平面基板搬送用搬送ローラを備えた真空コーティング設備
【課題】本発明は真空チャンバを通して搬送される平面基板用の搬送システムを備えた真空コーティング設備に関する。
【解決手段】搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダの駆動手段として、１つ以上のモータを設置することができ、真空チャンバの内部又は外部に位置される。モータとシリンダとの間の連結はいずれの場合もマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間には機械結合が確立されないことから、これらは容易に分離可能であり、真空チャンバ内外への移動が可能なスライドイン要素にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して他方のシリンダに連結可能である。
【解決手段】搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダの駆動手段として、１つ以上のモータを設置することができ、真空チャンバの内部又は外部に位置される。モータとシリンダとの間の連結はいずれの場合もマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間には機械結合が確立されないことから、これらは容易に分離可能であり、真空チャンバ内外への移動が可能なスライドイン要素にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して他方のシリンダに連結可能である。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は請求項１又は２の前提項に係る真空コーティング設備に関する。
【関連技術】
【０００２】
真空コーティング設備内で基板コーティングを行う場合、粒子はターゲットから叩き出され基板方向に向かって移動し、基板上に堆積される。均一な基板コーティングを得るため、基板とターゲットを互いに相対的に運動させ、好ましくは基板をターゲットを超えて移動させる。
【０００３】
基板は、真空コーティング設備内を特殊な搬送装置を用いて移動される。
【０００４】
大面積で実質的に剛性の基板、例えば建築用ガラスをコーティングする場合には搬送システムを利用することが多く、搬送システムは異なる連続搬送ローラから構成される。これらの搬送ローラは歯付ベルト、チェーン又は歯車を介して互いに連結されており、共通の駆動手段、例えばモータによって駆動される。
【０００５】
軸用の駆動装置はすでに公知であり、チャンバ内に位置される（ＵＳ２００５／０２０６２６０Ａ１）。ここでこの軸はマグネットカップリングを介してモータによって作動し、モータはチャンバ外に位置している。
【０００６】
真空コーティング設備における、複数のローラを備えた基板搬送装置もまた公知であり、少なくとも１つのローラが駆動軸として機能する（ＤＥ１０３２８２７３Ａ１）。この装置においては、搬送ローラのみならず駆動手段も全てコーティング設備の真空領域内に設置されている。
【０００７】
最後に、部品搬送システムを備える処理チャンバもまた公知である（ＧＢ２１７１１１９Ａ）。この搬送システムはマグネットカップリングによって駆動されるシリンダを含む。ここでマグネットカップリングは外部から処理チャンバ内へのトルク伝達のためだけではなく、チャンバ内のリフト上に配置された二対の搬送ローラ間の切り替えにも役立つ。
【０００８】
本発明は真空コーティング設備内に平面基板用の搬送装置を提供する問題に対処するものであり、この搬送装置の真空コーティング設備への装填及び取り外しを多大な困難を伴うことなく実行可能である。
【発明の概要】
【０００９】
この問題は特許請求項１又は２の特徴部により解決される。
【００１０】
従って、本発明は真空チャンバを通して搬送される平面基板のための搬送システムを備えた真空コーティング設備に関する。この搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダ用の駆動手段として１つ以上のモータを設置してもよく、真空チャンバ内部又は外部に配置される。いずれのケースにおいても、モータとシリンダとの間の連結はマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間に機械的な連結が不要となることからこれらを容易に分離でき、真空チャンバ内外へと駆動可能なスライドイン要素内にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して残りのシリンダに連結可能である。
【００１１】
本発明で得られる利点には、特には、回転式シール要素、例えば回転軸シール又は流体シールが不要であることが含まれる。加えて、漏れの危険性のある部位が回避される。さらに、マグネットカップリングは非接触型であるため損耗及び保守不要である。つまり、回転式フィードスルーよりも費用効率を高く製造することも可能である。これに加え、マグネットカップリングの場合、トルク限界を磁石距離により簡単に設定可能である。
【００１２】
搬送装置が大面積基板、例えばシート又はガラス、特には建築ガラス搬送用の搬送ローラを備えたものである場合、各搬送ローラがマグネットギャップカップリングを各自で含むと特に有利である。回転式の堅牢なカップリングと比較して、マグネットギャップカップリングは真空気密であるという点で特に有利である。この性質が、マグネットギャップカップリングの真空コーティング設備での使用を事実上理想的なものとしている。また、マグネットギャップカップリングはラジアル及びアキシャル型構成で実施可能であるという利点もある。
【００１３】
従って、駆動機構は従来のような真空内だけでなく、大気圧下にも配置することが可能である。
【００１４】
駆動機構を大気圧下に設置可能であることから、数時間にわたる長時間の排気時間が不要となり、保守と修理がより単純になり、製造コストが著しく低下する。駆動機構を大気圧下に設置する場合、これは比較的高価な真空回転式フィードスルーがもう不要となることも意味する。真空回転式フィードスルーは、遥かに費用効率の高いマグネットギャップカップリングに置き換えられる。マグネットギャップカップリングを利用することにより、回転式シール要素、例えば軸又は流体シールを取り付ける必要がなくなり、漏れの生じる可能性のある部位が回避される。
【００１５】
駆動手段、例えば電気モータはマグネットギャップカップリングを介して回転運動を搬送ローラに伝達するため、基板の搬送速度も簡単に設定可能である。一つには、搬送速度は駆動手段それ自体を通して設定可能である。第二に、磁石間の距離を調整することによりトルク限界を得ることができ、磁石の強度もまたトルクへ決定的な影響を与える。
【００１６】
搬送ローラは定期洗浄のために取り外さなくてはならず、本発明の搬送ローラの場合は容易に実現可能である。これは取り外す部分と駆動手段との間が容易に着脱可能だからであり、搬送ローラの取り外しは大きな問題なく完遂することができる。回転式フィードスルーを備えたコーティング装置とは対照的に、再装填も容易に実現可能である。
【実施形態】
【００１７】
図１は真空コーティング設備１における真空コーティングチャンバ２の一部の斜視図である。真空コーティングチャンバ２を区切る２つの対向する壁部４、５の小区域が見て取れる。真空コーティングチャンバ２内には搬送装置３が位置しており、平行に延びる複数の搬送ローラ６、７、８、９を備える。これらの搬送ローラ６〜９は真空コーティングチャンバ２の外側に設置された駆動システム１０を介して駆動される。この駆動システム１０を用いて、搬送ローラ６〜９はその縦軸を中心に回転運動を実行する。搬送ローラ６〜９上にはコーティングを施す基板１１が位置する。ここで基板は平面基板、例えば建築用ガラスである。基板１１が搬送ローラ６〜９上に直接的に載らないように、搬送ローラ６〜９の外側には例えばゴム系弾性材料を適用可能である。これは基板１１への傷防止に役立ち、基板がガラスの場合は特に重要である。
