【課題】プラズマ処理空間からの排気を均一に行う。
【解決手段】プラズマ処理空間を囲う真空チャンバ２と、その壁を貫通する開口２ａに対して外側から吸引口５１ａが連通接続された真空ポンプ５０と、プラズマ処理空間に臨んで基板を乗載可能な基板支持体１２とを備えたプラズマ処理装置において、真空ポンプ５０を介して真空チャンバに基板支持体１２を固設する。また、その支持脚１２ａが、開口２ａの中央を通り、真空ポンプ５０の支軸５２を兼ねるようにする。さらに、その支軸５２を中空の杆体にする。これにより、プラズマ処理空間から開口に至る排気路が基板支持体の周りで同じになるうえ、その開口のところでも同一性が維持されて、排気が均一になる。コンパクトな装置にもなる。 （もっと読む）

【課題】窒素酸化物ガス等の分解すべきガスをプラズマ生成領域に効率よく流入、流出させて、ガスを効率よく分解するガス分解装置およびガス分解方法を提供する。
【解決手段】分解すべきガスが一方向に流れるダクトと、前記ダクト内に、前記ガスの流れ方向に沿うように並列配置された複数の細管と、を有する装置を用いて、ガス分解を行う際、前記ダクトに前記ガスを流す。このとき、前記複数の細管のそれぞれの内壁の、前記ガスの流れ方向の異なる位置に設けられた一対の電極間に交流電圧を印加してプラズマを生成する。このプラズマの生成により、前記ガスの流れの下流方向に前記ガスを吸引する。 （もっと読む）

【課題】筒状ＭＥＡ内を流れるガスの温度を効率よく高め、分解効率をより向上させると共にランニングコストを抑えることができるガス分解素子、そのガス分解素子を備える発電装置及びガス分解方法の提供を課題とする。
【解決手段】筒状の固体電解質層１と、この固体電解質層１の内周部に積層形成された第１の電極層２と、この固体電解質層１の外周部に積層形成された第２の電極層５とを有する筒状ＭＥＡ７を備え、筒状ＭＥＡ７の内側には分解に供せられる第１のガスを流す第１のガス流路を備えると共に筒状ＭＥＡ７の外側に第２のガスを流す第２のガス流路を備えたガス分解素子１０であって、該ガス分解素子１０は素子全体を加熱するためのヒータ５２を備えると共に、上記第１のガス流路に導かれる上記第１のガスを予め通過させて予備加熱を行うための予備加熱用配管５３を備えている。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストを抑えながら大きな処理能力を得ることができるとともに、筒状ＭＥＡ内を流れるガスの温度を高めて分解効率をより高めることのできる、ガス分解素子を提供する。
【解決手段】筒状の固体電解質層１と、固体電解質層の内周部に積層形成された第１の電極層２と、外周部に積層形成された第２の電極層５とを有する筒状ＭＥＡ７より構成されるガス分解素子１０の、筒状ＭＥＡ内にガス誘導パイプ１１を設け、この一端部よりガスを導入し、第１の電極層に作用させて分解するように構成するとともに、誘導パイプ内に、流動ガスとの熱伝導を促進する加熱促進手段５０を設ける。 （もっと読む）

【課題】所定のガスを効率良く分解することができるガス分解素子を提供する。
【解決手段】筒状の固体電解質層１と、この固体電解質層の内周部に積層形成された第１の電極層２と、この固体電解質層の外周部に積層形成された第２の電極層５とを有する筒状ＭＥＡ（Ｍｅｍｂｒａｎｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ Ａｓｓｅｍｂｌｙ）７とを備えて構成されるガス分解素子であって、上記筒状ＭＥＡの一端部４４を封止するとともに、上記筒状ＭＥＡの他端部側から上記筒状ＭＥＡの内部空間に挿入されて上記筒状ＭＥＡの内周面との間に筒状流路４３が形成されるガス誘導パイプ１１ｋを設け、上記ガス誘導パイプ内を上記封止部に向けて流動するガスを、上記封止部近傍において上記ガス誘導パイプ内から流出させることにより反転流動させ、上記筒状流路を上記誘導パイプ内の流れと反対方向に向けて流動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ナノサイズの凸部を短時間に低コストで製造する。
【解決手段】接着剤１中にナノ粒子２を分散させて加工面３に塗布し、ナノ粒子２が加工面３に固定された状態で加工面３にガスクラスターイオンビーム４を照射し、ナノ粒子２によるマスク部分を除く加工面３を加工する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理が効率よく行われるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１０００においては、アノード１０６０及びカソード１０６２が流路１０１８の途中にある。カソード１０６２は、それぞれ、アノード１０６０より流路１０１８の上流側及び下流側にある。アノード１０６０及びカソード１０６２は、流体通過面を横切り、流体通過面の一部のみを占める。アノード１０６０とカソード１０６２とは流路の軸方向に間隔を置いて対向する。アノード１０６０はパルス電源１００４の正極に電気的に接続され、カソード１０６２はパルス電源の負極に電気的に接続される。アノード被覆は、絶縁体からなり、導電体からなるアノード本体を被覆する。凹構造がアノード被覆の表面に形成される。凹構造の群はアノードの表面に分布する。 （もっと読む）

【課題】活性種生成装置を小型化する。
【解決手段】活性種生成装置３０は、放電針３４が設けられた矩形状の第１電極３２と、平面視において第１電極３２の放電針が設けられた部分と交差するように配置された矩形状の第２電極３５と、放電針３４の両側において第１電極３２を支持する２つの第１支持部４４ａ、４４ｂと、第１電極３２との交差部分の両側において第２電極３５を支持する２つの第２支持部４５ａ、４５ｂとを備えている。第１支持部４４ａ、４４ｂは、平面視において、第２支持部４５ａ、４５ｂを結ぶ直線と直交し且つ第２支持部４５ａ、４５ｂをそれぞれ通る２本の直線の間に配置されている。活性種生成装置３０は、第１電極３２と第２電極３５との間に電圧が印加されることで活性種を生成する。 （もっと読む）

【課題】 静電磁場を貫通した光、電磁波は静電磁場の状態に対応して化学的に極性化される。同じように直流電流を化学的に極性化できれば用途は大幅に拡大できる。
【解決手段】 直流電流の進行方向、電場の方向、磁場の方向の３ベクトルにおいて電場から磁場への回転ベクトルの方向に直流電流ベクトルの方向を一致させるとき、その回転方向が時計回りか、反時計回りに、言い換えれば右手系直流電流とするか、左手系直流電流とするかにより直流電流は互いに化学的に反対の極性を持つようになる。化学的極性の方向は電極板、マッチング板の磁性に依存する。 （もっと読む）

【課題】廃プラスチック、廃木材、生ゴミ、古紙、粘着性の汚泥等の廃棄物を効率よく焼却することができる熱分解装置を提供する。
【解決手段】本発明の熱分解装置は、廃棄物を熱分解する有底筒状の処理室と、処理室の底板に配置し、廃棄物に磁気を作用する磁気作用手段と、処理室の底板上で磁気作用手段の周囲に敷設する断熱材層Ｉと、処理室の側面に配置する空気導入管とを備える。磁気作用手段は、Ｎ極とＳ極とが鉛直方向を向くように配置する磁石と、磁石を被覆する断熱材層ＩＩと、磁石により磁気誘導されるようにその磁石の上方にその磁石に近接して配置する常磁性の板状体とを備える。 （もっと読む）