【課題】収納空間に収納されている複数の板状物品の清浄度を高く保ちながら、その複数の板状物品を搬送することができる板状物品用搬送車の提供。
【解決手段】複数の板状物品を水平方向に沿う姿勢で上下方向に間隔を隔てて並べる状態で収納する直方体状の収納空間が、外部と遮蔽される状態で設けられ、複数の板状物品の隣接するもの同士の間を通して浄化空気を通風するように、収納空間の側周部における側壁部に相当する側壁部１５ａから側壁部１５ｂに向けて浄化空気を通風する浄化空気通風手段１３が設けられ、収納空間における矩形状の底部１４のうちの、側壁部１５ｂに隣接する端部側箇所１４ｂ、及び、側壁部１５ａに隣接する側壁部１５ｃに隣接する端部側箇所１４ｃに、浄化空気を収納空間の外部に排出する浄化空気排出用開口部１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】清浄空間の下方への浄化空気の排出を的確に行い、清浄空間の清浄度を高く維持することができる浄化空気通風式の物品保管設備の提供。
【解決手段】走行空間３における物品搬出入部５の存在側とは反対側の非物品搬出入箇所７、走行空間３の上部箇所、及び、物品収納部２の背部箇所を外部と遮蔽するように囲む状態で形成される空気循環路４０が、走行空間３内の浄化空気を取り入れる走行空間内空気取入用開口部４１を、非物品搬出入箇所７に対応する部分に備える状態で、且つ、清浄空間１内の浄化空気を取り入れる清浄空間内空気取入用開口部４２を、その長手方向における少なくとも一部に備える状態で設けられ、物品収納部２の後部に空気循環路４０における物品収納部２の背部箇所に対応する部分内の浄化空気を通風する浄化空気通風手段２６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】最小単位の装置のブロック構成化を図ることにより装置の配置構成に自由度を向上させ、装置構成上の問題を伴うことなく装置全体の小型化が向上し装置全体のフットプリントを小さくすること。
【解決手段】被処理基板Ｇに対して所定の処理を施す処理部を一方向に複数配置して構成された処理部配置部２１〜２３と、この処理部配置部内に設けられ前記被処理基板を搬送する第１の搬送機構と、この処理部配置部外かつ前記一方のほぼ延長線上に固定してまたは前記一方向のほぼ延長線上に対して直交する方向に固定してまたは／及び前記一方向の延長線上と平行する線上を移動自在に設けられ前記第１の搬送機構に対して直接或いは間接的に前記被処理基板を受け渡し自在に構成された第２の搬送機構１１〜１５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】被移送物を衝撃や振動を起こすことなく円滑にかつ安定して定位置に迅速に移送することができ、しかも移送中の被移送物の落下や位置ずれを防止するようにしたマグネット式移送装置を提供する。
【解決手段】パイプ（１）内外にそれぞれ内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）を有し、これらの内部スライダー軸（２）と外部スライダー体（３）間をマグネット（４）で連結して移送可能としたマグネット式移送装置であり、上記マグネットは、内部スライダー軸（２）の軸方向に直交する方向に配列した直状配列マグネット（５）と、内部スライダー軸（２）の軸方向に対向して斜状に交叉するようにずらした一対の斜状配列マグネット（６）を備え、内部スライダー軸（２）及び外部スライダー体（３）を衝撃なく円滑に、かつ安定して定位置に移送することができる。 （もっと読む）

【課題】次処理工程に応じて基板を仕分けるのに要する作業時間を短縮する。
【解決手段】複数の基板Ｗを収容するカセット８０が多段に配置される多段棚５，５と、上記基板Ｗを複数載置可能な入出部６と、上記多段棚５，５及び上記入出部６の正面５ａ側に移動可能に配置されるとともに上記多段棚５，５と上記入出部６との間において上記基板Ｗの受け渡しを行う移載装置２０とを備え、上記基板Ｗをクリーン環境下において移動する基板保管庫であって、上記移載装置２０は、複数の上記基板Ｗを一時的に留め置くことが可能なバッファ領域２８と、上記バッファ領域２８と上記多段棚５，５との間において任意の基板Ｗを枚葉搬送する枚葉搬送手段２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ガスカーテンを通過して被搬送体を搬送しても、ガスカーテンを超えたガスの移動が発生しない搬送装置および被搬送体を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送する搬送装置１１である。ガスカーテンは、被搬送体１４の搬送方向１６に対して垂直にガスを噴射して形成される。被搬送体１４は、搬送状態のときに、ガスの噴射方向１９と搬送方向１６とに垂直な方向の形状が、噴射方向１９の上流側に向かって、連続的に徐々に薄くなるように、上流側の側面２１が一方向に傾斜している。さらに、噴射方向１９の下流側に向かって、連続的に徐々に薄くなるように、下流側の側面２２が一方向に傾斜している。
そうすることによって、搬送装置１１は、被搬送体１４がガスカーテンを通過して被搬送体１４を搬送しても、ガスの乱れが発生しにくいので、ガスカーテンによる閉塞効果が高く、ガスカーテンを超えてガスが移動しない。 （もっと読む）

【課題】移載動作の反復による搬送物の帯電を防止するようにした移載機を提供する。
【解決手段】搬送物１をハンド２上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物１の帯電を防止する帯電防止部材３をハンド２に設ける。この場合において、帯電防止部材３を、搬送物１への接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成し、搬送物１を損耗したり逆に損耗を受けたりすることなく、発塵を少なくするとともに帯電防止部材３を取付が容易で安価なものとすることができる。また帯電防止部材３を、ハンド２上面にハンド２と一体となるよう配設する合成樹脂プレート２Ｐの一部又は全部に帯電防止樹脂プレートを配設して、構成することにより、既設のハンド２には他の部材を取り付けないので設計を変更する必要がなく、一部又は全部の合成樹脂プレート２Ｐを帯電防止樹脂プレートと交換するだけで確実に搬送物１の帯電を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内においてワークを搬送するための移動装置の内部で発生した塵埃が移動装置からクリーンルーム内に漏れ出てクリーンルーム内が汚染されにくくする。
【解決手段】クリーンルーム内には、２本の固定ガイドレール２１を配設し、固定ガイドレール２１間には走行ガイドレール２２を走行自在に架設する。固定ガイドレール２１は、走行ガイドレール２２の端部に設けたスライダ３５を走行させるための走行用空間３４と、側面開口３１と、前記走行用空間３４内の塵埃を吸引してクリーンルームの外部へ排出するための吸引貫通路４９とを備えている。走行ガイドレール２２の端部には、吸気装置５１を備えた排気結合用アダプタ５６が設けられており、吸気装置５１の一端は走行ガイドレール２２の内部に形成された吸引貫通路５４に連通し、他端が固定ガイドレール２１の側面開口３１を通過して吸引貫通路４９の開口に臨んでいる。 （もっと読む）

【課題】 長い走行距離でも防塵機能を維持し、装置本体の高さを変えることのないコンパクトで安価な走行装置を提供する。
【解決手段】 移動側の発塵部近傍に送風装置を設け、固定側にも装置の位置によって排気量を調節出来るようにしたフィルタ付きの排気装置を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は真空チャンバを通して搬送される平面基板用の搬送システムを備えた真空コーティング設備に関する。
【解決手段】搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダの駆動手段として、１つ以上のモータを設置することができ、真空チャンバの内部又は外部に位置される。モータとシリンダとの間の連結はいずれの場合もマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間には機械結合が確立されないことから、これらは容易に分離可能であり、真空チャンバ内外への移動が可能なスライドイン要素にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して他方のシリンダに連結可能である。 （もっと読む）