【００１８】
図１に図示されるように、ゴム系弾性材料はリング１２〜２０の形で搬送ローラ６〜９上に配置し得る。しかしながら、ゴム系弾性材料は異なる形状であってもよく、例えば瘤状で実施してもよい。搬送ローラ６〜９の運動を通して、その上に配置させた基板１１も移動する。
【００１９】
各搬送ローラ６〜９を一対のベアリング２２−２３、２４−２５、２６−２７、２８−２９の間に配置し、搬送ローラ６〜９をその軸を中心に回転させる。しかしながら、一端を固定した搬送ローラも実現可能である。
【００２０】
搬送ローラ６〜９は駆動システム１０と連結されており、駆動システムは複数の独立駆動手段、例えばモータ３０〜３３を含み得る。これらのモータ３０〜３３は駆動軸４０〜４３の端部に連結されている。モータ３０〜３３を用いて、駆動軸４０と図１では明瞭でないマグネットカップリング介して搬送ローラ６〜９を独立して駆動することが可能である。
【００２１】
しかしながら、図１の実施態様例においては搬送ローラ６〜９の全てを駆動するには１つのモータ、例えばモータ３０で十分であり、これは駆動軸４３も歯付ベルト３５を介して駆動軸４２を駆動し、また駆動軸４２は歯付ベルト３６を介して駆動軸４１を駆動する等の理由からである。駆動軸４０〜４３は全て歯付ベルト３４〜３８を介してそれぞれの隣接する駆動軸に連結されているため、１つのモータのみで十分である。
【００２２】
歯付ベルト３４〜３８を省く場合、各駆動軸４０〜４３は各自のモータ３０〜３３を介して駆動可能である。
【００２３】
駆動軸４０〜４３は壁部４に連結された支持体３９〜３９’’’上に載置されている。
【００２４】
単一又は複数のモータを用いるかどうかに関係なく、搬送ローラ６〜９を全て均一に回転させることが目標である。
【００２５】
図１では不明瞭であるマグネットカップリングは、実質的には壁部４内に位置している。これらのマグネットカップリングの１つが図２に図示されている。
【００２６】
図２は図１の真空コーティング設備１を方向Ａから見た図である。この断面図は、モータ３０、駆動軸４３、その上に配置されたチェーン又はベルト３４、３５を備えた駆動システム１０の一部を表す。その端部にモータ３０がフランジ状に取り付けられている駆動軸４３は支持体３９と接触している。支持体３９は真空コーティングチャンバ２の壁部４と連結されており、駆動軸４３とモータ３０とを安定及び補強するのに役立つ。モータ３０と連結された駆動軸４３はロッド状延長部４４を有し、この端部には磁石４５が配置される。
【００２７】
この磁石４５は真空コーティングチャンバ２内に位置されたさらに別の磁石４６と対向している。双方の磁石４５、４６は真空コーティングチャンバ２の壁部４の一部を構成するカップ状上部構造４７によって隔てられている。この上部構造４７は磁化不能又は非磁性材料を含み、磁石４５、４６が相互に磁気影響力を及ぼしあえるようになっている。
【００２８】
磁石４６はロッド状駆動軸４８の一端に取り付けられており、ロッド状軸は搬送ローラ９と連結されている。搬送ローラ９をその上に備えた駆動軸４８は２つの対向する、搬送ローラ９を保持するベアリング２２、２３の間に配置されている。搬送ローラ９は複数のリング１８〜２０を含み、リングは好ましくはゴム系弾性材料を含み、その上に基板１１を載せる。
【００２９】
管状カソード４９も図に明示されており、搬送ローラ９より若干下方に配置されている。カソードは２つの隣接する搬送ローラの間に位置されているため、基板１１は下方向からコーティングされる。しかしながら、基板１１の上方にカソードを適用することで、基板を上方からコーティングすることも可能である。
【００３０】
図２に示されるように、このカソードは円管カソード４９であり、真空コーティングチャンバ２の外部に位置する駆動チャンバ５０と関連している。この駆動チャンバ５０内には駆動手段５１が位置し、これを介して円管カソード４９は駆動される。円管カソード４９はその縦軸を中心としてチャンバ内で回転し、これにより基板１１の均一なコーティングが達成される。
【００３１】
この円管カソード４９は、例えばＤＥ１９６５１３７８Ａ１に記載されるように、その上にターゲットが配置された従来の円管カソードである。
【００３２】
円管カソード４９はその一端で駆動チャンバ５０内の駆動手段５１に連結される一方で、もう一方の端部はローラ５２上に載置される。次に、この回転ローラ５２はベアリング軌道５３上に載置される。
【００３３】
スライドイン要素Ｅを装填する場合、ローラ又はシリンダ５２は壁部４に近接して位置される。スライドイン要素を真空チャンバ内に装填する場合、図示してはいないがスライドイン要素Ｅの別のローラ又はシリンダが壁部５に近接している。図２の描写とは対照的に、ベアリング軌道５３は真空チャンバの全幅にわたって延びていることが好ましい。壁部５に直近した位置に、このベアリング軌道５３には止めが設けられている。スライドイン要素Ｅの担持体要素６９は実質的に真空チャンバ２の全幅にわたって延びている。担持体要素は足場６５も含む。
【００３４】
搬送ローラ６〜９用の駆動システム１０側に、真空コーティングチャンバ２は壁部４と、壁部に埋設されたカップ状上部構造４７を含む。壁部４に対向する側は２つの壁領域、つまり下部壁領域５と上部壁領域５４から成る壁部から構成される。これら２つの壁領域５、５４は互いに分離可能であり、真空コーティング設備１が稼働中はフランジ５５を介して連結される。真空コーティングチャンバ２は上部開口部５６を有し、壁部４、５４上に配置された２つのフランジ５７、５８によって取り囲まれ、かつ蓋部５９を用いて閉鎖される。
【００３５】
真空コーティング設備１は、加えて、２つのポンプ６２、６３を含むポンプシステム６１を備える。
【００３６】
このポンプシステム６１を用いて、真空コーティングチャンバ２を排気可能である。ポンプシステム６１のみならず真空コーティングチャンバ２も水平面６４上の複数の台座上に載置されている。これらの台座のうち、台座６５、６６のみが図２で明示されている。
【００３７】
駆動チャンバ５０は、担持体要素６９上のフレーム６７、６８上に配置されている。
【００３８】
駆動チャンバ５０のみならず担持体要素６９のフレーム６７、６８もその中でユニットを形成する。駆動チャンバ５０には円管カソード４９と搬送ローラ９のみならず壁部５も直接連結されている。これら全てがスライドイン要素Ｅを構成する。このスライドイン要素Ｅは真空コーティングチャンバ２全体を分解する必要なく、真空コーティングチャンバ１から取り外し可能である（欧州特許出願ＥＰ１６９８７１５参照）。
【００３９】
従って、搬送ローラ６〜９を迅速かつ利便性よく洗浄可能であり、時間と費用を節約できる。洗浄中、別のスライドイン要素を真空コーティングチャンバ２に差込み搭載可能である。この結果、真空コーティング設備１を迅速に再稼動可能であり、支出が抑えられる。
【００４０】
図２の真空コーティングチャンバには円管カソード４９しか図示されていないが、当然ながら平面ターゲットも使用可能である。従って、例えば平面ターゲットを基板１１上方に配置してもよく、基板１１は記載のやり方でもってターゲットを通過させる。
【００４１】
図３は図２の真空コーティング設備１の右側の部分拡大図である。その端部にモータ３０が配置されている、支持体３９に取り付けられた駆動軸４３を備えた駆動システム１０の一部が明白である。
【００４２】
真空コーティングチャンバ２の壁部４の方向に向かって、駆動軸４３はロッド状延長部４４を有し、その端部には磁石４５が位置されており、Ｎ極とＳ極を有する。この磁石４５にはさらに別の同様の構造の磁石４６が対向している。２つの磁石４５、４６の間にはカップ状上部構造４７が設置されている。磁石４５、４６、及びカップ状上部構造４７は共にいわゆるマグネットギャップカップリング７０を構成する。カップ状上部構造４７は磁化不能及び非磁性材料を含み、この上部構造４７は壁部４に真空気密に埋設されている。
