【課題】シャッター部を狭ピッチで並設することのできるシャッター装置を提供すること。
【解決手段】シャッター装置１は、ｘ軸方向に往復移動可能なシャッター部３と、シャッター部３をｘ軸方向へ移動させる駆動部４と、シャッター部３のｘ軸方向への移動を案内するガイド手段７とを有する。シャッター部３は、遮蔽部３１と、遮蔽部３１と駆動部４とを連結する連結部３２とを有する。ガイド手段７は、ｙ軸方向に連結部３２を挟んで設けられた一対の凸部７５１、７５２を有している。遮蔽部３１のｙ軸方向の幅をＬ１とし、連結部３２（第１連結部３２１）のｙ軸方向の幅をＬ２とし、凸部７５１、７５２の離間距離をＬ３とすると、Ｌ１＞Ｌ３＞Ｌ２なる関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整を高精度に行うことができる周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】周波数調整方法は、シャッター装置１２０を開状態として振動子２００の質量変化を開始し、シャッター装置２００を開状態から閉状態として振動子２００の質量の変化を終了することによって振動子２００の共振周波数を調整する周波数調整工程［Ａ］と、周波数調整工程［Ａ］より前またはその途中に、制御手段１６０からシャッター装置１２０を閉状態とする命令が出力された第１時刻と、命令を受けてシャッター装置２００が閉状態となった第２時刻との時間差を求める遅延時間検出工程［Ｂ］とを有し、周波数調整工程［Ａ］では、制御手段１６０は、前記時間差に基づいて、シャッター装置２００を閉状態とする命令を出力する時刻を補正する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、小型化を図ることのできるシャッター装置を提供すること。
【解決手段】シャッター装置１は、振動子と該振動子の質量を変化させる質量変化手段との間に設けられ、質量変化手段による振動子の質量変化を許容する開状態と阻止する閉状態とを切り替えることができる。このようなシャッター装置１は、駆動軸４１と、予圧を持って駆動軸４１に保持された移動体４２と、駆動軸４１をその軸方向に振動させる圧電素子４３とを有するアクチュエーター４と、移動体４２に支持され、移動体４２の移動方向に延在する長尺状のシャッター部２とを有している。駆動軸４１は、移動体４２と摺動する領域において、移動体４２との間の摩擦力が基端側よりも先端側の方が小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、小型化を図ることのできるシャッター装置を提供すること。
【解決手段】シャッター装置１は、振動子と該振動子の質量を変化させる質量変化手段との間に設けられ、質量変化手段による振動子の質量変化を許容する開状態と阻止する閉状態とを切り替えることができる。このようなシャッター装置１は、駆動軸４１と、予圧を持って駆動軸４１に設けられた移動体４２と、駆動軸４１をその軸方向に振動させる圧電素子４３とを有するアクチュエーター４と、移動体４２を駆動軸４１の一方側へ付勢する付勢手段５と、移動体４２に支持され、移動体４２の移動方向に延在する長尺状のシャッター部２とを有している。 （もっと読む）

【課題】振動素子のチューニングの際に用いるレーザー光による半導体基板の能動領域へのダメージを抑制し、電気的特性の安定した振動デバイスを提供する。
【解決手段】センサーデバイス１において、半導体基板としてのシリコン基板１０は、能動面１０ａ側に半導体素子を含んで構成される集積回路が形成された能動領域を有している。シリコン基板１０上に振動ジャイロ素子２０が配置されたセンサーデバイス１において、能動領域は、振動ジャイロ素子２０の駆動用振動腕２５ａ，２５ｂの先端側の錘部２８ａ，２８ｂ上に設けられた質量調整部としての錘電極４１と平面視で重なる領域を回避して形成されている。これにより、錘電極４１にレーザーを照射して周波数調整を行う際に、レーザーが能動面１０ａに到達したときに集積回路にダメージが加わるのを回避することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ状態から各々の圧電デバイス単体に切断されるときに破損が発生しにくく、ウエハ状態で各々の水晶振動片の周波数を測定して調整できる圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は振動部（１０）を収納するパッケージの一部を構成し一対の直線状の第１辺（Ｌ１）及び第１辺に垂直な一対の直線状の第２辺（Ｌ２）を有する矩形の第１板（１２）と、第１板に接合され振動部を収納するパッケージの一部を構成する矩形の第２板（１１）と、第１板と第２板とを接合するガラス材料からなる接着剤（ＬＧ）と、を備える。