【課題】複数の結晶成長炉を有する半導体製造装置において、全体としての設備コストや設置スペースの増加を抑制し、各結晶成長炉からの排ガスを集中浄化処理できると共に、一部の結晶成長炉をメインテナンスする場合にも、他の結晶成長炉の運転を止める必要がない、効率的な運用が可能な半導体製造装置を提供する。
【解決手段】複数の結晶成長炉を有する半導体製造装置における排ガス浄化システムであって、第１の排ガス浄化装置と各結晶成長炉とを接続する第１の排ガス排出管の各々に、第１の排ガス浄化装置に接続しない第２の排ガス排出管を接続すると共に、前記２本の排ガス排出管の接続箇所に、排気切替機構を設けて、必要に応じて、各結晶成長炉からの排ガスの排出経路を切り替えることを特徴とする排ガス浄化システム、及び前記排ガス浄化システムを具備していることを特徴とする半導体製造装置。 （もっと読む）

【課題】セメントキルン燃焼排ガス等に含まれる有害物質としての水銀等を低コストで効率よく除去する。
【解決手段】排ガスに含まれる所定の有害物質を所定の物質を用いて除去するにあたって、所定の物質に反応する、所定の有害物質以外の物質を、所定の物質以外の物質を用いて除去するステップと、所定の有害物質以外の物質を除去した後、所定の有害物質を所定の物質を用いて除去するステップとを備える排ガス処理方法及び装置。前記排ガスをセメントキルン燃焼排ガス、前記所定の有害物質を水銀として酸化剤を用いて除去することができ、この際、水銀以外のアンモニア、硫黄酸化物、窒素酸化物、有機系ガスから選択される１種類又は２種類以上を予め水又はアルカリ水溶液に溶解させて除去することができる。水銀の除去にあたって、酸化剤に加え、塩化剤を用いることが酸化剤の消費量を抑えることができてより好ましい。 （もっと読む）

単一の乾燥生成物に肥料のような物質を含有する水分を乾燥させる方法およびシステムであって、空気流は、湿気を取ることが可能な前記空気流のために調整されており、物質／空気流接触部は、物質を乾燥させ接触部において物質から湿気を取るために空気を与えるために設けられている。
方法は、空気流を加熱する工程と、比較的固形の部分と液体に物質を分離する工程と、第１の静的な物質／空気流の接触部を作るために、比較的固形の部分を用いる工程と、第２の動的な物質／空気流の接触部を作るために、液状部分を用いる工程と、物質を含有する水分の比較的固形部分を乾燥させるために空気流を第１物質／空気流接触部へ導く工程と、その後、物質を含有する水分の液体部分を前乾燥させるために、空気流を第２の物質／空気流接触部へ導く工程と、予め乾燥液体部分と物質とを含有する水分を混合する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】窒化物半導体の製造装置から排出される排出ガスから、不純物の濃度を少なくとも５０ｐｐｂ以下に低減して、高純度のアンモニアを回収する、アンモニアの回収方法、アンモニアの再利用方法、アンモニアの回収装置、およびアンモニアの再利用装置を提供する。
【解決手段】アンモニアの回収方法によれば、窒化物半導体製造装置１１から排出されるアンモニアを含む排出ガスから、アンモニアと有機金属類との反応生成物および有機金属類を除去して混合ガスを得る工程と、混合ガスから粗アンモニアガスを分離する工程と、粗アンモニアガスを液化して液化粗アンモニアを得る工程と、液化粗アンモニアを蒸留することにより、液化粗アンモニアから不純物を除去して高純度のアンモニアを得る工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 窒化ガリウムをはじめとする半導体関連の処理工程からの排出ガスから高純度のアンモニアを回収できる方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 処理工程から導出された排出ガス中のアンモニアガスを水に溶解させる溶解工程と、アンモニアを溶解させたアンモニア水を蒸留して水とアンモニアガスとを分離する蒸留工程と、分離したアンモニアガスを液化する液化工程とを有するアンモニアガスの回収方法である。処理工程から導出された排出ガスから不純成分を吸着除去し、この不純成分を吸着除去した後の排出ガスを溶解工程に供給する。溶解工程では溶解ステップを反復させてアンモニア濃度を高め、所定濃度のアンモニア水をアンモニア水タンクに貯留する。蒸留工程から導出したアンモニアガスを除湿した後、液化する。 （もっと読む）