【００４３】
モータ３０を介して駆動システム１０の駆動軸４３が動くと、駆動軸４３はＡ−Ａを中心とした運動を実行する。これにより、駆動軸４３のロッド状延長部４４に位置する磁石４５は回転運動を開始する。
【００４４】
上部構造４７は磁化不能材料、例えばアルミニウム又は石英を含むため、磁石４５の回転運動は磁石４６へと伝達される。この磁石４６は駆動軸４８を介して搬送ローラ９に連結されているため、回転運動は搬送ローラ９にも伝達され、搬送ローラはその縦軸を中心に回転し、またその上の基板１１を搬送する。
【００４５】
内在するマグネットギャップカップリング７０の１つの利点として、回転式シール要素、例えば軸シール又は流体シールが不要であることが挙げられる。これにより、障害の起きやすいこれらのシール要素を搭載する必要がなくなり、真空コーティングチャンバ２における漏れの原因となる可能性のある部位を回避可能である。
【００４６】
また、マグネットギャップカップリングは製造費用効率が高く、損耗がなく保守が極めて簡易であることから、技術的に非常に複雑で高価な回転フィードスルーを省略可能である。マグネットギャップカップリングは堅牢な回転構造であり、さらに真空気密である。
【００４７】
搬送ローラ６〜９がマグネットギャップカップリング７０を介して駆動システム１０に連結されている場合、搬送ローラ６〜９は、単に取り外すだけで接触することなく分解可能である。
【００４８】
磁石４５、４６の距離、又は磁石４５、４６の磁場強度により、トルク限界は簡単に設定可能である。さらに、構成要素を追加することなく軸オフセットを補正可能である。
【００４９】
図３で明白なように、駆動システム１０は真空コーティングチャンバ２の外側に位置する。しかしながら、駆動システム１０を真空コーティングチャンバ２の内部に位置させる別形態も考えられる。同様に堅牢性の高い回転構造である単純マグネットカップリングのこの変形バージョンにおいては、カップ状上部構造４７は不要となる。
【００５０】
真空コーティングチャンバ２内にマグネットカップリング７０を配置させる場合、駆動軸４０〜４３とベルト３４〜３８も真空コーティングチャンバ２内に配置可能である。この場合、これらの構造部品は常に真空コーティングチャンバ２内にあることから心ずれが生じない。この場合、ベルト３４〜３８を備えた駆動軸４０〜４３は単一の回転フィードスルー又はマグネットカップリングを介して真空コーティングチャンバ２外部に位置するモータによって駆動される。モータも真空コーティングチャンバ２内に設置可能である。
【００５１】
図４ａ〜４ｃは、図２に図示の真空コーティング設備１からのスライドイン要素Ｅの取り外し手順を示す。ポンプシステム６１を備えた真空コーティングチャンバ２は底部６４上に立つ台座６５、６６を備える。真空コーティングチャンバ２には、加えて、その長辺にスロット状開口部７１が設けられており、真空コーティングチャンバ２の壁部２１に嵌めこまれる。この開口部７１を通して基板１１は真空コーティングチャンバ２に供給され、この方法は真空コーティングチャンバ２で得られる真空にいかなる悪影響も与えない。
【００５２】
図４ａにおいて、人物７２は矢印７４の方向に向かって、つまり駆動チャンバ５０の下にフォークリフト台車７３を移動させる。
【００５３】
図４ｂにおいて、フォークリフト台車７３は真空コーティング設備２の下に位置しており、これによりスライドイン要素Ｅ全体を迅速に持ち上げ、図４ｃに示されるように真空コーティング設備１から矢印７５の方向に取り外すことが可能である。持ち上げるというこの簡単な操作により、図２には示してないが壁部５近傍のローラは止めを越えて持ち上げられ、取り外しが可能となる。これでスライドイン要素Ｅの一方はフォークリフト台車７３に載り、もう一方はローラ５２上に載る。このようにして、ローラ５２が壁部５近傍の止めに当たるまでスライドイン要素Ｅを引き抜くことが可能である。このローラ５２も止めを越えて移動させるには、フラップブリッジをその水平位置からスライドイン要素Ｅのその端部を支える垂直位置へと移動させ、そこにローラ５２を配置させる。スライドイン要素Ｅがほぼ引き出されローラが壁部５近傍の止め上に横たわる状態において、図示していないフラップブリッジは担持体要素６９、６９’上に配置され、垂直状態でスライドイン要素Ｅの一領域を支持し、この時点ですでに真空チャンバの外側にある。この支持フラップブリッジがなくスライドイン要素Ｅを取り外すと、カンチレバーが非常に長いことからフレーム６８にかかる負荷が高くなりすぎる。
【００５４】
スライドイン要素Ｅを取り外した後、コーティング処理を短時間たりとも中断する必要なく、別のものと交換可能である。
【００５５】
これでスライドイン要素Ｅを迅速に洗浄、又はターゲットを円管カソード４９から取り外して新しいものと交換可能となる。
【００５６】
あるいは、スライドイン要素Ｅはローラ又はエアクッション、あるいはレールや同様の装置上を移動させることも可能である。
【００５７】
図５は図４ａ〜４ｃに図示の真空コーティング設備１の一部であり、時計方向に９０°回転させたものである。明瞭にするため、フォークリフト台車を持った人物は描かれていない。
【００５８】
駆動チャンバ５０、７７〜７９がお互いに規定の距離を置いて隣接して配置され、フレーム６７−６８、８０−９２、８１−９３、８２−９４を介して２つのベース要素６９−６９’、８６−８６’、８８−８８’、９０−９０’に連結されている様子が明示されている。各ベース要素は開口部７６−７６’、８７−８７’、８９−８９’、９１−９１’を有し、フォークリフト台車のフォーク部はこの開口部内に挿入される。各駆動チャンバ５０、７７〜７９はフランジ５５、８３〜８５でもって真空コーティングチャンバ２から外れる。スライドイン要素Ｅ〜Ｅ’’’は真空コーティング設備１から個別に取り外し及び保守可能である。
【００５９】
図６はフォークリフト台車９５を用いて真空コーティング設備から引き出したスライドイン要素Ｅ’’’の斜視図である。
【００６０】
スライドイン要素Ｅ’’’は２つのベース要素９６、９６’を備え、フォークリフト台車９５のフォーク部はそのベース部に差し込まれた。ベース要素９６、９６’上にはＵ型フレーム９７が配置され、その上には駆動チャンバ９８が位置される。ベース要素９６、９６’の機能は図２の担持体要素６９に対応する。フォークリフト台車９５のフォーク部はスライドイン要素Ｅの２つの下部ベース要素９６、９６’の間を通る。しかしながら、これらベース要素が例えば下方向に開口したＵ字型断面形状から成る場合は、フォーク部をこれらベース要素内を通すことも可能である。スライドイン要素Ｅ’’’を設備に装填しない場合、ベース要素９６、９６’は底部から若干浮いている。
【００６１】
スライドイン要素Ｅ’’’は複数の搬送ローラ９９〜１０１を含み、ローラには好ましくはゴム系弾性材料を含むリング１０２〜１０５が設けられている。搬送ローラ９９〜１０１の下には２つの円管カソード１０６、１０７が位置しており、各円管カソード１０６、１０７は２つの隣接する搬送ローラ９９−１００、１００−１０１の間に位置される。
【００６２】
搬送ローラ９９〜１０１は台座の間に配置され、台座１０８〜１１０のみを図示している。スライドイン要素Ｅ’’’の対向する台座は互いに横木で連結されており、図６では横木１１１のみが図示されている。
【００６３】
スライドイン要素Ｅを取り外す場合は、ベルト３５〜３８を備えた短軸４０〜４３（図１を参照）と搬送ローラ６〜９そのものとの間が容易に着脱可能な連結である必要がある。この容易に着脱可能な連結は、全ての駆動部品を真空チャンバ内に位置させ、マグネットカップリングを介して駆動し、マグネットカップリングも真空チャンバ内に位置している態様で完遂できる。この態様において、カップ状要素と膜の数は減少するものの、真空チャンバ内の構造要素の数は増加しない。
