【課題】薄肉で剛性の低い板状素材でも欠けが生じることなく分割体を製造する。
【解決手段】あらかじめ分割溝１２が形成された脆性材料からなる板状素材１１を湾曲させることにより分割溝１２から分割して複数の分割体１３を製造する方法であって、板状素材１１の両面に可撓性材料からなる一対の当て板部材２１を配置し、これら当て板部材２１により板状素材１１を挟持した状態で該当て板部材２１を撓ませることにより両当て板部材２１の間で板状素材１１を分割する。 （もっと読む）

【課題】超高圧液体を噴射する噴射部を高速に移動させて、使用する電力を低減させることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、対象物に対して超高圧液体を噴射することで前記対象物を加工する液体噴射装置であって、流体を流動させることができる流路３４ａと、前記流路３４ａを流動する流体と共に移動する推進体５１と、前記超高圧液体を噴射する噴射部４４が設けられ、前記推進体５１と連動し前記流路３４ａに沿って走行する走行体４１とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ加工装置は、被加工物２に向けて噴射ノズルから液体を液柱Ｗにして噴射するとともに、該液柱を導光路として該液柱内にレーザ光Ｌを導入して上記被加工物に照射し、被加工物に所要の加工を施すようになっている。上記レーザ光Ｌの光軸は、噴射ノズルの中心線Ｏからノズル直径の１／５〜１／１０の範囲Ｄ内でずらして設定されている。
【効果】 レーザ光Ｌの光軸を上述した範囲Ｄ内でずらして設定することにより、レーザ光のエネルギー損失を可及的に防止しながら、液柱内で均質な強度分布が得られる。これにより、被加工物に溝を形成する作業や被加工物に被覆された皮膜を除去するような作業を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

本発明は振動切削装置１と振動切削方法を開示する。振動切削装置は、少なくとも１個の第１の振動ヘッド１０と、キロヘルツ範囲を下回る周波数範囲内で振動させるために第１の振動ヘッド１０を選択的に電気的に励振し得るコントローラと、第１の固定具３０と第２の固定具４０との間に配置された切削工具５０とを有し、第１の固定具３０が第１の振動ヘッド１０に接続されており、第１の振動ヘッド１０の機械的振動を切削工具５０に伝達することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、貼合せ基板を、精度良くかつ効率良く分断することができる貼合せ基板の分断方法を提供することを課題としている。
【解決手段】スクライブライン１１を形成した複数枚の基板２,３を貼り合わせて成るワークＷを、スクライブライン１１に沿って分断するワークＷの分断方法において、スクライブライン１１を跨いで、スクライブライン１１の両側にワークＷを挟むように臨む一対のブレイク部材３５,６４を用い、一対のブレイク部材３５,６４により、ワークＷを谷折りしてワークＷの下半部側を分断する谷折り分断工程と、ワークＷを山折りしてワークＷの上半部側を分断する山折り分断工程と、を行ってワークＷを分断する。 （もっと読む）

【課題】原点位置を補正して安定した加工精度を確保する。
【解決手段】噴流加工装置１における原点補正方法であって、噴流加工装置１は、ＸＹＺ軸の３軸制御の他、傾斜旋回角度を制御する２軸角度制御を備え、Ｚ軸方向に噴流体を噴射した状態で、噴流体が加工先端点Ｇ_Ｊの上方に位置するＸＹ平面内を通過する位置を測定する噴流体の芯ぶれ測定工程と、芯ぶれ測定工程により取得した位置データと予め設定されたＸＹ軸の機械原点との偏差に基づいて加工先端点Ｇ_Ｊにおける誤差を演算して噴流体の芯ぶれを補正する噴流体の芯ぶれ補正工程と、角度制御によりＺ軸方向に対して噴流体を傾斜させて噴射した状態で、噴流体がＸＹ平面内を通過する位置を傾斜角度を変えて２箇所で測定する噴流体の先端点振れ測定工程と、２箇所で測定した位置データの差分を算出して噴流体の加工先端点Ｇ_Ｊの振れを補正する先端点振れ補正工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】円板状の貼合せ基板をスクライブラインに沿って確実に分断することができる貼合せ基板の分断装置を提供することを課題としている。
【解決手段】表裏一方の面にスクライブライン１１を形成した円板状のワークＷを、スクライブライン１１に沿って分断する貼合せ基板の分断装置２１において、スクライブライン１１を下側にしてワークをセットするワーク移動ユニット２３と、セットしたワークＷに対し、スクライブライン１１に沿って延在方向の中間部に上側から当接するブレイク部材５１と、中間部に生じた亀裂がスクライブライン１１に沿って外端部に進行するように、ブレイク部材５１を押圧する押圧機構５３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】噴射の対象物の金属汚染を抑えることができるウォータノズルを提供する。
【解決手段】後方で加圧された水をオリフィス孔５ａを通過させ加速させて前方に噴射するウォータノズル１は、単結晶ダイヤモンドからなり上記オリフィス孔５ａが形成されたノズルオリフィス部５と、ノズルオリフィス部５を保持するノズルボディ部３と、を備えている。そして、ノズルボディ部３のうちの、少なくとも、後方で加圧された水に接触する部分は、樹脂からなる。 （もっと読む）

【課題】加工対象部にウォータージェット等の切断作用移動体を当てる際に支持部により支持される部位に他の加工対象部が位置しても、支持部を切断することなく、ワークを加工することができるワーク加工方法及びワーク支持装置を提供する。
【解決手段】ノズル４１から矢印で示すウォータージェットＪを噴射して、ノズル４１を駆動してウォータージェットＪをワーク３の一方側の面としての上面から加工対象部４に当て、加工対象部４上を動作させる。ウォータージェットＪはワーク３を貫通して、ワーク３は加工対象部４の部分で切断され、円形の穴４ａを形成される。ワーク３を貫通したウォータージェットＪはスリット４３を通過して、水槽１５内に噴射される。切断工程において、ワーク３を貫通したウォータージェットＪは、スリット４３を通過するので、パレット部材９や支持台１７、１９を切断することはない。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板の分割サイズの小形化に伴うセラミック基板の分割不良を解消し得るセラミック基板の分割装置を提供する。
【解決手段】互いに交差した第１のブレーク溝と第２のブレーク溝を備え、第１のブレーク溝の間隔が第２のブレーク溝の間隔以下の長さであるセラミック基板１００を、第１のブレーク溝の方向と回転軸２０７が平行で周面に複数の突起２０８を備えたローラ２０４と、ローラ２０４に対向する支持台３０４とによって挟持し、第１のブレーク溝に沿ってセラミック基板１００を分割する。 （もっと読む）