国際特許分類[C08F20/30]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物 (224,083) | 炭素−炭素不飽和結合のみが関与する反応によってえられる高分子化合物 (38,630) | ただ1つの炭素−炭素二重結合を含有する1個以上の不飽和脂肪族基をもち,そのうちただ1つの脂肪族基がただ1つのカルボキシル基によって停止されている化合物,その塩,無水物,エステル,アミド,イミドまたはそのニトリルの単独重合体または共重合体 (3,487) | 9個以下の炭素原子をもつモノカルボン酸;その誘導体 (3,067) | エステル (2,452) | カルボキシ酸素以外に酸素を含有するエステル (813) | アルコール残基中に芳香族環を含有するもの (206)
国際特許分類[C08F20/30]に分類される特許
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化合物、樹脂及びレジスト組成物
【課題】新規な化合物と、該化合物に由来する構造単位を有する樹脂と、該樹脂を含有するレジスト組成物等を提供する。
【解決手段】式(I)で表される化合物。[L1は*1−O−*2、*1−O−CH2−*2、又は*1−O−(CH2)k1−CO−O−*2を表す。*1は−CO−との、*2はY1との結合手を表す。k1は1〜3の整数を表す。Y1は炭素数4〜20の2価の飽和環状炭化水素基を表す。R2は炭素数6〜12の芳香族炭化水素基を表し、該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子はハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルコキシ基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ニトロ基、スルホ基、炭素数2〜7のアルキルオキシカルボニル基又は炭素数2〜7のアシル基で置換されていてもよい。]
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ネガ型レジスト材料、パターン形成方法及びフォトマスクブランク
【課題】 露光前後のアルカリ溶解速度コントラストが高く、高感度で高解像性を有し、ラインエッジラフネスが小さい、特に超LSI製造用あるいはフォトマスクパターン作製における微細パターン形成材料として好適なネガ型レジスト材料、特に化学増幅ネガ型レジスト材料、これを用いたパターン形成方法及びフォトマスクブランクを提供する。
【解決手段】 少なくとも、下記一般式(1)で示される繰り返し単位aを含む、重量平均分子量が1,000〜500,000の範囲である高分子化合物を含むことを特徴とするネガ型レジスト材料。
【化1】
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フルオレン化合物
【課題】 硬化させることにより十分な硬度を有し且つ屈折率が比較的高い硬化物を得ることができるフルオレン化合物を提供することを課題とする。
【解決手段】 下記一般式(1)で表されることを特徴とするフルオレン化合物を提供する。
(式中、J、J’は、それぞれ独立して、脂肪族炭化水素又は芳香族炭化水素を含む2価〜4価の基を示し、酸素原子又は硫黄原子を有していてもよく、R1、R2、R3、R4は、それぞれ独立してH又はCH3を示し、m、nはそれぞれ独立して2〜4の整数であり、a、bは、それぞれ独立して1〜5の整数であり、p、qは、それぞれ独立して1〜3の整数である。)
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垂直配向層用組成物
【課題】 少ない紫外線照射量で配向の制御が可能な液晶配向性を有し、プレチルト角が大きく、光安定性に優れる垂直配向用材料及び当該材料を用いた垂直配向層を提供する。
【解決手段】 一分子中に、(a)光化学的に異性化可能であり、かつ光化学的に架橋されない部位、(b)光化学的に架橋可能な部位、及び(c)垂直配向を安定化する部位を有するモノマー又は当該モノマーのオリゴマー、プレポリマー若しくはポリマーを含有することを特徴とする液晶の垂直配向層用材料及び当該材料の硬化物を構成部材とする液晶用垂直配向層を提供する。
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アダマンタン誘導体、その製造方法及びアダマンタン誘導体を含む樹脂組成物
【課題】透明性、耐光性など光学特性、耐熱性、機械物性に優れた優れた硬化物を与えるアダマンタン誘導体、その製造方法、当該誘導体を含む樹脂組成物及び当該誘導体を使用する硬化物を提供する。
【解決手段】下式で示されるアダマンタン誘導体。
[式中、R1はアルキル基等を表し、kは0〜4の整数を表し、Xはアルキレン基等を表し、Yはオキシラニルメチル基、オキセタニルメチル基等を表し、jは1〜4の整数を表す。]
