【課題】本発明は、視野角制限フィルムの製造方法に関する。
【解決手段】本発明の視野角制限フィルムの製造方法は、所望するパターンが陰刻されたニッケル金型を製造するステップと、硬化樹脂を前記ニッケル金型に注入してマスターモールドを製造するステップと、前記マスターモールドに紫外線硬化樹脂を注入した後、硬化させて凸凹パターンが形成されたフィルムを製造するステップと、前記フィルムパターンの凹部にブラックインクを注入するステップと、を含んでなる。本発明の視野角制限フィルムの製造方法は、その工程が単純かつ生産効率に優れ、低コスト生産が可能であるという長所がある。 （もっと読む）

【課題】
シート状樹脂基材をガラス転移温度以上に保持したまま、金型からの離型を良好に行うことができる微細形状転写用シートを提供することである。
【解決手段】
シート状樹脂基材の少なくとも一方の面に離型層が設けられ、シート状樹脂基材の該一方の面側部分を構成する樹脂のガラス転移温度をＴｇとしたとき、離型層の（Ｔｇ−５）℃〜（Ｔｇ＋１５）℃における明細書中で定義する離型強度が８０〜１２０ｇ／４０ｍｍである微細形状転写用シートである。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、放射線感受性材料をイメージングするために回転式マスクが使用される、大面積の基体のナノパターン形成に有用な方法および装置に関する。典型的には、この回転式マスクは円筒を含む。このナノパターン形成技術は、基体をパターン形成するために使用されるマスクがその基体と動的接触にある、近接場フォトリソグラフィを利用する。この近接場フォトリソグラフィはエラストマーの位相シフトマスクを利用してもよいし、または回転する円筒表面が金属ナノホールまたはナノ粒子を含む表面プラズモン技術を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】パターン位置ずれを有するインプリントマスクのパターン位置ずれを補正することができるインプリントマスクの製造方法を提供すること。
【解決手段】マスク基板３０上にパターン形成するパターン形成工程と、マスク基板３０上に形成されたパターンの実際の位置と設計上の位置との間の位置ずれ情報を算出する位置ずれ情報算出工程と、算出された位置ずれ情報に応じた体積膨張となるように、基板３０内の所定の位置に周囲のマスク基板領域よりも体積が膨張した異質層３５を形成する異質層形成工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基体上に塗布し、モールドを押し付けた際に、低いプレス圧力で構造体を得ることが可能なインプリント用膜形成組成物、並びにそのインプリント用膜形成組成物を用いた構造体の製造方法及び得られた構造体を提供する。
【解決手段】本発明に係るインプリント用膜形成組成物は、樹脂と、有機溶剤とを含有し、この有機溶剤が、大気圧における沸点が１００〜２００℃である特定溶剤を含む。構造体を製造する際には、本発明に係るインプリント用膜形成組成物を基体上に塗布して樹脂層を形成し、この樹脂層にモールドを押し付けた後、樹脂層からモールドを剥離する。 （もっと読む）

【課題】パターンの破損を防止し、離型工程を容易にするモールド作成法および転写装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールドは、凹凸パターンが形成された面と逆側の面の基板に、基板外縁部から基板中心部に向けて窪みが深くなるように形成された凹部を形成したことを特徴とする。本発明の構成によれば、剥離時に樹脂とインプリントモールドの付着力によってインプリントモールド自体が湾曲し、剥離力が付着面の周囲に集中して働くため、従来よりも小さな力で剥離を開始する事が出来る。また、剥離が進行するにつれて剥離力は周囲から中心へと順次効率よく働いていくため、パターン破損の減少と転写スピードの向上の両立を図る事が出来る。 （もっと読む）

【課題】製造工程を短縮化することができる電鋳品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マスター金型１１の表面に、電気めっきを施してマスター金型１１と逆パターン形状の電鋳層２を形成し、その電鋳層２をマスター金型１１から離型して電鋳品を製造する製造方法において、マスター金型１１に少なくとも導電性材料を有する補強枠３を接触させて、その状態でマスター金型１１と補強枠３とに電気めっきを施して補強枠３と一体化された電鋳層２を形成し、一体化された電鋳層２と補強枠３とをマスター金型１１から離型して電鋳品１を製造する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で型部材の被加工体への押込み速度を遅くし、型部材から被加工体への転写性を向上させつつ作業効率を向上させ、加工費用や装置の製造コストを軽減する。
【解決手段】被加工体２０を保持する保持部材１９と、被加工体２０と対向して設けられ、第１面と該第１面の裏面側の第２面とを有し、被加工体２０に転写する転写パターン１６ａが第１面に形成され、被加工体２０側の第１方向および第１方向と逆方向に移動可能な金型１６と、金型１６を第１方向に移動させて被加工体２０に押し込み、金型１６を第２方向に移動させて被加工体２０から引き離す駆動源１１と、金型１６と間隙をあけて設けられ、金型１６との間隙を調整可能に連結された固定部材１４ａと、金型１６と固定部材１４ａとの間の間隙に配置され、第１方向および第２方向に作用する弾性力を有する弾性部材１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 第１の機能部品と第２の機能部品とを精度の高いアスペクト比で対向配置することが可能なパッケージ部品及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 遮光パターン２２が形成された透明基板２１に未硬化の光硬化樹脂を塗布して光硬化樹脂層２４を形成した後、光硬化樹脂層２４の上面に加圧基板２５を押し当てて光硬化樹脂層２４を所定の膜厚寸法に設定し、その後に透明基板２１の他方の面側に遮光マスク３０を設置するととも透明基板２１の他方の面側を露光して光硬化樹脂層２４を部分的に硬化させる。さらに光硬化樹脂層２４から未硬化の部分を除去してダム材１３を露出させ、その後に前記ダム材１３の両面に第１の機能部品と第２の機能部品を対向配置するようにした。ダム材１３を精度の高いアスペクト比で形成することができるため、第１の機能部品と第２の機能部品とを高精度に対向配置することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】被加工体と緩衝薄膜層との固着を防止し、生産性を損なわずに製造コストを軽減するとともに、型部材を破損することなく、高精度で微細な貫通孔を有する微細貫通孔構造体を製造する。
【解決手段】保持部材１０の上に、所定の加熱温度より高い軟化点を有する材料で形成された緩衝薄膜層１１と被加工体１２とを順に形成する形成工程と、被加工体１２と、被加工体１２と対向して設けられ、被加工体１２に転写パターン１４を形成した金型１３とを加熱する工程であって、被加工体１２と金型１３の少なくともいずれか一方を、加熱温度まで加熱する加熱工程と、金型１３を被加工体１２に押込む押込み工程と、被加工体１２と金型１３とを冷却する冷却工程と、被加工体１２から金型１３を引き離す離型工程と、緩衝薄膜層１１から被加工体１２を引き離す離体工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）