【課題】省エネルギー性や搬送安定性に優れるとともに、基板の温度測定が容易に行えるような連続式熱処理炉を提供する。
【解決手段】基材上に機能膜材料が形成された基板１を搬送しながら前記機能膜材料を熱処理する連続式熱処理炉であって、基板１を搬送するための搬送機構として、垂直方向に立設され、駆動装置により回転する回転軸３と、回転軸３から水平方向に放射状に延びる、少なくとも２本を一組として複数組設けられたビーム５又は線材を有する搬送治具６とを備え、回転軸３を回転させることにより、搬送治具６を連続的又は間欠的に水平回転動作させて、搬送治具６に載置された基板１を搬送する搬送機構が備えられた連続式熱処理炉。 （もっと読む）

【課題】高温環境の下で処理されるガラス基板等のワークを搬送する際、ハンドを効率良く均一に冷却することができるとともに、従来に比較して軽量な構造のハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットを提供する。
【解決手段】外部と隔絶され中空１１ａを有する形状に形成されてワークを載置する載置部１１と、載置部１１の一端側の中空１１ａに冷却媒体を導入する媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄと、載置部１１の他端側の中空１１ａから冷却媒体を排出する媒体排出口１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精密基板の洗浄を行う洗浄装置において、汚染因子再付着防止、自然酸化形成の防止、ウォータマーク防止が可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板２を容器３内に配置し、容器３内の雰囲気を測定する雰囲気計測器４と雰囲気を制御するガス供給手段５およびガス排気手段６、７を配置した洗浄装置１において、被洗浄面に対向した部位からガスを均一に供給するガス供給手段５、筒状固定軸１６、流体軸受け１７および回転支持部材１８からなる回転保持機構にガスを供給するガス供給手段２１、排水機構にガスを排気するガス排気手段７、洗浄液噴射時の雰囲気を制御するガスを供給するガス供給手段３１のいずれか一つ以上の手段を具備する。洗浄装置１内の雰囲気を測定する雰囲気計測器４は、任意のタイミングで計測可能であり、引火性成分、可燃性成分、または支燃性成分のいずれか１つ以上の成分を検出可能なものとする。 （もっと読む）

【課題】台車と接触するガイドローラ部材において、表面硬化処理が施されて耐摩耗性を向上させることができるとともに、表面硬化処理が施されていても仕上げ加工時間を少なくさせることのできるガイドローラ装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持する台車Ｗを真空中で搬送するためのガイドローラ装置である。支軸部材１と、この支軸部材１に外嵌している転がり軸受２，３と、この転がり軸受２，３に外嵌しており表面硬化処理が施されている筒状のガイドローラ部材４とを備えている。ガイドローラ部材４の内周面４ａは凹凸面１９とされており、この凹凸面１９は、底部が機械加工されずに表面硬化処理面のままとされている凹部と、研削加工によって平滑とされている平滑面部とを有している。内周面４ａは転がり軸受２，３との嵌め合い精度を確保するために研削加工されるが、これにより研削加工部を少なくできる。 （もっと読む）

【課題】 従来必須であった組み立て前の洗浄工程を不要とし、搬送コストを抑え、さらに、極小のランプ部材であっても取り扱いが容易となるハードディスク用ランプ部材の搬送方法を提供する。
【解決手段】 ランプロード方式のハードディスク装置に搭載されるランプ部材の搬送方法であって、クリーンブース内で成型（Ｓ１）、ゲートカット（Ｓ２）がなされたランプ部材を、同クリーンブース内でテープキャリアの所定部位に個々に搭載し、密閉梱包（Ｓ３）して搬送した後、ハードディスクの組み立て工程にて、クリーンルーム内で開梱（Ｓ４）して組み立て（Ｓ５）に供することを特徴とするランプ部材の搬送方法。 （もっと読む）

【課題】
雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出でき、更に検出器の調整が容易なモータシステムを提供する。
【解決手段】
それぞれハウジングを構成する本体１２Ａ，１２Ｂと、隔壁１３Ａ，１３Ｂとを装着したまま分離可能となっているので、それ以上ダイレクトドライブモータＤ１，Ｄ２を分解することなく、モータユニットＭＵ１の下側に配置されたダイレクトドライブモータＤ２のステータとレゾルバの角度調整を容易に行うことができ、且つモータユニットＭＵ２の上側に配置されたダイレクトドライブモータＤ２のステータとレゾルバの角度調整を容易に行うことができる。また、軸受１９’の点検や交換も容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】走行による発塵を効果的に抑止できる搬送台車を提供することを目的とする。
【解決手段】走行路１にグレーチング１ａが形成されたクリーンルーム内を走行する搬送台車１０において、搬送物を載置する搬送物載置部１２が設けられた台車本体１１と、前記台車本体１１の下面１１ｂの外縁に開口された吹き出し口２０と、前記吹き出し口２０から台車本体１１中心部に向けて斜下方に空気を排出して前記走行路１の上面に空気を吹き付ける排風機構２とを具備してなるものである。前記排風機構２は、前記吹き出し口２０と連通されて前記台車本体１１の外縁に沿って設けられた通風ダクト２１と、該通風ダクト２１を介して吹き出し口２０まで空気を送風する軸流ファン２２とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。 （もっと読む）

【課題】 真空処理システムにおいて被処理体の有機物汚染を低減させる。
【解決手段】 ロードロック室２０（２２）には、室内を真空排気するための排気機構３８が接続されるとともに、室内にパージガスを供給するパージガス供給部４４が接続されている。このロードロック室２０（２２）内に半導体ウエハＷが滞在している間は、排気機構３８が室内を一定の排気量で排気し、コントローラ４８、真空計４６および流量調整バルブ４０によりパージガス供給部４４から供給されるパージガスの流量が制御され、ロードロック室２０（２２）内の圧力が設定値に保たれる。この設定圧力は、有機物汚染の防止ないし低減に有効な数十〜数百Ｐａの範囲内に選ばれ、搬送室１０の圧力よりも高め（好ましく１倍〜２倍の範囲内）に選ばれてよい。 （もっと読む）

【課題】処理の歩留まりを向上させた真空処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器内に配置され内部でプラズマが形成される処理室２０７と、この処理室内の下部に配置されその上面に処理対象の試料が載置される試料台２１２と、前記処理室２０７の上方に配置されこの処理室内に処理用のガスを導入するための導入孔を有するプレート２０８と、前記真空容器２０２と連結されて減圧された内部を前記処理対象の試料が搬送される搬送容器２１８と、この搬送容器２１８の内部と前記真空容器内とを連通する通路を開閉するゲートバルブ２１７とを備え、前記真空容器内に前記導入孔から所定のガスを導入しつつこの真空容器内の圧力と前記搬送容器内の圧力とを略同等に調節した後に前記ゲートバルブ２１７を開放して前記試料を前記真空容器２０２と前記真空搬送容器２１８との間で搬送する。 （もっと読む）