【００６４】
図７は図６のスライドイン要素Ｅ’’’を約１８０°回転させたあとの斜視図である。搬送ローラ９９〜１０１をそれぞれ１対の台座１０８−１１２、１０９−１１３、１１０−１１４の間に配置させた状態が明白である。読み手の方向を向いて延びる搬送ローラ９９〜１０１の端部には、磁石１２０〜１２２が見て取れる。これらの磁石１２０〜１２２はそれぞれ真空コーティング設備のマグネットカップリング又はマグネットギャップカップリングの一部品である。
【００６５】
各円管カソード１０６、１０７は搬送ローラ９９と１００、１００と１０１との間の取付台１１５、１１６上に配置されており、駆動チャンバ９８と連結されている。
【００６６】
横木１１１、１１７も明白に描かれており、台座１０８と１１２、１１０と１１４との間にそれぞれ位置されている。これらの横木１１１、１１７はそれぞれ伸長端部１１１’、１１７’を含み、その上にローラ１１８、１１９が１つずつ配置されている。これらのローラ１１８、１１９により、特に真空コーティング設備が図２に示されるようなガイドを含む場合、スライドイン要素Ｅ’’’の取り外しと再装填が著しく促進される。
【００６７】
ガイドは補足的にスナップ嵌合機構を含んでいてもよい。ローラ１１８、１１９は目的とするガイドに達するとスナップ嵌合する。そこでスライドイン要素Ｅ’’’を方向づけ、その磁石１２０〜１２２をマグネットカップリング又はマグネットギャップカップリング内に正確に納める。
【００６８】
こうしてマグネットカップリングを利用し、機械的に解体することなく、スライドイン要素Ｅ’’’を真空コーティングチャンバ２から取り出し可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
本発明の一実施形態が図面に図示されており、さらに詳細に説明する。
【図１】搬送装置を備えた真空コーティング設備の一部の斜視図である。
【図２】図１の真空コーティング設備を方向Ａから見た図である。
【図３】図２の真空コーティング設備の拡大部分図である。
【図４ａ】〜
【図４ｃ】図２の真空コーティング設備のスライドイン要素の分離工程を示す図である。
【図５】反時計回り方向に９０°回転させた後の図４ａから４ｃに図示の真空コーティング設備の一部を示す図である。
【図６】スライドイン要素の斜視図である。
【図７】１８０°回転させた後の図５のスライドイン要素の斜視図である。
【発明の分野】
【０００１】
本発明は請求項１又は２の前提項に係る真空コーティング設備に関する。
【関連技術】
【０００２】
真空コーティング設備内で基板コーティングを行う場合、粒子はターゲットから叩き出され基板方向に向かって移動し、基板上に堆積される。均一な基板コーティングを得るため、基板とターゲットを互いに相対的に運動させ、好ましくは基板をターゲットを超えて移動させる。
【０００３】
基板は、真空コーティング設備内を特殊な搬送装置を用いて移動される。
【０００４】
大面積で実質的に剛性の基板、例えば建築用ガラスをコーティングする場合には搬送システムを利用することが多く、搬送システムは異なる連続搬送ローラから構成される。これらの搬送ローラは歯付ベルト、チェーン又は歯車を介して互いに連結されており、共通の駆動手段、例えばモータによって駆動される。
【０００５】
軸用の駆動装置はすでに公知であり、チャンバ内に位置される（ＵＳ２００５／０２０６２６０Ａ１）。ここでこの軸はマグネットカップリングを介してモータによって作動し、モータはチャンバ外に位置している。
【０００６】
真空コーティング設備における、複数のローラを備えた基板搬送装置もまた公知であり、少なくとも１つのローラが駆動軸として機能する（ＤＥ１０３２８２７３Ａ１）。この装置においては、搬送ローラのみならず駆動手段も全てコーティング設備の真空領域内に設置されている。
【０００７】
最後に、部品搬送システムを備える処理チャンバもまた公知である（ＧＢ２１７１１１９Ａ）。この搬送システムはマグネットカップリングによって駆動されるシリンダを含む。ここでマグネットカップリングは外部から処理チャンバ内へのトルク伝達のためだけではなく、チャンバ内のリフト上に配置された二対の搬送ローラ間の切り替えにも役立つ。
【０００８】
本発明は真空コーティング設備内に平面基板用の搬送装置を提供する問題に対処するものであり、この搬送装置の真空コーティング設備への装填及び取り外しを多大な困難を伴うことなく実行可能である。
【発明の概要】
【０００９】
この問題は特許請求項１又は２の特徴部により解決される。
【００１０】
従って、本発明は真空チャンバを通して搬送される平面基板のための搬送システムを備えた真空コーティング設備に関する。この搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダ用の駆動手段として１つ以上のモータを設置してもよく、真空チャンバ内部又は外部に配置される。いずれのケースにおいても、モータとシリンダとの間の連結はマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間に機械的な連結が不要となることからこれらを容易に分離でき、真空チャンバ内外へと駆動可能なスライドイン要素内にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して残りのシリンダに連結可能である。
【００１１】
本発明で得られる利点には、特には、回転式シール要素、例えば回転軸シール又は流体シールが不要であることが含まれる。加えて、漏れの危険性のある部位が回避される。さらに、マグネットカップリングは非接触型であるため損耗及び保守不要である。つまり、回転式フィードスルーよりも費用効率を高く製造することも可能である。これに加え、マグネットカップリングの場合、トルク限界を磁石距離により簡単に設定可能である。
【００１２】
搬送装置が大面積基板、例えばシート又はガラス、特には建築ガラス搬送用の搬送ローラを備えたものである場合、各搬送ローラがマグネットギャップカップリングを各自で含むと特に有利である。回転式の堅牢なカップリングと比較して、マグネットギャップカップリングは真空気密であるという点で特に有利である。この性質が、マグネットギャップカップリングの真空コーティング設備での使用を事実上理想的なものとしている。また、マグネットギャップカップリングはラジアル及びアキシャル型構成で実施可能であるという利点もある。
【００１３】
従って、駆動機構は従来のような真空内だけでなく、大気圧下にも配置することが可能である。
【００１４】
駆動機構を大気圧下に設置可能であることから、数時間にわたる長時間の排気時間が不要となり、保守と修理がより単純になり、製造コストが著しく低下する。駆動機構を大気圧下に設置する場合、これは比較的高価な真空回転式フィードスルーがもう不要となることも意味する。真空回転式フィードスルーは、遥かに費用効率の高いマグネットギャップカップリングに置き換えられる。マグネットギャップカップリングを利用することにより、回転式シール要素、例えば軸又は流体シールを取り付ける必要がなくなり、漏れの生じる可能性のある部位が回避される。
【００１５】
駆動手段、例えば電気モータはマグネットギャップカップリングを介して回転運動を搬送ローラに伝達するため、基板の搬送速度も簡単に設定可能である。一つには、搬送速度は駆動手段それ自体を通して設定可能である。第二に、磁石間の距離を調整することによりトルク限界を得ることができ、磁石の強度もまたトルクへ決定的な影響を与える。
【００１６】
