【課題】研磨材用目詰まり防止組成物の目詰まり防止効果の耐久性を向上させること。
【解決手段】脂肪酸の金属塩及び結合樹脂を含む研磨材用目詰まり防止組成物であって、目詰まり防止組成物から形成される皮膜が４４ｍＮ／ｍを越えるぬれ張力を有する、上記目詰まり防止組成物。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で、かつ削り屑の凝着を防止して作業の効率化を実現する電着砥石を提供する。
【解決手段】砥石１は、外周面を有する円盤状の台金３と、電着により前記外周面に固着した、メッキ層７と、前記メッキ層から部分的に突出した超砥粒５と、を含む、研削層と、前記研削層を覆う潤滑層９と、を備える。前記潤滑層は、クロムないしクロムを含むコバルト合金よりなり、めっき技術、塗布技術、溶射技術の何れかにより形成される。 （もっと読む）

【課題】加工中のウェーハが帯電するのを防止することができる乾式研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨パッド５２によってウェーハ１の被加工面を乾式研磨すると、両者の摩擦によって静電気が発生する。研磨パッドの除電部５２Ｒは、ウェーハ１に常に接触しているから、発生した静電気は除電部５２Ｒを介してフレーム５１に流れ、フレーム５１からモータのスピンドルシャフト２２等を伝わって接地電流として放散される。 （もっと読む）

【課題】砥石の研削面に機械加工によって刻設された傾斜溝を接着剤によって補強することにより、超砥粒の脱落を防止して砥石寿命を長くする。
【解決手段】超砥粒を含む砥粒層１２を有する複数の砥石チップがコアに貼付された砥石において、砥石周方向に対して傾斜する複数の傾斜溝２０の各々が、研削面に機械加工によって刻設され、傾斜溝２０が刻設された砥粒層１２は、各傾斜溝２０の砥石回転方向後方の側壁２４が接着剤２５によって補強されている。 （もっと読む）

【課題】研削砥石の構成を改良することにより、良好な表面粗さと、うねりのない平面を両立させる研削砥石およびこれを備えた研削装置ならびにこれを用いる研削方法を提供する。
【解決手段】
砥粒１２と、第１の結合材と、第２の結合材を有する研削砥石１０であって、砥粒１２が第１の結合材によって被覆され、それらの砥粒１２が第２の結合材中に分散され、第２の結合材の圧縮率が、第１の結合材の圧縮率よりも小さくなるように研削砥石が構成されている。そして、第１の結合材がレジンボンド１４であり、第２の結合材がビトリファイドボンド１６であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 現在使用されているレジノイド、メタルボンド切断砥石等に比較して、切れ味のよいビトリファイド切断砥石に、通電機能を付与することにより、現実の切断加工工程の生産性や良品率の改善に寄与すること。
【解決手段】 ガラス結合橋部5〜30vol%、気孔部15〜55部、砥粒部30〜60vol%で構成され、ガラス結合橋及び砥粒表面を無電解メッキ法による金属被覆することにより通電機能を付与した厚さ0.04〜5mmのビトリファイド切断砥石。
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【課題】硬く且つ脆い材料から形成された加工対象物に対して、優れた切断性能を安定して示す円盤状のブレードおよび優れた切断性能を安定して示し、かつ設計が容易な切断装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子および剛性板を接合した切断ブレード１は回転軸３の先端に取り付けられたフランジ２ｂとスリーブ１０に設けられたフランジ２ａで挟持されると共に、回転軸３のねじ部に螺着した締め付け用ナット４により固定されている。ケース１１には固定側ロータリートランス９ａが取り付けられ、図示しない超音波発振器が固定側ロータリートランス９ａにリード線により接続されている。フランジ２ａ側に回転側ロータリートランス９ｂを図示しないネジにより固定する。 （もっと読む）

【課題】粗研削時及び仕上げ研削時において砥石の交換をすることなく、粗研削においては切り込み量を大きくして高能率で研削でき、仕上げ研削においては精度の高い表面粗さが得られる高精度で研削できる砥石を提供する。
【解決手段】ＣＢＮ粒又はダイヤモンド粒からなる超砥粒１２と、該砥粒１２を結合及び保持するビトリファイドボンド材１４と、前記超砥粒間に前記ビトリファイドボンド材１４によって形成される気孔１６とを備えたビトリファイド砥石において、前記気孔内に、微粒の砥粒２０の混合された樹脂材１８であって硬化時において弾性を有する樹脂材１８を含浸させる。 （もっと読む）

【課題】従来の砥石においては、砥石製造後、砥粒を保持するボンドすなわち樹脂はより強固で動かないようにすることが重要であり、そのように設計製造されていたため、加工前後、もしくは加工中に砥粒を増やすことが出来なかった。また、砥粒位置がランダムなためドレッシング性能が悪かった。
【解決手段】本発明の砥石は、多数の砥粒と、合成樹脂からなる樹脂部とが相互に結合された砥石であって、前記樹脂部は熱可塑性樹脂を含み、前記樹脂部の少なくとも一部に加熱及び外力を加えることにより、前記砥粒の位置が移動されることを特徴とする。前記樹脂部は、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエステルエラストマー（ＴＰＣ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ポリスルホン（ＰＳＵ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳＵ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、またはポリアミドイミド（ＰＡＩ）であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】砥粒を被削材に充分に食い込ませることを可能として、研削性能に優れたレジンボンドワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤソー１は、ピアノ線等からなる芯線２の周囲に、樹脂を主成分とする緩衝層３が設けられ、この緩衝層３の外周に砥粒４を紫外線硬化樹脂で固定した砥粒層６を形成してなるものである。砥粒４は金属被覆が施されていてもよい。
緩衝層３と砥粒層６にはフィラー７が含まれており、平均粒径が砥粒４の平均粒径の３０％以下のフィラー７を、砥粒層６を占める樹脂の体積の５体積％以上５０体積％以下で添加することによって、砥粒層６における砥粒４が沈み込む方向の領域にフィラー７が配置されるようになっている。 （もっと読む）