また、一対の第１辺には外周から凹んだ一対のキャスタレーション（１２２）が形成され、一対のキャスタレーションは第１板の中心を通り第２辺に平行な直線（Ａｘ）で分けられる２つの領域にそれぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】スルーホールを有しないベースで且つウエハ単位で製造できる圧電デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１００は、一対の外部電極１２５ａ、１２５ｂが形成される第１面とその第１面の反対側で第１凹み部１２１及び第１接合面Ｍ１が形成される第２面と第１接合面から第１面と第２面とを結ぶ側面を介して外部電極と接続する一対の接続電極１２４ａ、１２４ｂとを有するベース１２と、接続電極と接続する一対の励振電極１０２ａ、１０２ｂを有しベースに保持される圧電振動片１０と、第１凹み部より大きな第２凹み部１１１及びその第２凹み部の周囲の第２接合面Ｍ２が形成されたリッド１１と、第２接合面の幅で第１接合面と第２接合面との間に環状に配置されベースとリッドとを封止する環状の封止材ＬＧと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減させ且つ正確な周波数で発振する水晶デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、電極と枠体とを含む水晶フレームを複数有する水晶ウエハを用意する工程と、ベースを複数有するベースウエハを用意する工程と、開口部を含む第１リッドを複数有する第１リッドウエハを用意する工程と、開口部を封止する第２リッドウエハを用意する工程と、水晶ウエハ、ベースウエハおよび第１リッドウエハを接合する第１接合工程と、第１接合工程後に水晶振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて第１リッドの開口部を介して電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後に、第２リッドウエハを第１リッドウエハに接合する第２接合工程と、個々の水晶デバイスに分割する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】精密な周波数調整が可能な、積層型圧電薄膜フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層型圧電薄膜フィルタの製造方法は、基板７上に、下部圧電薄膜共振子２０を形成する工程と、下部圧電薄膜共振子２０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、周波数を調整した下部圧電薄膜共振子２０上に音響結合層３０を形成する工程と、音響結合層３０上に上部圧電薄膜共振子４０を形成して積層型圧電薄膜フィルタ１を形成する工程と、上部圧電薄膜共振子４０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子の共振周波数を、高くして狙い周波数に合せ込む周波数調整方法、および低くして狙い周波数に合せ込む周波数調整方法の二種類の周波数調整方法を備え、１つのチャンバー内で切り替えることにより、効率のよい周波数調整を実現する周波数調整装置。
【解決手段】周波数調整装置１０の一つのチャンバー１内で、切替機構４によりイオンビームガン２およびイオンビームの向きを切り替えることにより、共振周波数ｆが狙い周波数ｆ０に対して高い場合または低い場合いずれであっても、一つのチャンバー１内において、狙い周波数ｆ０に合わせこむことが可能となる周波数調整装置１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】生産効率に優れ、圧電デバイスの表面上に均一な膜厚の金属膜を形成することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明の圧電デバイスの製造方法では、所定の形状であけられた開口窓４１０を有するマスク４００の下に、周波数調整膜を成膜したい部分だけを開口窓４１０から見えるようにして水晶振動片２００を配置する。次に、所定の間隔Ｌで並んだ２つのノズル３００ａ、３００ｂから銀（Ａｇ）からなる微粒子を噴出させてガスデポジション法による成膜を行う。２つのノズル３００ａ、３００ｂを同じ速度で同時に矢印Ｘの方向に平行移動させながら、微粒子を噴出させる。それぞれのノズルから噴出した微粒子が重なり合ってできる平坦領域をつかい、水晶振動片上に均一な厚みの周波数調整膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】振動周波数を調整する際の作業性を高めて設計を容易にする２周波用とした水晶デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも第１と第２の水晶片２（ａｂ）の励振電極４ａから引出電極４ｂの延出した一端部両側をセラミックベース１の内底面に形成された水晶保持端子に加熱硬化型の導電性接着剤６によって固着し、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）の励振電極４ａにガスイオンＰを照射して振動周波数を調整してなる２周波用とした表面実装水晶デバイスの製造方法において、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）は前記セラミックベース１の内底面に対して垂直方向とするとともに板面を対向して、前記引出電極４ｂの延出した一端部両側を前記水晶保持端子に予め固着した後、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）の対向面とは反対面の励振電極４ａにガスイオンＰを照射した構成とする。 （もっと読む）

