【課題】レンズ基材を装着するときに、レンズ基材のレンズ光学面を傷つけるおそれのない作業性に優れたレンズ保持用ラックおよびレンズ製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ保持用ラック１は、レンズ基材をレンズ装着位置に位置規制する下方保持部材１０、側方回動保持部材２０および側方固定保持部材３０と、側方回動保持部材を押圧可能な付勢部材２２と、を有するレンズ保持ユニットを備える。側方回動保持部材２０は、レンズ基材を保持しない状態では、付勢部材２２から離間することによりその付勢力を受けることなく、自身の重量のバランスによりレンズ装着位置から外れた待機位置に退避し、レンズ基材を保持する状態では、付勢部材２２に接触することによりその付勢力を受けてレンズ基材の外周部に接触する。 （もっと読む）

【課題】処理液により基板を処理する際に発生する気泡に起因して基板処理が阻害されるのを防止できる基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを処理するための処理液を貯留する処理槽３０と、処理槽３０内で基板Ｗを保持可能な基板保持部４１と、基板保持部４１を昇降駆動する駆動部５３とを有する基板処理装置１１における基板処理方法であって、基板保持部４１が保持している基板Ｗを処理槽３０が貯留している処理液に浸漬させて処理する際に、基板保持部４１を駆動部５３により処理槽３０から上昇させて基板Ｗを処理液から引き上げ、上昇させた基板保持部４１を駆動部５３により下降させて基板Ｗを再び処理液に浸漬させることによって、基板Ｗを処理する際に発生する気泡を基板Ｗから除去する。 （もっと読む）

【課題】自動車の車体の塗装システムにおいて、搬送用走行体の上で前向き水平に支持した車体を、搬送させながら被処理液中に回転させて浸漬処理する手段として活用できる走行型浸漬処理装置を提供する。
【解決手段】搬送用走行体(1)に、浸漬処理浴槽(2)上を水平に横断する回転軸(11)と当該回転軸(11)を回転駆動する回転軸駆動手段(16)を設け、回転軸(11)に設けられたワーク支持手段(15)に支持された被処理ワーク(W)を回転軸(11)の回転により浸漬処理浴槽(2)内に浸漬できるようにした走行型浸漬処理装置において、搬送用走行体(1)上に、当該搬送用走行体(1)の走行方向の前後に往復移動自在な可動台(5)が設けられ、この可動台(5)に前記回転軸(11)が支持され、前記可動台(5)を搬送用走行体(1)に対して前後往復移動させる可動台駆動手段(20)が設けられた構成。 （もっと読む）

【課題】搬送用走行体２上に固定されて搬送されてくるワークＷを、当該搬送用走行体２ごと上下反転させて処理浴槽１内に浸漬し、当該ワークＷの表面処理を行なうことの出来る、構造簡単な浸漬処理装置を提案する。
【解決手段】地上側走行経路３は、回転台１５に対する搬送用走行体２の進入経路と退出経路を兼用するもので、待機姿勢にある回転台１５の後端側においてのみ、回転第１５上のガイドレール１７ａと接続し、回転台１５の後端側から当該回転台１５上のガイドレール１７ａに乗り移った搬送用走行体２を定位置に位置決めして回転台１５に固定する位置決め固定手段と、この位置決め固定手段で位置決めされる回転台１５上の定位置まで搬送用走行体２を送り込む送り込み手段と、前記位置決め固定手段を固定解除状態と固定作用状態とに切り換える操作手段が設けられた構成。 （もっと読む）

【課題】搬送用走行体１上に固定されて搬送されてくるワークＷを、当該搬送用走行体１と共に上下反転させて処理浴槽３，４内に浸漬し、当該ワークＷの表面処理を行なうことのできる、構造簡単な浸漬処理設備を提案する。
【解決手段】ワークＷを搭載固定した搬送用走行体１の走行経路２の両端に配設された処理浴槽３，４と、走行経路２に対して直角向きに接続する搬送用走行体移送用経路５，６を走行し且つ走行経路２との交叉停止位置Ｐ１，Ｐ２にあるときに走行経路２との間で搬送用走行体１が乗り移り自在な搬送用走行体移送用台車７，８と備え、処理浴槽３，４上には、搬送用走行体１が乗り移り自在で且つ当該搬送用走行体１を固定する固定手段を備えた回転台２２，２３が設けられ、この回転台２２，２３上に乗り移った搬送用走行体１上のワークＷを当該回転台の回転により処理浴槽３，４内に浸漬処理できる構成。 （もっと読む）