炭化水素含有流体流または酸素含有流体流からの酸性のガスの除去法であって、その際、流体流を、無機塩基性塩を本質的に含まずかつ（ｉ）少なくとも１つのアミンおよび（ｉｉ）アミノカルボン酸および／またはアミノスルホン酸の少なくとも１つの金属塩を包含する水溶液と接触させる、炭化水素含有流体流または酸素含有流体流からの酸性のガスの除去法。アミノカルボン酸および／またはアミノスルホン酸塩の併用により、酸性のガスが吸収される吸収速度を本質的に損なわずに；酸性のガス用の溶液の吸収能を本質的に減少させずにかつ再生に必要とされるエネルギー需要量を本質的に高めずに、炭化水素もしくは酸素の共吸収が減少させられる。
（もっと読む）

【課題】簡素な構成にして、気体状の有害物質を効率的に除去できるとともに、周辺の環境面に配慮した有害物質除去装置を提供することである。
【解決手段】本発明の有害物質除去装置１０は、気体状の有害物質を捕集する液状の捕集剤が貯められる水槽１１と、前記気体状の有害物質を、自身の上部開口部から吸引して、自身の内部に設置された複数のノズルから噴射される前記捕集剤と融合させて、自身の下部開口部を介して前記水槽１１に送り込む、円筒または略円筒形状を有する吸引塔１２と、自身の下部開口部を介して前記水槽１１と通じるとともに、自身の上部開口部を介して排気を行うことができる排気塔１３と、前記水槽１１内の捕集剤を汲み上げるポンプ１４を備え、前記吸引塔１２内には、前記複数のノズルが、それらノズルから噴射される捕集剤が内壁面に沿った流れを作るようにして配置される。 （もっと読む）

【課題】小型且つ低消費エネルギで十分な脱臭が可能であり、継続処理時のメンテナンス性が良く、アンモニア成分を液肥として回収でき、好気発酵を維持した状態での堆肥化処理を継続させて排気熱を有効利用する吸引通気式堆肥製造施設の排気処理装置及び排気処理方法を提供する。
【解決手段】堆肥発酵槽１に設けられた吸引管２からの排気を集水処理する集水処理部３とアンモニア成分回収部４と排気熱利用部５と吸引管２から排気熱利用部５に至る排気流路６と吸引手段７とを備え、アンモニア成分回収部４は薬液槽４０と気液反応室４１と薬液循環手段４２，４３と薬液加熱手段４４とを備え、排気温センサ８Ｂの検出温度が入気温センサ８Ａの検出温度に近づくように、薬液加熱手段４４を制御すると共に、入気温センサ８Ａの検出温度に基づいて求められる堆肥原料の発酵温度が好気発酵進行状態に維持されるように吸引手段４の出力を制御する制御手段１０を備える。 （もっと読む）

【課題】牛舎や堆肥化装置などで発生する臭気中のアンモニア由来の窒素を回収することにある。
【解決手段】ヤシガラチップに微生物を担持させた脱臭材を所定の厚さｈに堆積させた脱臭材層１６に循環水を散水しつつ，アンモニアを含む臭気を脱臭材層１６に通過させて臭気中のアンモニア由来の窒素を循環水中に回収する窒素回収方法であって，脱臭材層１６中に実質的に嫌気領域を作らない速度ｖで臭気を通過させることを特徴とする。脱臭材層１６中を実質的に好気環境に保つことにより，脱窒菌の作用で窒素酸化物が還元されることを抑制できる。このため，窒素酸化物を循環水中に溶解させることにより，臭気中のアンモニア由来の窒素を大気に放出させることなく回収できる。 （もっと読む）

【課題】比較的少ないエネルギでかつ比較的簡単なプロセスで、混合ガスから酸性ガスを液体状態で分離回収し、この分離回収された酸性ガスを効率良く貯蔵し或いは輸送する。
【解決手段】所定の圧力及び温度に維持した吸収塔１３の上部に、吸収液を供給し、吸収塔１３の下部に、酸性ガス及び非酸性ガスを含む混合ガスを供給して、吸収液に混合ガスを接触させる。これにより酸性ガスを吸収液に吸収させて、非酸性ガスを酸性ガスから分離して吸収塔１３から回収する。吸収塔１３内の温度より高い温度に維持した再生手段１７の上部に、酸性ガスを吸収した吸収液を供給する。これにより吸収液から酸性ガスの大部分を放出させて回収し、吸収液を再生する。再生された吸収液を減圧して吸収液に残存する酸性ガスを放出させることにより、吸収液から酸性ガスを放出させて回収し、この吸収液を吸収塔１３の上部に供給する。 （もっと読む）