【課題】
本発明は、基板処理が均一に行われる基板処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板処理装置と基板処理方法に関する。本発明による基板処理装置は基板（１００）の板面に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板を移送する移送装置（３０）と、前記基板を前記基板の移送方向と交差する方向で交互的に傾けて移送するように前記移送装置を制御する制御部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、処理ステーション内で、処理ラインを完全に再設計することなく環境の変化に容易に順応し得る、垂直方向に輸送される処理ライン加工部品輸送用の低コストで製造可能な直進マニプレータに関する。マニプレータは、少なくとも二つの処理ステーションを加工部品（９）に接続し、少なくとも一つの巻上要素（１１）、同様に、少なくとも一つのグリッパ要素（１２）を前記巻上要素（１１）に据えられた加工部品（９）に対して接続している、少なくとも一つのガイド手段に沿ってずらすことが可能な少なくとも一つの走行要素（１０）をそなえて構成される。巻上要素（１１）及びグリッパ要素（１２）はその上に据えられ、モジュラー様式にあって拡張可能であり、それによって、巻上要素（１１）は処理ステーションの多数列に渡って延在し、その上、ステーション内で保持された加工部品（９）は各々グリッパ要素（１２）によって掴まれ得る。
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被塗布体と吹付けアセンブリーとの距離を調節可能な液状物質塗布機の昇降装置が開示される。昇降装置は、駆動部材により互いに逆方向に選択的に往復動する１組のスライダーを有する摺動部材と、前記スライダーの上部に配設されると共に、前記スライダーの往復動区間と対応する個所に形成されたガイド長孔を有する枠体と、前記ガイド長孔を介して前記１組のスライダーとそれぞれ結合されるように前記枠体の上面に載置されると共に、その上端は平板テーブルを支持する１組のクロスリンク部材と、を備える。前記クロスリンク部材は、略中央部分において互いにヒンジ結合する１組の単位リンクを備え、前記１組の単位リンクのうち一方の下端は前記スライダーと結合され、他方の下端は夫々平板テーブルにヒンジ結合され、前記枠体にヒンジ結合され、前記１組の単位リンクのうち一方の上端は前記平板テーブルにヒンジ結合され、他方の上端は前記平板テーブルを回転可能に支持して、前記スライダーの往復動により前記平板テーブルを昇降させる。 （もっと読む）

被塗布体がその上面に載置される移送テーブルが往復動する場合に生じうる移送テーブルのぐらつきを防ぐことのできる液状物質塗布機の移送装置が開示される。移送装置は、平板テーブルと、前記平板テーブルに配設されて駆動力を伝えるピニオンギアと、前記平板テーブルに配設され、磁性を有する支持ローラーと、前記平板テーブルの上側に前記支持ローラーにより支持されるように配設された移送テーブルとを備える。その下面には前記ピニオンギアと噛み合うラックギアが配設され、所定の区間を往復動しながら、前記被塗布体の表面に吹付けアセンブリーから吹き付けられた液状物質を塗布する。こうして前記支持ローラーの磁性により前記移送テーブルが往復動する場合における移送テーブルのぐらつきが防がれる。 （もっと読む）

【課題】ワークにおける指標の位置にかかわらずパターンの形成（描画）を行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、基板搬送テーブルと、基板搬送テーブルをＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構と、液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット１１と、ヘッドユニット１１をＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６とを備える。Ｘ軸方向移動機構６は、アライメントカメラ１７を、ヘッドユニット１１と独立にＸ軸方向に移動させる。 （もっと読む）

【目的】 紙や板紙等の材料ウェブに液体を塗布する方法および装置において、第１または第２処理経路を切り替えて、材料ウェブの案内及び供給を可能にするための技術的手段の規模を、動作に支障をきたすことなしに低減する。
【構成】 材料ウェブ１が、２つの異なる動作モードで第１又は第２の処理経路に沿って導かれる。材料ウェブ１は、第１の処理経路で、主ロール１０表面により液体材料で間接的にコーティングされるか、又は、第２の処理経路に沿って、ロール間隙とは主ロール１０を挟んで反対側に位置する主ロールのシェル表面領域に沿って導かれ、前記の主ロール表面領域内で液体材料により直接的にコーティングされる。主ロール１０が、第１と第２の動作モードで異なる回転方向で駆動され、主ロール及び副ロール１１の領域内での材料ウェブ１の全般的な送入方向及び送出方向が、いずれの処理経路に沿っても実質的に同一であることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】 塗工品質を向上させる。
【構成】 バッキングロール１０と、バッキングロール１０によって送られる紙３の表面に塗料８を塗布する塗布装置と、該塗布装置の後段に備えて紙３の表面の余分な塗料８をかき取るブレード１２とを備えた塗工装置であって、バッキングロール１０の表面１１を硬くして、バッキングロール１０の表面１１に対面するブレード先端面９のブレード角θが変化しないようにしたことを特徴とし、バッキングロール１０の表面１１が凹まないようにした。 （もっと読む）