【課題】 複数の滴下ディスペンサによる滴下動作を均等化し、液状物質滴下装置の稼働率と生産性を向上すること。
【解決手段】 液状物質滴下方法において、第１の滴下動作によって基板１の各滴下ディスペンサＤ１〜Ｄ４に均等に割り付けられなかった残余の滴下領域Ｎの列の向きがＸ方向に沿うように、基板ステージ２０を回転させ、複数の滴下ディスペンサＤ１〜Ｄ４のそれぞれに基板１の残余の滴下領域Ｎを割り付け、各滴下ディスペンサＤ１〜Ｄ４によりそれらの各滴下ディスペンサＤ１〜Ｄ４に割り付けられた基板１の残余の滴下領域Ｎに対し液状物質を並行して滴下する第２の滴下動作を行なう工程を有するもの。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、平坦でない被塗布物の表面にスピンコーティング法により塗布物を塗布するための、塗布物展延装置および塗布物展延方法を提供することを目的とする。
【解決手段】回転軸Ｒ回りに回転する回転軸部３０と、塗布物８８が供給された被塗布物８０を固定支持し、回転軸部３０に支持され、回転軸部３０の回転に伴い回転しながら回転軸Ｒの方向と交差する方向の回動軸Ｄ回りに回動する載置台１０とを備える塗布物展延装置１。被塗布物８０の表面に塗布物８８を供給する工程と、塗布物８８が供給された被塗布物８０を回転軸Ｒ回りに回転し、塗布物８８を展延する工程と、塗布物８８を展延する工程において、回転軸Ｒの方向と交差する方向の回動軸Ｄ回りに被塗布物８０を回動し、被塗布物８８の回転軸Ｒに対する角度Ｔを変える工程とを備える塗布物展延方法。 （もっと読む）

【課題】コーティングロールが撓んだり、コーティングロールに重力方向以外の外力が加わったりしても、コーティングロールの回転軸心が変動することがなく、高い回転精度を実現する。
【解決手段】
ロール１４の回転軸２２を回転自在に支持する油圧式静圧軸受２６と、油圧式静圧軸受２６を支持すると共に、ロール１４の重力方向の撓みにのみ追従するように油圧式静圧軸受２６の傾動を許容するすべり軸受２７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】使用時のコストを低下することができる塗布装置、基板の受け渡し方法及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板搬送部の搬入側ステージ及び搬出側ステージに外部搬送機構との間で基板を受け渡す際に当該外部搬送機構の一部を収容する収容部がそれぞれ設けられているので、外部搬送機構の一部を収容させる際に基板の受け渡しを行うことができる。これにより、昇降ピンを設けなくても基板の受け渡しを行うことができるので、その分のコストを低下させることができる。また、昇降ピンを設けなくても基板の受け渡しを行うことができるので、処理タクトを短縮化することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で且つセット対象物の大きさに合わせて、セット対象物を適切に吸着セットすることができる吸着テーブルおよび機能液滴吐出ヘッドの検査システムを提供する。
【解決手段】表面に開口した複数の第１吸引孔２０２、および一端を複数の第１吸引孔２０２に連通し他端を、第１吸引ポート２０４を介して真空吸引手段に連通する第１吸引流路を有し、セット対象物Ｗを吸着セットする第１セットステージ９６と、表面に開口した複数の第２吸引孔、および一端を複数の第２吸引孔に連通し他端を、第２吸引ポート２１８を介して真空吸引手段に連通する第２吸引流路を有し、第１セットステージ９６を吸着保持する第２セットステージ９７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】駆動中のスピンドルから、ホルダーを含んだ状態の被処理物を複数個同時に取り外して、次工程へと、複数個の被処理物をそのまま移動できるクランプ用棒冶具を提供する。
【解決手段】回転安定性に優れた駆動中のスピンドルから、ホルダーを含んだ状態の被処理物を複数個同時に取り外すとともに、そのままの状態で複数個の被処理物を移動可能とするためのクランプ用棒冶具であって、長尺物と、長尺物の長手方向に沿って配置された複数のクランプと、を有する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら行う複数の処理を短いＴＡＴをもって行うことが可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】連続的に搬送されるフレキシブルフィルム１に複数の処理を順次行う処理装置であって、フレキシブルフィルム１を連続的に搬送する搬送機構１３と、フレキシブルフィルム１に第１の処理を施す第１の処理ユニット１１と、フレキシブルフィルム１に第２の処理を施す第２の処理ユニット１２と、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に生ずるフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行うバッファ機構１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを初期位置から一方方向に移動させる塗布動作と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作と、基板を更新する搬出入動作で、レジストを塗布するカラーフィルタ製造塗布装置において、レジスト塗布サイクルタイムを改善することであり、スリットノズルの無駄な動作を省略し、スリットノズルの無駄なレジスト滴下を防止すること。
【解決手段】前記塗布動作に、基板を更新する搬出入動作を追加と、スリットノズルを初期方向に戻す移動動作に塗布動作を追加した塗布装置であって、ステージ上のガラス基板上でスリットノズルを一方方向の移動によりレジスト吐出する塗布手段と、塗布基板を更新する搬出入手段と、更新したガラス基板上でスリットノズルを初期方向に戻す方向への移動によりレジスト吐出する塗布手段と、塗布基板を更新する搬出入手段と、によるカラーフィルタ製造用の塗布基板を製造するカラーフィルタ製造塗布方法。 （もっと読む）

【課題】ワーク受け渡し用の接触式搬送ロボットアームを用いることなく、一連の製造工程における搬送経路上もしくは搬送経路に隣接して表面処理工程を行うことができるスリットコータを提供する。
【解決手段】ワークＷの搬送経路の一部を構成する浮上搬送部兼表面処理部としての浮上搬送フレーム１０２にワークＷが直接搬送されるため、ワークＷの受け渡し用の接触式搬送ロボットアームを用いることなく、一連の製造工程における搬送経路上もしくは搬送経路に隣接して表面処理工程を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】機能性材料の塗布液の粘度に依存せず、吐出安定性に優れ、柱状又は筒状の被塗布物外周面に膜厚のバラツキが抑制された良好な機能膜を形成可能な機能性材料塗布装置、及び機能性材料塗布方法を提供すること。
【解決手段】機能性材料を含む塗布液１４を連続して加圧して、環状吐出ヘッド１２のノズル１２３から液柱状の塗布液１４を吐出させ、その吐出した液柱状の塗布液１４を液滴化して、被塗布物１０へ塗布する。このように、連続的に加圧して塗布液１４を吐出させるため、高粘度の塗布液（例えば水に近い粘度３ｍＰａ・ｓ程度以下のものから、粘度３００ｍＰａ・ｓ程度の塗布物）でも、安定して塗布液１４を吐出し、被塗布物１０へ塗布することが可能となる。そして、柱状又は筒状の被塗布物外周面に膜厚のバラツキが抑制された良好な機能膜が得られる。 （もっと読む）