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エポキシアクリレート、アクリル系組成物、硬化物及びその製造法
【課題】耐熱性、低熱膨張性に優れ、ハードコート材料、UV硬化塗料、ガラス代替材料、液晶のカラーフィルター、ソルダーレジスト用樹脂又は、無電解メッキレジスト用樹脂等に有用な、特に光学材料として有用なエポキシアクリレート、アクリル系組成物及び硬化物を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で表されるエポキシアクリレート、及びこのエポキシアクリレートと重合開始剤を含むアクリル樹脂組成物である。式中、Xは水素原子又はメチル基を表し、ZはC1〜C6のアルキル基を表し、aは0〜5の数を示し、bは0〜4の数を示す。このエポキシアクリレートは、エポキシビフェニル化合物とアクリル酸又はメタクリル酸とを反応させることにより得られる
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光硬化性熱硬化性樹脂組成物
【課題】基板との密着性、耐薬品性、はんだ耐熱性、PCT耐性、冷熱衝撃耐性、無電解金めっき耐性、電気絶縁性等に優れる硬化皮膜を得るのに適した希アルカリ現像型の光硬化性熱硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)に示す構造を有するカルボキシル基含有感光性樹脂、光重合開始剤を含有する光硬化性熱硬化性樹脂組成物。
(式(1)中、R1は(メタ)アクリル基を有するアルキレンオキサイド基、あるいは多塩基酸無水物を反応させたアルキレンオキサイド基、またはアルキレンオキサイド基。)
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化合物、重合性組成物、高分子、及びフィルム
【課題】高いΔnを示す重合性液晶の提供。
【解決手段】下記式(I)で表される重合性化合物である。式中、P1及びP2は、重合性基;m1及びm2は、1〜10の整数;Aは、5〜18員環の芳香族炭化水素環又は5〜18員環の芳香族複素環を含む2価基;L3及びL4はそれぞれ、炭素原子数1〜10のアルキル基、又は炭素原子数1〜10のアルコキシ基;k1及びk2はそれぞれ、0〜4の整数;X1、X2、X3及びX4はそれぞれ、−O−、−S−、−NH−、−NR−、又は−SiR0R00−;n1及びn2はそれぞれ、0又は1を表し、但し少なくとも一方は1であり、L1a、L1b、L2a及びL2bはそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、−CN、−NC、−NCO、−NCS、又は−OCNを表し、但し、n1が1で且つL1a及びL1bの双方が水素原子であり、及びn2が1で且つL2a及びL2bの双方が水素原子の時、並びにn1が1で且つL1a及びL1bの双方が水素原子であり、及びn2が0の時に限り、X2及びX3の双方が−O−で表される化合物、並びにX2及びX3の一方が−O−であり且つ他方が−NH−又は−NR−で表される化合物を除く。
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ガスバリア性フィルム、ガスバリア層、装置及びガスバリア性フィルムの製造方法
【課題】低コストで良好なガスバリア性を示すガスバリア性フィルム、その製造方法及びガスバリア性フィルム又はガスバリア層を用いた装置の提供。
【解決手段】プラスチック基材と、プラスチック基材1上に設けられた有機層2と、有機層2上に設けられた無機層3とを有し、その有機層2を、水酸基を構造内に含まないアルキレンオキサイド変性フルオレンアクリレート、好ましくは一般式(1)で表される化合物を架橋してなる層とする(n1+n2は1〜20の整数であり、R1,R2は水素原子又はメチル基であり、R3,R4は水素原子、メチル基又はエチル基であり、R5,R6は水素原子、メチル基又はエチル基である。)。
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電子線用又はEUV用化学増幅ネガ型レジスト組成物及びパターン形成方法
【解決手段】(A)アルカリ可溶性の高分子化合物、(B)酸発生剤、(C)塩基性成分として窒素を含有する化合物を含有し、上記(A)成分の高分子化合物が、架橋剤の存在下又は不存在下で、上記酸発生剤から発生する酸触媒によりアルカリ不溶性となる電子線用又はEUV用化学増幅ネガ型レジスト組成物であって、上記(A)成分かつ(C)成分が塩基性ポリマー(PB)を含むことを特徴とする電子線用又はEUV用化学増幅ネガ型レジスト組成物。
【効果】超微細パターンを要求されるレジストパターンの形成において、上記化学増幅ネガ型レジスト組成物を用いることで、塩基の拡散を均一にでき、ラインエッジラフネスの改善、更には酸の基板界面の失活が抑制でき、アンダーカットの度合いが小さい電子線用又はEUV用化学増幅ネガ型レジスト組成物の提供。
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