搬送ローラは定期洗浄のために取り外さなくてはならず、本発明の搬送ローラの場合は容易に実現可能である。これは取り外す部分と駆動手段との間が容易に着脱可能だからであり、搬送ローラの取り外しは大きな問題なく完遂することができる。回転式フィードスルーを備えたコーティング装置とは対照的に、再装填も容易に実現可能である。
【実施形態】
【００１７】
図１は真空コーティング設備１における真空コーティングチャンバ２の一部の斜視図である。真空コーティングチャンバ２を区切る２つの対向する壁部４、５の小区域が見て取れる。真空コーティングチャンバ２内には搬送装置３が位置しており、平行に延びる複数の搬送ローラ６、７、８、９を備える。これらの搬送ローラ６〜９は真空コーティングチャンバ２の外側に設置された駆動システム１０を介して駆動される。この駆動システム１０を用いて、搬送ローラ６〜９はその縦軸を中心に回転運動を実行する。搬送ローラ６〜９上にはコーティングを施す基板１１が位置する。ここで基板は平面基板、例えば建築用ガラスである。基板１１が搬送ローラ６〜９上に直接的に載らないように、搬送ローラ６〜９の外側には例えばゴム系弾性材料を適用可能である。これは基板１１への傷防止に役立ち、基板がガラスの場合は特に重要である。
【００１８】
図１に図示されるように、ゴム系弾性材料はリング１２〜２０の形で搬送ローラ６〜９上に配置し得る。しかしながら、ゴム系弾性材料は異なる形状であってもよく、例えば瘤状で実施してもよい。搬送ローラ６〜９の運動を通して、その上に配置させた基板１１も移動する。
【００１９】
各搬送ローラ６〜９を一対のベアリング２２−２３、２４−２５、２６−２７、２８−２９の間に配置し、搬送ローラ６〜９をその軸を中心に回転させる。しかしながら、一端を固定した搬送ローラも実現可能である。
【００２０】
搬送ローラ６〜９は駆動システム１０と連結されており、駆動システムは複数の独立駆動手段、例えばモータ３０〜３３を含み得る。これらのモータ３０〜３３は駆動軸４０〜４３の端部に連結されている。モータ３０〜３３を用いて、駆動軸４０と図１では明瞭でないマグネットカップリング介して搬送ローラ６〜９を独立して駆動することが可能である。
【００２１】
しかしながら、図１の実施態様例においては搬送ローラ６〜９の全てを駆動するには１つのモータ、例えばモータ３０で十分であり、これは駆動軸４３も歯付ベルト３５を介して駆動軸４２を駆動し、また駆動軸４２は歯付ベルト３６を介して駆動軸４１を駆動する等の理由からである。駆動軸４０〜４３は全て歯付ベルト３４〜３８を介してそれぞれの隣接する駆動軸に連結されているため、１つのモータのみで十分である。
【００２２】
歯付ベルト３４〜３８を省く場合、各駆動軸４０〜４３は各自のモータ３０〜３３を介して駆動可能である。
【００２３】
駆動軸４０〜４３は壁部４に連結された支持体３９〜３９’’’上に載置されている。
【００２４】
単一又は複数のモータを用いるかどうかに関係なく、搬送ローラ６〜９を全て均一に回転させることが目標である。
【００２５】
図１では不明瞭であるマグネットカップリングは、実質的には壁部４内に位置している。これらのマグネットカップリングの１つが図２に図示されている。
【００２６】
図２は図１の真空コーティング設備１を方向Ａから見た図である。この断面図は、モータ３０、駆動軸４３、その上に配置されたチェーン又はベルト３４、３５を備えた駆動システム１０の一部を表す。その端部にモータ３０がフランジ状に取り付けられている駆動軸４３は支持体３９と接触している。支持体３９は真空コーティングチャンバ２の壁部４と連結されており、駆動軸４３とモータ３０とを安定及び補強するのに役立つ。モータ３０と連結された駆動軸４３はロッド状延長部４４を有し、この端部には磁石４５が配置される。
【００２７】
この磁石４５は真空コーティングチャンバ２内に位置されたさらに別の磁石４６と対向している。双方の磁石４５、４６は真空コーティングチャンバ２の壁部４の一部を構成するカップ状上部構造４７によって隔てられている。この上部構造４７は磁化不能又は非磁性材料を含み、磁石４５、４６が相互に磁気影響力を及ぼしあえるようになっている。
【００２８】
磁石４６はロッド状駆動軸４８の一端に取り付けられており、ロッド状軸は搬送ローラ９と連結されている。搬送ローラ９をその上に備えた駆動軸４８は２つの対向する、搬送ローラ９を保持するベアリング２２、２３の間に配置されている。搬送ローラ９は複数のリング１８〜２０を含み、リングは好ましくはゴム系弾性材料を含み、その上に基板１１を載せる。
【００２９】
管状カソード４９も図に明示されており、搬送ローラ９より若干下方に配置されている。カソードは２つの隣接する搬送ローラの間に位置されているため、基板１１は下方向からコーティングされる。しかしながら、基板１１の上方にカソードを適用することで、基板を上方からコーティングすることも可能である。
【００３０】
図２に示されるように、このカソードは円管カソード４９であり、真空コーティングチャンバ２の外部に位置する駆動チャンバ５０と関連している。この駆動チャンバ５０内には駆動手段５１が位置し、これを介して円管カソード４９は駆動される。円管カソード４９はその縦軸を中心としてチャンバ内で回転し、これにより基板１１の均一なコーティングが達成される。
【００３１】
この円管カソード４９は、例えばＤＥ１９６５１３７８Ａ１に記載されるように、その上にターゲットが配置された従来の円管カソードである。
【００３２】
円管カソード４９はその一端で駆動チャンバ５０内の駆動手段５１に連結される一方で、もう一方の端部はローラ５２上に載置される。次に、この回転ローラ５２はベアリング軌道５３上に載置される。
【００３３】
スライドイン要素Ｅを装填する場合、ローラ又はシリンダ５２は壁部４に近接して位置される。スライドイン要素を真空チャンバ内に装填する場合、図示してはいないがスライドイン要素Ｅの別のローラ又はシリンダが壁部５に近接している。図２の描写とは対照的に、ベアリング軌道５３は真空チャンバの全幅にわたって延びていることが好ましい。壁部５に直近した位置に、このベアリング軌道５３には止めが設けられている。スライドイン要素Ｅの担持体要素６９は実質的に真空チャンバ２の全幅にわたって延びている。担持体要素は足場６５も含む。
【００３４】
搬送ローラ６〜９用の駆動システム１０側に、真空コーティングチャンバ２は壁部４と、壁部に埋設されたカップ状上部構造４７を含む。壁部４に対向する側は２つの壁領域、つまり下部壁領域５と上部壁領域５４から成る壁部から構成される。これら２つの壁領域５、５４は互いに分離可能であり、真空コーティング設備１が稼働中はフランジ５５を介して連結される。真空コーティングチャンバ２は上部開口部５６を有し、壁部４、５４上に配置された２つのフランジ５７、５８によって取り囲まれ、かつ蓋部５９を用いて閉鎖される。
【００３５】
真空コーティング設備１は、加えて、２つのポンプ６２、６３を含むポンプシステム６１を備える。
【００３６】
このポンプシステム６１を用いて、真空コーティングチャンバ２を排気可能である。ポンプシステム６１のみならず真空コーティングチャンバ２も水平面６４上の複数の台座上に載置されている。これらの台座のうち、台座６５、６６のみが図２で明示されている。
【００３７】
駆動チャンバ５０は、担持体要素６９上のフレーム６７、６８上に配置されている。
【００３８】
駆動チャンバ５０のみならず担持体要素６９のフレーム６７、６８もその中でユニットを形成する。駆動チャンバ５０には円管カソード４９と搬送ローラ９のみならず壁部５も直接連結されている。これら全てがスライドイン要素Ｅを構成する。このスライドイン要素Ｅは真空コーティングチャンバ２全体を分解する必要なく、真空コーティングチャンバ１から取り外し可能である（欧州特許出願ＥＰ１６９８７１５参照）。
【００３９】
従って、搬送ローラ６〜９を迅速かつ利便性よく洗浄可能であり、時間と費用を節約できる。洗浄中、別のスライドイン要素を真空コーティングチャンバ２に差込み搭載可能である。この結果、真空コーティング設備１を迅速に再稼動可能であり、支出が抑えられる。
