【課題】ウォーキングビームに代表されるようなビームに所定の周期的動作を行わせることにより被熱処理物である基板を搬送する搬送機構であって、ビームの上面と下面との温度差に起因するビームの湾曲や、破損した基板の破片がビーム上に留まることによって生じる搬送の不具合を回避することが可能な搬送機構と、それを備えた熱処理炉を提供する。
【解決手段】基材上に機能膜材料が形成された基板１の前記機能膜材料を熱処理する熱処理炉で、複数の基板１を順次搬送するために使用される搬送機構である。この搬送機構は、中空のビーム２に所定の周期的動作を行わせることによりビーム２上の基板１を搬送するものであり、ビーム２内に、内部に冷却用エアが導入される冷却管８であって、その周壁に前記冷却用エアを吹き出すための複数の吹き出し孔９が形成されたものが配されている。 （もっと読む）

【課題】真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるローラ搬送装置を提供する。
【解決手段】真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路１６の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路１６に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置１０であって、前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁１７の外側に駆動源１１が配置され、前記隔壁１７の内側に駆動軸１３および従動軸１４が配置されており、前記駆動源１１により駆動される前記駆動軸１３の回転を前記従動軸１４に伝達する部分と、前記従動軸１４の軸部２１を軸受け支持する部分とに転がり軸受２３，２６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。
【解決手段】FIMS内部における開口部１０の上部にカーテンノズルを配置して、該開口部を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成する。カーテンノズルの少なくとも一部を覆うようにカバーが設けられており、カーテンノズルのノズル開口の周囲のガスがカーテンノズルから放出される不活性ガスのガスカーテンに巻き込まれることが防止される。 （もっと読む）

【課題】 搬送枚数が多く、大型ワークが搬送でき、装置の設置面積を縮小でき、発塵無くクリーンルームで稼動可能な搬送装置を実現する。
【解決手段】 ウォーキングビーム動作を行う２組の搬送ビームＡ，Ｂを用い、等速運動区間をオーバーラップさせることにより上下運動とワークとの摩擦をなくし、かつ多段に搬走路を構成して搬送容量を大きくする。２台の搬送装置を並列に配置し、搬送ビームを掛け渡せば、精度の高い搬送平面が維持でき、大型ワークに対応する。 （もっと読む）

【課題】搬送部内を所定の圧力に調整しつつ、搬送部内のパーティクルを効率よく排出できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１の第１搬送部１０の上部には、ファンフィルタユニットが設けられており、第１搬送部１０の底部には、スリットダンパ１９が設けられている。このため、ファンフィルタユニットからの給気と、スリットダンパ１９からの排気とによって、第１搬送部１０内は所定の圧力に調整される。また、スリットダンパ１９は、第１搬送部の底部の周縁部分に配置されている。このため、第１搬送部１０の周縁部分に気体が滞留するようなことはなく、第１搬送部１０内のパーティクルを効率よく外部へ排出できる。 （もっと読む）

【課題】プレス加工が施されたリードフレームの連続体の全体を、拘束しつつ迅速に加熱冷却処理を施すことのできるリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置を提供する。
【解決手段】第１駆動ローラ１０ａと第２従動ローラ１０ｂとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルト１２ａと、第２駆動ローラ１０ｃと第２従動ローラ１０ｄとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルト１０ｂとが設けられ、第１金属ベルト１２ａ及び第２金属ベルト１２ｂの駆動ローラ方向に走行する部分が所定の接圧力で重ね合わされており、重ね合わせられた二枚の金属ベルトの間に供給された連続体２０の全体を拘束して加熱冷却できるように、前記二枚の金属ベルトが加熱部１７と冷却領域とを貫通して走行可能に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送容器の入れ替えおよび搬送を自動化して工場全体の自動化を図る。
【解決手段】半導体ウェハ１を収容可能なＦＯＵＰ２間における半導体ウェハ１の移し替えが行われる移し替え部４と、複数のＦＯＵＰ２を保管可能なストッカー５と、移し替え部４とストッカー５との間でＦＯＵＰ２を移動させるクレーン７とによって構成され、半導体ウェハ１をＦＯＵＰ２から他のＦＯＵＰ２に移し替える移し替え部４と、ＦＯＵＰ２の保管を行うストッカー５とが一体化されたことにより、半導体ウェハ１の移し替え時のＦＯＵＰ２の配置および移し替え後のＦＯＵＰ２の移動を自動で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理室のプラズマを維持したままプラズマ処理室への基板の搬入乃至搬出やクリーニングモードにおける被エッチング部材の退避乃至再搬入を良好に行い得るプラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】基板に対し所定のプラズマ処理を行うプラズマ処理室Ａと、このプラズマ処理室Ａに対して前記基板の搬入乃至搬出を行う搬送室Ｂと、前記プラズマ処理室Ａ及び前記搬送室Ｂの間に配設されて両者の間を仕切る第１のゲート弁Ｇ１とを有するプラズマ処理システムを用いて所定のプラズマ処理を行う際、前記プラズマ処理室Ａ内をプラズマを生成し得る圧力雰囲気とし、前記プラズマ処理室Ａに生成しているプラズマを維持する一方、処理する基板の前記搬送室Ｂから前記プラズマ処理室Ａ内への搬入時乃至処理した基板の前記プラズマ処理室Ａ内から前記搬送室Ｂへの搬出時には、前記搬送室Ｂの圧力を制御して前記プラズマ処理室Ａと同圧にした状態で前記第１のゲート弁Ｇ１を開いて前記基板の搬入乃至搬出を行う。 （もっと読む）

【課題】真空処理室に被処理体を搬入出するためにゲートバルブを開けた際に真空処理室のプロセス雰囲気が隣の搬送室側に拡散または逆拡散するのを確実に防止すること。
【解決手段】ゲートバルブＧＢが開状態となるとき、真空搬送室１０内では当該ゲートバルブＧＡの足元に位置する周辺局所排気ポート４６だけが唯一排気稼動している排気口であることから、真空搬送室１０内の至る所から気体が当該ゲートバルブＧＡないし当該周辺局所排気ポート４６付近に向って流れてくる。このような局所排気により、真空搬送ロボットＲＢ₁の搬送アームやウエハＷが開状態の当該ゲートバルブＧＡを通っても真空処理室１２内のプロセス雰囲気が真空搬送室１０内に入ってくる確率は非常に低く、たとえプロセス雰囲気が入ってきても直下の周辺局所排気ポート４６へ押し込められて、そこから速やかに排出される。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、温度ならしによる真空処理のスループット低下を抑える。
【解決手段】交換部品１１を真空カートリッジ１２に収納し真空排気した後に第１の温度ならしを行い、続いて真空カートリッジ１２をサブチャンバ２２に搬入し、サブチャンバ２２を真空排気し、交換部品１１を真空カートリッジ１２から取り出して真空チャンバ２１に搬入する。その後に、第２の温度ならしを真空チャンバ２１内で行う。真空処理を行う真空チャンバ２１の状況によらずに、第１の温度ならしを真空カートリッジ１２内で行うため、サブチャンバ２２内では、断熱膨張により温度低下した空気が交換部品１１に直接触れることなく、交換部品の温度低下が抑えられる。従って、真空チャンバ２１内における第２の温度ならし時間を短縮できる。 （もっと読む）