６と、を含み、励振電極１２を振動腕３の側にして少なくとも振動腕３に形成された積層構造体９と、を有し、励振電極２２は、積層構造体９からさらに延伸し、圧電体層６の端部の段差部７を含んで基部２にまで形成され、段差部７では振動腕３に形成された励振電極２２より幅の広い拡幅部４を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても電界成分が減少しなく、生産性及び振動の安定性に優れる圧電振動片または圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片（１０Ａ）は、表裏面を有する矩形状の音叉基部（１１）と、表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、音叉基部のＸ軸方向の幅よりも狭い位置からＹ軸方向に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の表裏面から音叉基部の表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部（１３Ａ、１３Ｂ）と、二対の振動腕溝部に並行して配置され、音叉基部のＸ軸方向の両外側に形成される一対の段差側面部（１５Ａ、１５Ｂ）と、振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の一方の段差側面部に形成された第１電極と、振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の他方の段差側面部に形成され、第１電極とは異なる極性の第２電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、振動部と振動電極とを所定の間隙に維持して、十分な気密性が確保できる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 厚みすべり振動モードを有する振動部（ＳＢ）とこの振動部の周囲に形成され前記振動部を支持する支持枠部（ＳＷ）とを有する圧電振動板（２０）と、圧電振動板に接合され、前記振動部に対応する位置に振動部を励振させる励振電極とこの励振電極の周囲に形成される周囲部とを有する第１カバー板（１０）と、を備え、圧電振動板の支持枠部と前記第１カバー板の周囲部との少なくとも一方に、振動部と励振電極とを所定の間隙に維持する高さで振動部の全周を囲む第１凸部（１１）を有し、第１凸部を除く第１凸部の近傍に振動部の全周を囲んで塗布された接着剤（２３）で圧電振動板と第１カバー板とが接合される。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体および振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、基部２７から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に設けられ、通電により伸縮して振動腕２８、２９、３０を振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、圧電体素子２２、２３、２４は、振動腕２８、２９、３０上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、第１の電極層２２１、２３１、２４１上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、圧電体層２２２、２３２、２４２上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、圧電体素子２２、２３、２４の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】共振器の信号対ノイズ比の効果的な低減を可能にするのに十分に高い振動振幅を達成しながら、安定した様式でヒステリシス効果の抑制を実現することを可能にする、共振器を発見提供すること。
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの変形可能な要素(20)と、少なくとも1つの第1の周波数での第1の作動力および少なくとも1つの第2の周波数での第2の作動力を同時に少なくとも1つの変形可能な要素に加えるための、この変形可能な要素のための作動手段(40、42、44)とを含み、第1および第2の周波数が作動力のうちの1つの周波数に等しい周波数で少なくとも2つの同時共振を生成する、電気機械共振器に関する。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部の側面に設けられる励振用電極をショートさせずに、容易に電極形成を行う。
【解決手段】 音叉型屈曲水晶振動素子であって、基部と、基部から延設する２つ一対の振動腕部と、振動腕部の間であって基部から延設する内側腕部と、振動腕部と向かい合うそれぞれの内側腕部の側面に内側腕部から所定の間隔をあけて設けられる電極膜切断用腕部と、を備え、内側腕部の振動腕部と対向する側面と電極膜切断用腕部の振動腕部と対向する側面とに電極膜が設けられ、内側腕部の振動腕部と対向する側面に設けられる電極膜と電極膜切断用腕部の振動腕部と対向する側面に設けられる電極膜とが切断した状態で構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を抑制すること。
【解決手段】図２に示す振動子１０は、互いに対向する位置に配置され、同一材料の一対の筐体となる基板１２、１３と、基板１２、１３にそれぞれ設けられる励振用の電極１７、１８と、基板１２、１３間に設けられ、電極１７、１８に電圧が印加されることにより発振する可動部１６と、可動部１６を支持し、外力の可動部１６への伝達を抑制する少なくとも２つの支持部１５、１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動デバイスの製造に際し、アニール処理により減少させたＣＩ値が、アニール処理後のさらなる熱処理により大幅に増加することを抑制する。
【解決手段】圧電材料からなる圧電振動片１において、前記圧電材料に接合する第１金属と、この第１金属に接合する第２金属とにより励振電極２６，２７を形成する。ここで、前記第２金属は前記第１金属よりも高い導電性を有するものとし、且つ、前記第２金属に対する前記第１金属の重量比を、５．９％超〜３０．３％以下とする。 （もっと読む）