【課題】台金の強度を確保しつつ砥粒層に内部応力による歪みが発生することによる亀裂が生じることを防止して、球面研磨を精度良く行うことができる研磨砥石を提供する。
【解決手段】研磨砥石は、鉄等によって形成された円板状の台金２の片側の面に砥粒層３が形成されてなるものであり、その反対側の面には、回転軸取付用のインロー４が設けられている。砥粒層３に近接して、台金２の線膨張率より大きく砥粒層３の線膨張率より小さい線膨張率を有する中間層７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 砥粒およびバルーンの電着強度を高める手段を提供する。
【解決手段】 基材４の表面に、第１砥粒層の砥粒１４と導電性のバルーン２１が付着する。次に、基材４に付着した第１砥粒層の砥粒１４とバルーン２１の表面に、第１砥粒層の鍍金層１６が形成され、第１砥粒層の砥粒１４とバルーン２１が電着される。次に、第１砥粒層の砥粒１４に、第２砥粒層の砥粒１８とバルーン２１が付着する。次に、第２砥粒層の砥粒１８とバルーン２１の表面に、第２砥粒層の鍍金層２０が形成され、第２砥粒層の砥粒１８とバルーンが電着される。導電性のバルーンを用い、多層構造の砥粒層を一層づつ形成していくため、砥粒の電着強度は強いものとなる。 （もっと読む）

【課題】被加工物が焼き入れ鋼などの硬度の高い鉄系金属である場合も、これを長い時間安定して加工することができ、また、単結晶ダイヤモンドを使用した工具に比べると安価で、加工コストの低減も図れるバニシング工具とその工具を用いたバニシング加工方法を提供する。
【解決手段】バニシング工具１の本体部２に、ＣＢＮ焼結体で形成されたバニシング部材３を先端に有する圧子４を内蔵させ、この圧子４を付勢手段５で前向きに付勢して被加工物の表面に所定の圧力で押し付け、被加工物の表面の凸部をつぶして表面の面粗さを向上させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 放電ツルーイング性の向上した放電ツルーイング用メタルボンドホイールと、その製造方法を提供すること。
【解決手段】 砥粒をメタルボンドで結合した砥粒層１が台金５に固着されたメタルボンドホイールであって、メタルボンドがＣｕ６２〜４８質量％及びＳｎ３８〜５２質量％の組成を持ち、且つ、砥粒層１と台金５との間に、Ｆｅ：Ｃｕ：Ｓｎの質量比が８０〜４０：４４〜１５：１６〜５の補強層４が位置する放電ツルーイング用メタルボンドホイールである。好ましくは、砥粒層１はその全体積に対して１〜３０体積％の潤滑剤を含む。 （もっと読む）

【課題】ビトリファイドボンドを使用した軟質砥粒固定砥石において、軟質砥粒の特性を損なうことなく安定して固定化し、ガラスセラミックスの表面にスクラッチ傷またはピット痕などの傷をつけることなく、しかも加工面に追従して変形せずに精密な仕上げ加工を可能とするガラスセラミックス表面仕上げ用ビトリファイド砥石とすることである。
【解決手段】酸化セリウムを含む軟質砥粒、または酸化セリウム４０〜８５体積％および硫酸バリウム１５〜６０体積％を混合した砥粒がビトリファイドボンドで固定されたガラスセラミックス表面仕上げ用砥石とし、ビトリファイドボンドが、気孔を有する結晶性ガラス質ボンドまたは結晶性ガラス質ボンド粉末４０〜７５体積％および非結晶性ガラス質ボンド粉末２５〜６０体積％の複合ガラス質ボンドであり、砥粒率３５〜４５体積％および結合剤率５〜１０体積％のガラスセラミックス表面仕上げ用ビトリファイド砥石とする。 （もっと読む）

【課題】従来の研磨ブラシ用毛材に比べ耐酸性と耐湿熱性に優れ、ステンレス鋼板などの酸液洗浄研磨加工において好適に使用できる研磨ブラシ用毛材および研磨ブラシの提供。
【解決手段】ポリエステル系樹脂９９．５〜６６．５重量％、カルボジイミド化合物０．３〜３．５重量％およびシンジオタクチック構造を有するポリスチレン系樹脂０．２〜３０重量％からなる樹脂組成物１００重量部に対し、研磨砥材粒子５〜６５重量部を配合した混合物からなるモノフィラメントを素材とする研磨ブラシ用毛材およびこの研磨ブラシ用毛材を毛材の少なくとも一部に使用した研磨ブラシ。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易かつ安価で、砥石の破損や剥がれがなく、砥石の性能を十分に発揮し得る構造を備えるホーニング砥石を提供する。
【解決手段】 砥石台６に、四角柱状の砥石５がその外周砥石面５ａを露出するように埋設状に一体接合されてなり、砥石台６の構成材料は、砥石５における砥粒の結合材料と強度および線膨張係数において同等の焼結金属材料である。砥石台６と砥石５の一体接合は、砥石台６の焼成時の焼結作用になされる。 （もっと読む）

【課題】 超音波振動に要する消費電力を十分に低くしてエネルギー効率を高くするとともに，構造が簡単かつ安価であるために生産性を向上させることが可能な超音波振動用砥石，これを備える超音波振動加工装置および超音波振動用砥石の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る超音波振動用砥石２２は，砥粒と，圧電セラミックを主成分とする結合材とからなる砥石部２３を備え，砥石部２３は，２つの電極２４によって挟まれており，電極２４に交流電圧が印加されることにより，砥石部２３が超音波振動する。 （もっと読む）

【課題】 両頭研削のような重研削に用いられるレジンボンド砥石において、粉砕したアモルファスカーボンの粒子による優れた潤滑性によって研削抵抗の低減やワークの表面粗さの向上を図りつつ、このような重研削に対しても十分対応しうる強度や耐摩耗性を砥粒層に与えて研削比の向上を図ることが可能なレジンボンド砥石を提供する。
【解決手段】 樹脂をバインダーとするボンド相に超砥粒が分散された砥粒層を有するレジンボンド砥石であって、このボンド相に、粒径２０μｍ以下の粉砕アモルファスカーボン粒子を８〜２０vol%の範囲で、粒径３０μｍ以下のＣｒ_２Ｏ_３粒子を５〜２５vol%の範囲で、それぞれ含有させる。 （もっと読む）

【課題】 傷やポリッシングマークの発生を抑制し、高い平坦度のウェーハを供給することができる研磨クロス及びウェーハ研磨装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハＷを研磨する研磨クロス１２の外周部を、ダイヤモンド砥粒を電着させた研削プレート１９によって円環状に研削することにより、外周部におけるクロス表面の高さを低くした。
これにより、研磨クロス１２の外周部における研磨抵抗が低減し、ウェーハＷの外周部における面ダレの少ない高平坦なウェーハを製造することができる。 （もっと読む）