【課題】装置を小型化すると共に安価に製造することができ、万が一、圧力容器が破裂するような事故が発生した場合でも、圧力容器や蓋体の破片が周囲に飛散することなく、安全な状態が保てる十分な安全対策が成された実用性に優れた高圧処理装置を提供する。
【解決手段】取り出し開口部１を開閉する蓋体２を有する圧力容器３と、この蓋体２が圧力容器３内の圧力上昇によって開蓋方向に押圧された際にこの蓋体２の閉蓋状態を保持する閉蓋保持部４と、この蓋体２に押圧された閉蓋保持部４を受け止める受け止め部５とを備えた高圧処理装置において、閉蓋保持部４に対して所定長の間隙６を設けて補助受け止め部７を設け、この補助受け止め部７は、高圧処理時に受け止め部５が破損した際、閉蓋保持部４を受け止めるように構成した高圧処理装置。 （もっと読む）

【課題】処理容器内の高圧流体からシール部材を保護して、長期間、清浄な状態で使用することが可能な処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置は搬入出領域２を介して処理容器１内に搬入された被処理基板Ｗに対して高圧流体を用いて処理を行い、蓋体３は処理容器１に当接して、搬入出領域２を気密に塞ぐ。規制機構２６は蓋体３が処理容器１内の圧力により後退することを規制し、シール部材１２は、蓋体３が搬入出領域２を塞いだときに、この搬入出領域２を囲んだ状態で蓋体３と処理容器１との間に介在する。保護シート１３は、シール部材１２を高圧流体との接触から保護するために、当該シール部材１２を覆うように設けられ、前記高圧流体に対する耐食性を有する材料により構成されている。 （もっと読む）

【課題】大型化しても、耐力が低下せず、溶接作業のコストが従来より低い真空容器を提供する。
【解決手段】
中空の箱形容器１１と、箱形容器１１の第一の壁面１２₁より大きく、第一の壁面１２₁に密着して固定された第一のフランジ板１３ａと、第一のフランジ板１３ａと第一の壁面１２₁とを貫通して設けられ、箱形容器１１の中空の部分１４と外部空間とを連通させる第一の貫通孔１５ａと、箱形容器１１の第一の壁面１２₁に接続された第二の壁面１２₂に設けられた第一の開口１６ａと、第一の開口１６ａより大きく、第一の開口１６ａを覆う位置に取り外し可能に配置された第一の扉板１７ａとを有する真空容器１０であって、第一のフランジ板１３ａと第一の壁面１２₁とは一体成形されている。そのため、繰り返し使用しても、第一のフランジ板１３ａと第一の壁面１２₁との間に割れが起こらず、気密不良が生じない。 （もっと読む）

【課題】高圧に耐えることができ、かつ開閉作業およびメンテナンスが容易な圧力タンクを提供すること。
【解決手段】投入口および排出口を有するタンク本体と、投入口を封じる蓋部と、排出口を封じ、または開放する取出部と、投入口と蓋部との間に、その全周にわたって配置される第１弾性部材と、排出口と取出部との間に、その全周にわたって配置される第２弾性部材とを有し、投入口および蓋部の接合面のいずれか一方に、第１弾性部材を収容する第１凹部が全周にわたって形成され、他の一方に、第１弾性部材に当接する面が傾斜面であり、かつ第１凹部に嵌入可能な第１凸部が全周にわたって形成され、かつ、排出口および取出部の接合面のいずれか一方に、第２弾性部材を収容する第２凹部が全周にわたって形成され、他の一方に、第２弾性部材に当接する面が傾斜面であり、かつ第２凹部に嵌入可能な第２凸部が全周にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波支援化学にて使用される圧力容器用のダイナミックシール構造体。
【解決手段】構造体は、マイクロ波透過性材料にて形成された円形の容器ライナー１１及び取り外し可能なライナーキャップ１２を備えている。ライナー１１はそれぞれの第一及び第二の斜角付き端縁３２、３３にて形成されたリップ部３１を有する円形の開口２６を備えている。キャップ１２は、それぞれの内面２７及び外面３０を備え、内面２７から垂下するスリーブ２４を有し、スリーブは圧力下にて容器ライナーの内面に対して付勢されるように容器ライナー１１の内面に係合する周縁を有する。キャップの内面は、スリーブ２４の外方に円形の通路２５を備え、また、容器ライナー１１のリップ部３１に係合する周縁を有し、通路２５はライナー１１のリップ部３１の双方の斜角付き端縁３４、３５にそれぞれ係合する２つの斜角付き端縁を備えている。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】ウェハやＦＰＤ用基板等の処理基板の処理装置を構成する真空容器に関するものであり、真空容器を構成する筐体に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることなく、蓋板の開閉ができる真空容器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る真空容器は、開口部を有する筐体と、封止部材を備えた蓋体と、開閉可能な前記蓋体によって前記筐体の開口部を封止する真空容器において、前記蓋体の封止部材取付部より外側に傾斜部を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 処理物の内外から効率良く昇温させ、加熱処理の処理時間を大幅に短縮させることができる蒸気加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 加硫缶３０内に高温高圧の水蒸気を供給する水蒸気発生源と蒸気供給管３３を備え、さらに、加硫缶３０内にマイクロ波電力を供給するマイクロ波回路３５とマイクロ波電力源４４とを備え、前記加硫缶３０に収納させた未加硫ゴムや半加硫ゴムなどのゴム製品４６を高温高圧の水蒸気とマイクロ波電力とからなる加熱媒体に晒し、高温高圧の水蒸気とマイクロ波電力の相乗効果でゴム製品４６の加硫処理に必要な昇温を短時間で行なうことができる構成となっている。 （もっと読む）

【課題】カソード等の重量物を搭載した蓋であってもシール部材に偏荷重をかけることがなく、真空装置の開閉部の気密を確実に保つことができる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の開口部１ｃに取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置は、開口部１ｃから蓋２を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、開口部１ｃを開閉するように蓋２を回転させる蓋回転装置とを備えており、蓋昇降装置により蓋２を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により蓋２を側方に回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】 有機廃棄物の煮熟処理を、より十分に且つ迅速に行うことが出来る有機廃棄物の処理技術を提供する。
【解決手段】 有機廃棄物１２が内部に収容される収容体１４に、有機廃棄物１２を撹拌するための撹拌手段８２，９０, ９２，９４, ９８を設けると共に、高温高圧加熱蒸気を収容体内に供給する加熱蒸気供給手段６８，７０，７２を設け、更に、かかる加熱蒸気供給手段６８，７０，７２による収容体１４内への高温高圧加熱蒸気の供給に先立って、収容体１４内を減圧する減圧手段７５ｃ，７８，８０を設けて、減圧状態の収容体１４内において、収容体１４内に収容された有機廃棄物１２を撹拌しつつ、高温高圧加熱蒸気に接触せしめて煮熟処理するように構成した。 （もっと読む）