【課題】構造が簡単で脱脂効率が高く、かつ脱脂用ガスの利用効率が高い脱脂炉、および、脱脂効率が高く、かつ脱脂用ガスの利用効率が高い脱脂方法を提供すること。
【解決手段】脱脂炉１は、円筒状をなす炉本体２と、炉本体２の内部２０のうち、左端部２０４に設けられたファン３と、炉本体２の内部２０のうち、左端部２０４および右端部２０５を除く部分（中央部２０６）の上層部２０１と中層部２０２とを隔てるよう設けられた第１の隔壁４１と、炉本体２の内部２０のうち、中央部２０６の下層部２０１と中層部２０２とを隔てるよう設けられた第２の隔壁４２と、少なくとも上層部２０１を加熱するヒーター（加熱手段）５と、炉本体２のうち、図１の中央より左側に設けられ、上層部２０１にガスを導入するガス導入系６と、炉本体２のうち、図１の中央より右側に設けられ、下層部２０３のガスを排気するガス排気系７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】脱脂処理において成形品に亀裂や変形などが生じないマイクロ波脱脂炉及びマイクロ波脱脂方法を提供すること。
【解決手段】バインダを含む成形品を収容する内部空間を有する炉５と、前記炉の内部空間へマイクロ波を供給するマイクロ波発生手段７と、前記成形品の温度を測定する温度測定手段１１と、前記バインダの液化後の前記成形体の温度上昇率が、前記バインダの液化前の前記成形体の温度上昇率より低くなるように、かつ、前記バインダの気化後は、前記バインダが気化を開始する気化開始温度に前記成形品の温度を保つように、前記マイクロ波発生手段を制御する制御手段１３と、を備えるマイクロ波脱脂装置。 （もっと読む）

【課題】セラミックス粉末を含むスラリーを用いて得られたセラミックス成形体の脱脂を効率よく進める方法及びそのための脱脂装置を提供する。
【解決手段】本発明の脱脂方法は、セラミックス成形体に、過熱水蒸気及び酸素ガスを含む気体を接触させながら、セラミックス成形体を５９０〜９００℃の範囲の温度で熱処理する熱処理工程を備え、その条件を、温度（℃）をＸ軸とし、酸素ガス分圧Ｐ_Ｏ２（ａｔｍ）の対数値をＹ軸とする関係図（図１）で表したとき、関係図中のＡ（５９０，−３）、Ｂ（９００，−３）、Ｃ（９００，−１９．５）、Ｄ（５９０，−２４．１）及びＡ（５９０，−３）の各点を、順次、直線で結ぶことにより得られる範囲内とする。 （もっと読む）

【課題】押出成形など、低コストの成形法に対して、同じく低コストでかつ環境負荷が少ない酸による洗浄法による半導体製造プロセス用ＳｉＣ部材の製造方法を提供する。
【解決手段】水系押出成形において、成形体を乾燥後、不活性ガス雰囲気中で３５０〜４５０℃の温度で熱処理する脱脂工程と、酸で洗浄する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】比表面積が比較的大きな無機粒子を含むハニカム成形体を、より適正に脱脂することが可能な脱脂工程を含む、ハニカム構造体の製造方法。
【解決手段】本発明のハニカム構造体の製造方法は、５０ｍ^２／ｇ以上の比表面積を有する無機粒子と、成形助剤および／または有機バインダとを含み、長手方向に沿って、第１の端面から第２の端面に延伸する複数のセルがセル壁により区画されたハニカム成形体を形成する工程と、前記ハニカム成形体を、前記第１の端面が下側となり、前記第２の端面が上側となるように、脱脂装置内に配置する工程と、前記脱脂装置内に導入ガスを供給する工程と、前記ハニカム成形体を２００℃〜４００℃の温度で脱脂する工程と、前記脱脂されたハニカム成形体を５００℃〜９００℃の温度で焼成して、ハニカムユニットを得る工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ハニカム形状のグリーン成形体を焼成する過程において成形体が変形するのを十分に抑制でき、寸法精度が高い焼成体を製造可能な方法及びこれに用いる焼成炉を提供すること。
【解決手段】本発明に係る焼成体の製造方法は、無機化合物、有機バインダ及び溶媒を含有する混合物を調製する原料調製工程と、混合物を成形してグリーン成形体を得る成形工程と、炉本体１内に酸素濃度１〜５体積％の気体を導入しながら昇温して炭素含有物質が残存した成形体を得る第１の加熱工程と、第１の加熱工程後、炉本体１内に酸素濃度１〜５体積％の気体を導入することなく更に昇温して焼成体を得る第２の加熱工程とを備え、酸素が存在する９００℃の雰囲気下に第１の加熱工程後の成形体を放置したとき、当該成形体の中心部の温度が炉本体１内の雰囲気の温度よりも２０℃以上高くなるように、第１の加熱工程の処理条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】脱脂後の成形体の搬送時において、成形体の割れや欠けを有効に防止できる焼結体の製造方法を提供すること。
【解決手段】原料粉末と樹脂材料とを加熱混練して成形用原料を得る工程と、成形用原料を射出成形して成形体を得る工程と、成形体から樹脂材料の一部を除去する第１脱脂工程と、残りの樹脂材料を除去する第２脱脂工程と、焼成工程と、を有し、樹脂材料はワックス、第１バインダおよび第２バインダを含有している。ワックスの熱分解温度は、第１バインダおよび第２バインダの熱分解温度よりも低く、第１バインダの熱分解温度は、第２バインダの熱分解温度よりも低い。第１脱脂工程において、第１バインダの流動開始温度以上、かつ第２バインダの熱分解温度未満の温度範囲とした後に、第１バインダの流動開始温度未満の温度まで冷却する。第２脱脂工程と焼成工程とは連続して行われる。 （もっと読む）

【課題】従来の燃焼炉付小型脱脂炉に比較して、消費電力を大幅に削減することができ、且つ高温の排気の排出量を抑制することが可能な脱脂炉を提供する。
【解決手段】脱脂炉１は、成型体に脱脂処理を施すための脱脂炉本体１０、脱脂炉本体１０の排気に含まれる有害物質を燃焼するための燃焼炉２０、燃焼炉２０から排出された高温の排気に外気を取り込んで冷却すると共に酸素を供給するための外気取込部３０、外気取込部３０の上端部と脱脂炉本体１０の脱脂室１０１の底部と連通してなる循環路４０、排気を循環させるための循環ファン５０、排気の一部を外部に排出するための排気部６０等から構成されている。 （もっと読む）

【課題】形成した導体パターンの導通不良を防止することができ、かつ、効率よく配線基板を製造することが可能な配線基板の製造方法および信頼性の高い配線基板を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板の製造方法は、セラミックス材料とガラス粉末と有機物とを含む材料で構成された複数のセラミックス成形体を形成する工程と、セラミックス成形体上に、液滴吐出法により、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用インクを吐出し、導体パターン前駆体を形成する工程と、導体パターン前駆体を形成した複数のセラミックス成形体を積層し、積層体を得る工程と、積層体を加熱する加熱工程とを有し、加熱工程では、加熱開始から脱脂完了温度に達するまでの過程の２５０℃以上３５０℃以下の間において平均昇温速度を変化させるものであり、変化前の平均昇温速度よりも変化後の平均昇温速度のほうが速いことを特徴とする。 （もっと読む）