【課題】コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】被印刷物を吸着面に負圧吸着する際の被印刷物や吸着面の損傷を抑制する。
【解決手段】スクリーン印刷の被印刷物４０を負圧吸着する吸着面２２に配置されるシート３０は、吸着面２２に開口する負圧吸着孔２１の位置に対応する位置に形成されたスリット状の切れ目３１を備える。切れ目３１は、負圧吸着孔２１からの負圧の作用を受けて負圧方向に変形することにより負圧吸着孔２１と被印刷物４０との間を開通し、被印刷物４０へ負圧吸着力を作用させ、且つ、負圧吸着孔２１からの正圧の作用を受けて正圧方向に変形することにより負圧吸着孔２１と被印刷物４０との間を閉塞し、被印刷物４０への負圧吸着力の作用を遮断する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、基本発明は、基板反り矯正手段を用いて、プリント基板の反り矯正だけでなく、重なっている複数枚のプリント基板の供給を検出できる信頼性の高いスクリーン印刷機またはスクリーン印刷方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、プリント基板を基板支持ユニットに載置し、反り矯正体を下降させて前記載置されたプリント基板を上から押圧して前記プリント基板の反りを矯正し、その後、前記プリント基板にスクリーンの有する印刷パターンを印刷するスクリーン印刷機又はスクリーン印刷方法において、前記反り矯正体と共に移動しない固定部にからの前記プリント基板との距離を直接的又は間接的に検出し、前記検出の結果に基づいて前記基板支持ユニットに複数枚の前記プリント基板が供給されたと判断する。 （もっと読む）

【課題】セラミック製の基板に対する印刷に多種類のマスクを用意する必要がなくて印刷精度も確保しやすいスクリーン印刷方法を提供すること。
【解決手段】焼成後の基板５の大きさが設計値に対してばらついている場合、印刷テーブル４を基板５と共にスキージング方向または反スキージング方向と略同等の向きへ移動させながら、マスク２上の印刷用ペースト６をスキージングして基板５に塗布する。印刷テーブル４を移動させる向きおよび速さは基板５の大きさのばらつきに応じて設定し、スキージング方向に沿う基板５の長さが設計値に比べて長い場合は、パターン孔２ｂよりも広い領域に印刷用ペースト６が塗布され、その逆に設計値に比べて短い場合は、パターン孔２ｂよりも狭い領域に印刷用ペースト６が塗布されるようにする。 （もっと読む）

【課題】配線パターンの欠陥部の修正を行うにあたり、操作者の負担を小さくすることができるともに人為的な位置決めミス等のトラブルが発生することを抑制することができるスクリーン印刷装置および印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷装置に設けられた修正用スクリーン印刷部２０は、貫通穴２２ａが設けられたスクリーン版２２を介して修正用スキージ２４により修正用ペースト２８を印刷定盤３０上の基材１０に転移させる。制御部５０は、撮像部４０により撮像された基材１０の画像に基づいて当該基材１０における配線パターン１２の欠けた箇所１２ａを検出し、当該基材１０における配線パターン１２の欠けた箇所１２ａに修正用ペースト２８を付着させるよう修正用スクリーン印刷部２０を制御する。 （もっと読む）

【課題】スクリーン版と被印刷物との隙間へのインク漏れを低減することにより、高精度なスクリーン印刷を可能とする。
【解決手段】スクリーン印刷装置（１）のテーブル角度調整機構（２０）は、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）をワーク（被印刷物）（Ｗ）側に押し付けて所定の移動方向に移動している間、スキージ（５０）の移動位置に応じてスキージ（５０）のスクリーン版（４０）に対するテンションを一定に保ち、かつ、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）を押し付けている位置より移動方向の前方側ではワーク（Ｗ）とスクリーン版（４０）とが密着し、スキージ（５０）がスクリーン版（４０）を押し付けている位置より移動方向の後方側ではワーク（Ｗ）とスクリーン版（４０）とが離間するようにテーブル（１１）の角度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に多層パターンを印刷する方法及び装置を提供する。
【解決手段】一実施形態では、多層パターンを印刷する方法は、基板の表面の一領域上に第１パターン化層を堆積させることを含む第１印刷工程と、表面の前記領域、すなわち第１パターン化層の上に第２パターン化層を堆積させることを含む第２印刷工程と、第１パターン化層に対する第２パターン化層の位置決めの精度を確認する工程とを含む。確認する工程は、第１印刷工程後に第１パターン化層の第１光学画像を取得する工程と、第２印刷工程後に第２パターン化層の第２光学画像を取得する工程と、第１減算光学画像を形成するために画像減算を行う工程と、減算光学画像を第１画像と比較することによって第２パターン化層の位置を決定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板の被印刷面の外周縁部に未印刷領域を形成することなく、または未印刷領域を極力少なくしてペーストを印刷可能であり、且つ基板の側面へのペーストの付着を防止して製造での良品率を向上させることができるスクリーン印刷機を得ること。
【解決手段】印刷マスク１０７上においてスキージ１１０を摺動することにより前記印刷マスク１０７上のペースト１０９を前記印刷マスク１０７に設けられた開口パターンを介して前記印刷マスク１０７の下部の印刷ステージ１０２ａ上に配置されたｐ型多結晶シリコン基板２Ａの被印刷面に塗布するスクリーン印刷機であって、前記ｐ型多結晶シリコン基板２Ａの側面形状に沿って形成された側面を前記印刷ステージ１０２ａ上において前記ｐ型多結晶シリコン基板２Ａの側面に隙間無く密着させて前記ｐ型多結晶シリコン基板２Ａを固定可能な１つ以上の補助板１０４、１０６を有する。 （もっと読む）

【課題】製造途中の配線基板表面に印刷を行なう際に、配線基板の反りを抑えつつ印刷工程の効率を向上させる。
【解決手段】配線基板の製造方法は、（ａ）複数の配線基板形成板と、複数の配線基板形成板を保持可能な枠体部とを用意する工程と、（ｂ）枠体部に複数の配線基板形成板を配置する工程と、（ｃ）押圧部で各々の前記配線基板形成板を押圧すると共に、搬送治具を枠体部に取り付ける工程と、（ｄ）枠体部に取り付けた搬送治具を印刷テーブル上に搬送する工程と、（ｅ）印刷テーブルと各々の配線基板形成板との間に陰圧を発生させることによって、配線基板形成板を印刷テーブル上に吸着させる工程と、（ｆ）搬送治具を枠体部から取り外す工程と、（ｇ）枠体部に取り付けられた状態で印刷テーブル上に吸着された各々の配線基板形成板に対して印刷を行なう工程と、を備える。 （もっと読む）