【００４０】
図２の真空コーティングチャンバには円管カソード４９しか図示されていないが、当然ながら平面ターゲットも使用可能である。従って、例えば平面ターゲットを基板１１上方に配置してもよく、基板１１は記載のやり方でもってターゲットを通過させる。
【００４１】
図３は図２の真空コーティング設備１の右側の部分拡大図である。その端部にモータ３０が配置されている、支持体３９に取り付けられた駆動軸４３を備えた駆動システム１０の一部が明白である。
【００４２】
真空コーティングチャンバ２の壁部４の方向に向かって、駆動軸４３はロッド状延長部４４を有し、その端部には磁石４５が位置されており、Ｎ極とＳ極を有する。この磁石４５にはさらに別の同様の構造の磁石４６が対向している。２つの磁石４５、４６の間にはカップ状上部構造４７が設置されている。磁石４５、４６、及びカップ状上部構造４７は共にいわゆるマグネットギャップカップリング７０を構成する。カップ状上部構造４７は磁化不能及び非磁性材料を含み、この上部構造４７は壁部４に真空気密に埋設されている。
【００４３】
モータ３０を介して駆動システム１０の駆動軸４３が動くと、駆動軸４３はＡ−Ａを中心とした運動を実行する。これにより、駆動軸４３のロッド状延長部４４に位置する磁石４５は回転運動を開始する。
【００４４】
上部構造４７は磁化不能材料、例えばアルミニウム又は石英を含むため、磁石４５の回転運動は磁石４６へと伝達される。この磁石４６は駆動軸４８を介して搬送ローラ９に連結されているため、回転運動は搬送ローラ９にも伝達され、搬送ローラはその縦軸を中心に回転し、またその上の基板１１を搬送する。
【００４５】
内在するマグネットギャップカップリング７０の１つの利点として、回転式シール要素、例えば軸シール又は流体シールが不要であることが挙げられる。これにより、障害の起きやすいこれらのシール要素を搭載する必要がなくなり、真空コーティングチャンバ２における漏れの原因となる可能性のある部位を回避可能である。
【００４６】
また、マグネットギャップカップリングは製造費用効率が高く、損耗がなく保守が極めて簡易であることから、技術的に非常に複雑で高価な回転フィードスルーを省略可能である。マグネットギャップカップリングは堅牢な回転構造であり、さらに真空気密である。
【００４７】
搬送ローラ６〜９がマグネットギャップカップリング７０を介して駆動システム１０に連結されている場合、搬送ローラ６〜９は、単に取り外すだけで接触することなく分解可能である。
【００４８】
磁石４５、４６の距離、又は磁石４５、４６の磁場強度により、トルク限界は簡単に設定可能である。さらに、構成要素を追加することなく軸オフセットを補正可能である。
【００４９】
図３で明白なように、駆動システム１０は真空コーティングチャンバ２の外側に位置する。しかしながら、駆動システム１０を真空コーティングチャンバ２の内部に位置させる別形態も考えられる。同様に堅牢性の高い回転構造である単純マグネットカップリングのこの変形バージョンにおいては、カップ状上部構造４７は不要となる。
【００５０】
真空コーティングチャンバ２内にマグネットカップリング７０を配置させる場合、駆動軸４０〜４３とベルト３４〜３８も真空コーティングチャンバ２内に配置可能である。この場合、これらの構造部品は常に真空コーティングチャンバ２内にあることから心ずれが生じない。この場合、ベルト３４〜３８を備えた駆動軸４０〜４３は単一の回転フィードスルー又はマグネットカップリングを介して真空コーティングチャンバ２外部に位置するモータによって駆動される。モータも真空コーティングチャンバ２内に設置可能である。
【００５１】
図４ａ〜４ｃは、図２に図示の真空コーティング設備１からのスライドイン要素Ｅの取り外し手順を示す。ポンプシステム６１を備えた真空コーティングチャンバ２は底部６４上に立つ台座６５、６６を備える。真空コーティングチャンバ２には、加えて、その長辺にスロット状開口部７１が設けられており、真空コーティングチャンバ２の壁部２１に嵌めこまれる。この開口部７１を通して基板１１は真空コーティングチャンバ２に供給され、この方法は真空コーティングチャンバ２で得られる真空にいかなる悪影響も与えない。
【００５２】
図４ａにおいて、人物７２は矢印７４の方向に向かって、つまり駆動チャンバ５０の下にフォークリフト台車７３を移動させる。
【００５３】
図４ｂにおいて、フォークリフト台車７３は真空コーティング設備２の下に位置しており、これによりスライドイン要素Ｅ全体を迅速に持ち上げ、図４ｃに示されるように真空コーティング設備１から矢印７５の方向に取り外すことが可能である。持ち上げるというこの簡単な操作により、図２には示してないが壁部５近傍のローラは止めを越えて持ち上げられ、取り外しが可能となる。これでスライドイン要素Ｅの一方はフォークリフト台車７３に載り、もう一方はローラ５２上に載る。このようにして、ローラ５２が壁部５近傍の止めに当たるまでスライドイン要素Ｅを引き抜くことが可能である。このローラ５２も止めを越えて移動させるには、フラップブリッジをその水平位置からスライドイン要素Ｅのその端部を支える垂直位置へと移動させ、そこにローラ５２を配置させる。スライドイン要素Ｅがほぼ引き出されローラが壁部５近傍の止め上に横たわる状態において、図示していないフラップブリッジは担持体要素６９、６９’上に配置され、垂直状態でスライドイン要素Ｅの一領域を支持し、この時点ですでに真空チャンバの外側にある。この支持フラップブリッジがなくスライドイン要素Ｅを取り外すと、カンチレバーが非常に長いことからフレーム６８にかかる負荷が高くなりすぎる。
【００５４】
スライドイン要素Ｅを取り外した後、コーティング処理を短時間たりとも中断する必要なく、別のものと交換可能である。
【００５５】
これでスライドイン要素Ｅを迅速に洗浄、又はターゲットを円管カソード４９から取り外して新しいものと交換可能となる。
【００５６】
あるいは、スライドイン要素Ｅはローラ又はエアクッション、あるいはレールや同様の装置上を移動させることも可能である。
【００５７】
図５は図４ａ〜４ｃに図示の真空コーティング設備１の一部であり、時計方向に９０°回転させたものである。明瞭にするため、フォークリフト台車を持った人物は描かれていない。
【００５８】
駆動チャンバ５０、７７〜７９がお互いに規定の距離を置いて隣接して配置され、フレーム６７−６８、８０−９２、８１−９３、８２−９４を介して２つのベース要素６９−６９’、８６−８６’、８８−８８’、９０−９０’に連結されている様子が明示されている。各ベース要素は開口部７６−７６’、８７−８７’、８９−８９’、９１−９１’を有し、フォークリフト台車のフォーク部はこの開口部内に挿入される。各駆動チャンバ５０、７７〜７９はフランジ５５、８３〜８５でもって真空コーティングチャンバ２から外れる。スライドイン要素Ｅ〜Ｅ’’’は真空コーティング設備１から個別に取り外し及び保守可能である。
【００５９】
図６はフォークリフト台車９５を用いて真空コーティング設備から引き出したスライドイン要素Ｅ’’’の斜視図である。
【００６０】
スライドイン要素Ｅ’’’は２つのベース要素９６、９６’を備え、フォークリフト台車９５のフォーク部はそのベース部に差し込まれた。ベース要素９６、９６’上にはＵ型フレーム９７が配置され、その上には駆動チャンバ９８が位置される。ベース要素９６、９６’の機能は図２の担持体要素６９に対応する。フォークリフト台車９５のフォーク部はスライドイン要素Ｅの２つの下部ベース要素９６、９６’の間を通る。しかしながら、これらベース要素が例えば下方向に開口したＵ字型断面形状から成る場合は、フォーク部をこれらベース要素内を通すことも可能である。スライドイン要素Ｅ’’’を設備に装填しない場合、ベース要素９６、９６’は底部から若干浮いている。
