【課題】ランニングコストを抑え、コンパクトな構成で安全性を高め、高いエネルギー効率の、ガス分解システムを提供する。
【解決手段】このシステム５０は、所定のガスを含む第１の気体が導入されるアノード２、固体電解質１、およびカソード５構成されるＭＥＡ７を含むガス分解素子１０と、ヒータ４１とを備え、ガス分解素子１０では、第１の気体中の少なくとも所定のガスの一つおよび第２の気体が電気化学反応することで発電を生じ、該発電で生じた電力をヒータ４１に投入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気体に含まれる物質から活性種を生成する放電反応装置であって、安定した放電を行なうことができる放電反応装置を提供する。
【解決手段】放電反応装置は、放電を行なうための電極を含む放電器と、放電器に流入する空気の湿度を検出する湿度検出器とを備える。放電器に流入する空気の湿度を検出し、検出した湿度に基づいて電極に印加する目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを設定し、目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが大きくなるほど１回の電圧上昇幅Ｖａｘ，Ｖｂｘ，Ｖｃｘを大きく設定し、電圧上昇と定電圧に保つ期間とを繰り返しながら、目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃまで電圧を上昇させる。 （もっと読む）

【課題】被処理物を均一にプラズマ処理することのできる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１００は、内筒１０、外筒２０、電極３０、被処理物供給部４０、ガス導入部５０および回転駆動機構６０を有している。外筒２０は内筒１０に対して軸回転可能に設けられ内筒１０を収容する。被処理物供給部４０は外筒２０と内筒１０との間の反応空間Ｖに被処理物を供給する。ガス導入部５０は、反応空間Ｖにガスを供給する。電極３０は内筒１０および外筒２０の周面に互いに対向してそれぞれ設けられたプラズマ発生用の電極であり印加電極３２および接地電極３４を含む。そして、回転駆動機構６０は内筒１０と外筒２０とを相対的に軸回転させる。 （もっと読む）

【課題】 非平衡プラズマを用いた難分解性有機廃液の分解処理において、前記有機廃液を高効率で可燃ガスに改質し、加えて、人工グラファイトや炭素系高機能材料の生成が可能な処理システムを提供する。
【解決手段】 難分解性有機廃液の当量反応に満たない量で供給した酸素をプラズマ化させることにより反応性を向上させる。この状態で前記有機廃液を投入（噴霧）することにより、高効率で可燃ガスを生成する。また、マイクロ波の出力を高めること、又は、触媒の利用によって、人工グラファイト或いは炭素系高機能材料の生成も可能となる。 （もっと読む）

【課題】処理槽内に収容した有用微生物が活性化した状態を維持することができ、従来の微生物処理では分解処理が不能又は困難であった難分解性の有機性廃棄物を確実に分解し消滅させることができる有機性廃棄物の分解消滅装置及びその装置を用いた分解消滅方法を提供するものである。
【解決手段】微生物を担持する担体を収容し、有機性廃棄物を微生物により分解させる処理槽１と、前記処理槽１内に設けられ、前記担体と有機性廃棄物を攪拌混合する攪拌部材２とを備えると共に、前記処理槽１内に、光合成細菌、バチルス属細菌、乳酸菌、酵母の群から選ばれる１又は２以上の有用微生物と、前記有用微生物を活性化させる微生物活性剤とを収容してあり、有機性廃棄物を分解し消滅させるようにした有機性廃棄物の分解消滅装置。 （もっと読む）

【課題】ＯＨラジカル同士が反応して生成されたＨ_２Ｏ_２を再びＯＨラジカル化することができる。
【解決手段】放電電極１と、この放電電極１に高電圧を印加する電圧印加部２とを備えた放電装置３である。放電電極１がＦｅ又はＭｎ又はＣｏの何れかを含む材料で形成してある。 （もっと読む）

【課題】処理槽内で有用微生物が活性化した状態を維持することができ、従来の微生物処理では分解処理が不能又は困難であった難分解性の有機性廃棄物を確実に分解し消滅させることができる有機性廃棄物の分解処理方法及びその方法に用いる微生物活性剤を提供するものである。
【解決手段】微生物を担持する担体と、光合成細菌、バチルス属細菌、乳酸菌、酵母の群から選ばれる１又は２以上の有用微生物と、有機性廃棄物を処理槽１内で攪拌混合すると共に、送風手段４により空気を供給し、有機性廃棄物を有用微生物により分解させるようにした有機性廃棄物の分解処理方法及びその方法に用いる微生物活性剤。 （もっと読む）

【課題】珪素粒子の欠陥密度を可及的に低減すること。
【解決手段】珪素粒子１を積載する第一の電極２と、水素プラズマの発生領域を挟んで第一の電極２に対向して配設されている第二の電極４と、第一の電極２の温度が第二の電極４の温度よりも高くなるように温度制御して第一の電極２と第二の電極４との間に原料ガスの対流を起こす温度制御手段（ヒーター３、冷却管６）と、を備え、原料ガスの対流によって第一の電極２に積載されている珪素粒子１を水素プラズマ中に浮遊させて水素プラズマに曝露する。 （もっと読む）

【課題】ＴＣＰ窓を過度に腐食させることなく導電性の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】誘電結合型プラズマエッチング装置は、チャンバと、チャンバ頂部の開口部を封止するための窓とを備える。窓は、チャンバの内部領域に露出した内面を有する。ファラデーシールドとして機能する金属板は、窓の上方に窓から離れて設置される。コイルは、窓の内面がスパッタリングされるのを最適に低減し、それと実質同時に、窓の内面上にエッチング副産物が堆積されるの防ぐような、ピークトゥピーク電圧を生成するように構成された接続位置において、金属板に導電結合される。別の実施形態において、この装置は、金属板に外部からピークトゥピーク電圧を印加するためのコントローラを備える。コントローラは、発振回路と、整合回路と、ＲＦ電源と、印加されたピークピーク電圧をモニタリングするためのフィードバック制御とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、内部電極を用いることなく、ワークの内表面を処理し得るプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ表面処理装置Ｓａは、内表面を持つ長尺筒状体のワークＷＫに対し前記内表面をプラズマによって表面処理する装置であって、ワークＷＫの外雰囲気における第１放電開始電圧よりも低い第２放電開始電圧の気体をワークＷＫ内に供給する供給部１０ａと、前記筒状体の外側から前記筒状体を挟み込むようにワークＷＫの大きさに応じた間隔を空けて互いに対向する一対の第１および第２電極２１、２２を備える電極部２０ａと、ワークＷＫおよび電極部２０ａを相対的に運動させる駆動部とを備える。 （もっと読む）