【課題】高融点ハンダを用いた場合であっても、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができ、信頼性の高い圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに前記圧電振動子を有する発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】実装領域の表面に、第１クロム層１８ａ及び第１金層１８ｂを順に積層した第１積層体１８を有する圧電振動片であって、マウント電極１５，１６の第１積層体１８上に、第２クロム層３３ａ及び第２金層３３ｂを順に積層した第２積層体３３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短い加工時間でトリミング加工することができる圧電共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】平板状の圧電基板１１の一方主面に第１の励振電極１２を形成し、他方主面に圧電基板１１をはさんで第１の励振電極１２に対向する対向部１４を有する第２の励振電極１３を形成して、圧電共振子１０を作製する工程と、励振電極１２、１３にそれぞれ接続される接続電極２、４を備えたベース基板１を作製する工程と、圧電共振子１０を第１の励振電極１２をベース基板１に対向させてベース基板１に実装して圧電共振器５０を作製する工程と、圧電共振子１０の第２の励振電極１３にレーザー光を当てて、第２の励振電極１３をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器５０の製造工程であって、トリミング工程においては、第２の励振電極１３に対向部１４から一部を切り離すトリミング溝３０を形成してトリミングする。 （もっと読む）

【課題】データの書き込み時においてプローブを確実に電極に接触させる圧電発振器、この圧電発振器を搭載した電子機器および圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電発振器１０は、圧電振動片１２とこの圧電振動片１２を発振させる回路とをパッケージ１３に搭載した圧電発振器１０であって、前記回路と電気的に接続するとともに前記圧電振動片１２の下方に設けられ、前記パッケージ１３内部の気密封止に用いられるとともに、気密封止後に周波数調整を行う電極となる貫通孔３２を備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】予めＩＣチップと水晶片とを一体化した上で、水晶振動子の振動周波数の調整が容易であり、安価であって生産性が高い表面実装発振器及びその製造方法の提供。
【解決手段】凹部を有する容器本体１の内底面にバンプ１１を用いてＩＣチップ２を固着するとともに、外周部に引出電極を延出した水晶片３を容器本体１の内底面とＩＣチップ２との間に介在させた表面実装用の水晶発振器において、水晶片３の引出電極の延出した外周部をＩＣチップ２に形成された水晶端子に固着した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 効率的な周波数調整を行うことができる圧電振動板の周波数調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 多数個の水晶振動板２，２，・・・が一体形成されたウエハ２００において、各水晶振動板２の表裏主面に形成された電極膜２３の質量を削減することによって水晶振動板の周波数の調整を行う周波数調整方法であって、ウエハ２００の全ての電極膜に対してイオンビームを一括照射して該電極膜の質量を削減する。そして、目的の周波数範囲に達した水晶振動板に対して、該水晶振動板の電極膜を覆う遮蔽体を形成して該電極膜の質量が削減されないようにする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することのできる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】吸引用の開口部６０を有するステージ５６を備えたトレイ５０に圧電振動片３０を載せる搭載工程と、開口部６０に負圧をかけて圧電振動片３０をステージ５６に固定する吸着工程と、圧電振動片３０の入出力電極３６に導電性接着剤４０を塗布する塗布工程と、圧電振動片３０をステージ５６に吸着固定させた状態で、入出力電極３６とマウント電極とを導電性接着剤４０を介して電気的に接続する実装工程と、ステージ５６に圧電振動片３０を載せた状態で導電性接着剤４０を硬化させる硬化工程とを有し、実装工程ではトレイ５０におけるステージ５６の段差部５４を利用してパッケージベース１６に対する圧電振動片３０の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現しつつ、耐衝撃性に優れた圧電振動子、及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ１２の内部において収容された圧電振動片２６を有する圧電デバイスであって、前記圧電振動片２６を前記パッケージ１２の前記内部において支持する複数の支持部材３８を備え、前記複数の支持部材３８は、前記圧電振動片２６を挟む位置に配置され、前記圧電振動片２６が、前記複数の支持部材３８を介して前記パッケージ１２の互いに対向する内面により挟持されて、支持されてなる。 （もっと読む）

【課題】シャッタ端面での反射イオンや反跳粒子の影響を少なくし、周波数調整を精度よく行うことが可能な周波数調整装置を提供する。
【解決手段】パターンマスク１５のマスク穴１５ａを介してウエハ１０に対してイオンビームＢを照射すると共に、所定のマスク穴を選択的に開閉し、ねらいの素子のイオンビーム照射時間を調整するシャッタ１４を設ける。シャッタ１４の端面１４ａをイオンビームの拡散角度よりも大きい傾斜角度を有する傾斜面とすることで、シャッタ端面１４ａでの反射イオンや反跳粒子を少なくできる。 （もっと読む）