【００６１】
スライドイン要素Ｅ’’’は複数の搬送ローラ９９〜１０１を含み、ローラには好ましくはゴム系弾性材料を含むリング１０２〜１０５が設けられている。搬送ローラ９９〜１０１の下には２つの円管カソード１０６、１０７が位置しており、各円管カソード１０６、１０７は２つの隣接する搬送ローラ９９−１００、１００−１０１の間に位置される。
【００６２】
搬送ローラ９９〜１０１は台座の間に配置され、台座１０８〜１１０のみを図示している。スライドイン要素Ｅ’’’の対向する台座は互いに横木で連結されており、図６では横木１１１のみが図示されている。
【００６３】
スライドイン要素Ｅを取り外す場合は、ベルト３５〜３８を備えた短軸４０〜４３（図１を参照）と搬送ローラ６〜９そのものとの間が容易に着脱可能な連結である必要がある。この容易に着脱可能な連結は、全ての駆動部品を真空チャンバ内に位置させ、マグネットカップリングを介して駆動し、マグネットカップリングも真空チャンバ内に位置している態様で完遂できる。この態様において、カップ状要素と膜の数は減少するものの、真空チャンバ内の構造要素の数は増加しない。
【００６４】
図７は図６のスライドイン要素Ｅ’’’を約１８０°回転させたあとの斜視図である。搬送ローラ９９〜１０１をそれぞれ１対の台座１０８−１１２、１０９−１１３、１１０−１１４の間に配置させた状態が明白である。読み手の方向を向いて延びる搬送ローラ９９〜１０１の端部には、磁石１２０〜１２２が見て取れる。これらの磁石１２０〜１２２はそれぞれ真空コーティング設備のマグネットカップリング又はマグネットギャップカップリングの一部品である。
【００６５】
各円管カソード１０６、１０７は搬送ローラ９９と１００、１００と１０１との間の取付台１１５、１１６上に配置されており、駆動チャンバ９８と連結されている。
【００６６】
横木１１１、１１７も明白に描かれており、台座１０８と１１２、１１０と１１４との間にそれぞれ位置されている。これらの横木１１１、１１７はそれぞれ伸長端部１１１’、１１７’を含み、その上にローラ１１８、１１９が１つずつ配置されている。これらのローラ１１８、１１９により、特に真空コーティング設備が図２に示されるようなガイドを含む場合、スライドイン要素Ｅ’’’の取り外しと再装填が著しく促進される。
【００６７】
ガイドは補足的にスナップ嵌合機構を含んでいてもよい。ローラ１１８、１１９は目的とするガイドに達するとスナップ嵌合する。そこでスライドイン要素Ｅ’’’を方向づけ、その磁石１２０〜１２２をマグネットカップリング又はマグネットギャップカップリング内に正確に納める。
【００６８】
こうしてマグネットカップリングを利用し、機械的に解体することなく、スライドイン要素Ｅ’’’を真空コーティングチャンバ２から取り出し可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
本発明の一実施形態が図面に図示されており、さらに詳細に説明する。
【図１】搬送装置を備えた真空コーティング設備の一部の斜視図である。
【図２】図１の真空コーティング設備を方向Ａから見た図である。
【図３】図２の真空コーティング設備の拡大部分図である。
【図４ａ】〜
【図４ｃ】図２の真空コーティング設備のスライドイン要素の分離工程を示す図である。
【図５】反時計回り方向に９０°回転させた後の図４ａから４ｃに図示の真空コーティング設備の一部を示す図である。
【図６】スライドイン要素の斜視図である。
【図７】１８０°回転させた後の図５のスライドイン要素の斜視図である。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空コーティングチャンバ（２）と、
平面基板（１１）を搬送するための、真空コーティングチャンバ（２）内部に平行に配置された複数の回転搬送ローラ（６〜９、９９〜１０１）とを備え、
真空コーティング設備（２）の外部に配置された駆動手段（１０、３０〜３３）と、
駆動手段と少なくとも１つの搬送ローラ（６）との間の少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）を備えたことを特徴とする真空コーティング設備（１）。
【請求項２】
真空コーティングチャンバ（２）と、
平面基板（１１）を搬送するための、真空コーティングチャンバ（２）内部に平行に配置された複数の回転シリンダ（６〜９、９９〜１０１）とを備え、
真空コーティングチャンバ（２）の内部に配置された駆動手段と、
駆動手段と少なくとも１つの搬送ローラ（６）との間の少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）を備えたことを特徴とする真空コーティング設備（１）。
【請求項３】
少なくとも１つの搬送ローラ（６）がベルト（３４〜３８）を介して残りの搬送ローラ（７〜９）に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項４】
シリンダ（６〜９）が各自のマグネットカップリング（４５、４６、７０）を介して各自の駆動手段に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項５】
真空コーティングチャンバ（２）の壁の１つ（４）に磁化不能又は非磁性材料を含むカップ状上部構造（４７）が埋設されており、真空コーティングチャンバ（２）内に位置する少なくとも１つの磁石（４６）を真空コーティングチャンバ（２）の外側に位置する少なくとも１つの磁石（４７）から隔てていることを特徴とする請求項１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項６】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が少なくとも部分的にゴム系弾性材料（１２〜２０、１０２〜１０５）によって包囲されることを特徴とする請求項１又は２の１つ記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項７】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）間にスパッタ電極が配置されることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項８】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）と少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）が、真空コーティングチャンバ（２）内外への移動が可能なスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項９】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が、真空コーティングチャンバ（２）内外への移動が可能なスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であり、シリンダ（６〜９、９９〜１０１）用の駆動手段（１０）が真空コーティングチャンバ（２）の外側に留まることを特徴とする請求項１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１０】
スパッタ電極（４９）がスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項７、８及び９記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１１】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が駆動軸（４０〜４３）を介して、駆動手段への接続を確立するマグネットカップリング（３０〜３３）へ連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１２】