【課題】隣接基板またはキャリア内壁との間に支持材を入れることにより、基板の貼り付きを容易かつ確実に防止して基板表面の清浄度を保つ。
【解決手段】基板搬送用キャリア１において、複数枚の基板３のうちの隣接基板間およびキャリア内壁面と基板３間に、基板貼り付き防止用の球状の支持部材６が配設されている。この球状の支持部材６は、互いに対向するキャリア側板５の隣接溝部５１間にそれぞれ接続されて、基板３の高さ方向中心部とその上部に対応する上下位置にそれぞれ設けられている。このため、洗浄処理時や乾燥処理時に、キャリア溝ピッチ以上に基板３が反っても、基板３同士の貼り付きやキャリア内壁と基板３との貼り付きが防止される。 （もっと読む）

本発明は、物８を搬送するためのコンベヤーシステムであって、特に、回転軸線４４を中心に回転され得る、少なくとも１つの耐荷重車輪４０を支持する車台２２を有した少なくとも１つのコンベヤー搬送部１８を具備する浸漬処理システム２において車体８を搬送するためのコンベヤーシステムに関する。少なくとも１つの物８が、枢動軸線３６中心に枢動可能な取付装置８４に取り付けられ得る。少なくとも１つの耐荷重車輪４０は、ガイドレール１４上を走行する。コンベヤー搬送部１８は、駆動手段６４を用いてガイドレール１４に沿って移動させられる。少なくとも１つの耐荷重車輪４０の回転軸線４４及び取付装置８４の枢動軸線３６は、互いに同軸線上に配置される。本発明は、更にこうしたコンベヤーシステム１０を具備する浸漬処理システム２に関する。
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【課題】搬送機はライン専用として走行レール毎に設置され、搬送機を走行レールから簡単に取り外しできなかった。また搬送機は走行機構と昇降機構が一体となったものであるため、汎用性に劣っていた。
【解決手段】自動搬送装置は走行レール１と搬送ロボット２からなり、走行レールは、その側面にレール両端付近が無電部１３となるよう給電線１２が走行レールに沿って装着され、搬送ロボットは、上部ユニット２１と下部ユニット２２に分けて脱着可能にし、上位ユニットには給電線に加圧接触する受電子２１７と走行用モータ２１１と駆動車輪２１４からなる走行機構を、下部ユニットにはワークを上下に移動させる昇降機構を設け、走行機構及び昇降機構の駆動を制御する制御ユニット２４は無線で制御機３と信号の授受を行うようにし、搬送ロボットが走行レールの端部から工具を使用しないで脱着できるようにした。 （もっと読む）

【課題】極薄のウェーハを安全、簡単、確実かつ迅速に単離させることができ、かつ従来と比べて処理スピードが改善されたウェーハ単離方法及びウェーハ単離装置を提供する。
【解決手段】多数枚又は複数枚のウェーハが積層されたウェーハ積層体を液体中に浸漬させて準備するステップと、前記最上層のウェーハの一端部を吸着し、前記最上層のウェーハの他端部は吸着せずにおさえ、前記最上層のウェーハを水平方向で傾斜させる吸着ステップと、前記最上層のウェーハの下面と隣接する下側のウェーハの上面との間に流体を吹き込む流体吹き込みステップと、前記傾斜させた最上層のウェーハを、その傾斜の延長線上に沿って変位させて液中から前記最上層のウェーハを取出せしめるウェーハ変位ステップと、を含み、ウェーハを単離するようにした。 （もっと読む）

【課題】高速分離処理に対応でき、かつ、水中でウエハ同士が部分的に重なって密着してしまった場合であっても、確実に分離させて後工程へ搬送することのできるウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウエハセパレータ装置によってウエハスタックＷＳから分離されて順次供給される水中のウエハＷを水面上に搬送するウエハ搬送装置８であって、順次供給されるウエハＷを水面上に搬送する第１の無限ベルト式搬送装置４と、第１の無限ベルト式搬送装置４のウエハ搬送方向下流にあって第１の無限ベルト式搬送装置４によって搬送されるウエハＷを引き継いでさらに搬送する第２の無限ベルト式搬送装置５と、が設けられ、かつ、第２の無限ベルト式搬送装置５が、その無限ベルトを濡れた状態でかつウエハＷのウエハスタック側とは反対側の面に密着させて、ウエハＷを搬送する。 （もっと読む）