駆動軸（４０〜４３）とシリンダ（６〜９、９９〜１０１）との間にマグネットカップリングが設けられていることを特徴とする請求項１１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１３】
スライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）が、フォークリフト台車（７３）を用いて持ち上げ可能なフレーム（６８、６９）を含むことを特徴とする請求項８又は９記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１４】
スパッタカソード（４９）用の駆動手段を含むチャンバ（５０）がスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項８又は９記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１】
真空コーティングチャンバ（２）と、
平面基板（１１）を搬送するための、真空コーティングチャンバ（２）内部に平行に配置された複数の回転搬送ローラ（６〜９、９９〜１０１）とを備え、
真空コーティング設備（２）の外部に配置された駆動手段（１０、３０〜３３）と、
駆動手段と少なくとも１つの搬送ローラ（６）との間の少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）を備えたことを特徴とする真空コーティング設備（１）。
【請求項２】
真空コーティングチャンバ（２）と、
平面基板（１１）を搬送するための、真空コーティングチャンバ（２）内部に平行に配置された複数の回転シリンダ（６〜９、９９〜１０１）とを備え、
真空コーティングチャンバ（２）の内部に配置された駆動手段と、
駆動手段と少なくとも１つの搬送ローラ（６）との間の少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）を備えたことを特徴とする真空コーティング設備（１）。
【請求項３】
少なくとも１つの搬送ローラ（６）がベルト（３４〜３８）を介して残りの搬送ローラ（７〜９）に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項４】
シリンダ（６〜９）が各自のマグネットカップリング（４５、４６、７０）を介して各自の駆動手段に連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項５】
真空コーティングチャンバ（２）の壁の１つ（４）に磁化不能又は非磁性材料を含むカップ状上部構造（４７）が埋設されており、真空コーティングチャンバ（２）内に位置する少なくとも１つの磁石（４６）を真空コーティングチャンバ（２）の外側に位置する少なくとも１つの磁石（４７）から隔てていることを特徴とする請求項１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項６】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が少なくとも部分的にゴム系弾性材料（１２〜２０、１０２〜１０５）によって包囲されることを特徴とする請求項１又は２の１つ記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項７】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）間にスパッタ電極が配置されることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項８】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）と少なくとも１つのマグネットカップリング（４５、４６、７０）が、真空コーティングチャンバ（２）内外への移動が可能なスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項９】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が、真空コーティングチャンバ（２）内外への移動が可能なスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であり、シリンダ（６〜９、９９〜１０１）用の駆動手段（１０）が真空コーティングチャンバ（２）の外側に留まることを特徴とする請求項１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１０】
スパッタ電極（４９）がスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項７、８及び９記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１１】
シリンダ（６〜９、９９〜１０１）が駆動軸（４０〜４３）を介して、駆動手段への接続を確立するマグネットカップリング（３０〜３３）へ連結されていることを特徴とする請求項１又は２記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１２】
駆動軸（４０〜４３）とシリンダ（６〜９、９９〜１０１）との間にマグネットカップリングが設けられていることを特徴とする請求項１１記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１３】
スライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）が、フォークリフト台車（７３）を用いて持ち上げ可能なフレーム（６８、６９）を含むことを特徴とする請求項８又は９記載の真空コーティング設備（１）。
【請求項１４】
スパッタカソード（４９）用の駆動手段を含むチャンバ（５０）がスライドイン要素（Ｅ〜Ｅ’’’）の一部であることを特徴とする請求項８又は９記載の真空コーティング設備（１）。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４ａ】
【図４ｂ】
【図４ｃ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４ａ】
【図４ｂ】
【図４ｃ】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００８−１３８４９（Ｐ２００８−１３８４９Ａ）
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願２００７−１６２４６２（Ｐ２００７−１６２４６２）
【出願日】平成１９年６月２０日（２００７．６．２０）
【出願人】（５０２２０８７２２）アプライド マテリアルズ ゲーエムベーハー アンド コンパニー カーゲー (28)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＧＭＢＨ ＆ ＣＯ． ＫＧ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１６２４６２（Ｐ２００７−１６２４６２）
【出願日】平成１９年６月２０日（２００７．６．２０）
【出願人】（５０２２０８７２２）アプライド マテリアルズ ゲーエムベーハー アンド コンパニー カーゲー (28)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ ＧＭＢＨ ＆ ＣＯ． ＫＧ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]