本発明は、多層膜を製造する方法および前記方法を実施するための装置に関する。
（もっと読む）

【課題】 耐擦傷性及び撥水性の耐久性により優れた光学部材及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 プラスチック基材と、このプラスチック基材上に真空蒸着法で形成された多層反射防止膜と、この多層反射防止膜上に形成された撥水層とを有する光学部材であって、前記多層反射防止膜の最外層が、二酸化ケイ素を含有する無機物質と、有機ケイ素化合物及び／又はケイ素非含有有機化合物とを蒸着原料として真空蒸着法で形成され、かつ酸素及び／又はアルゴンイオンが照射されてなるハイブリッド層であり、前記撥水層が、フッ素置換アルキル基含有有機ケイ素化合物を含む撥水原料が電子銃による加熱処理で、前記最外層に蒸着されてなる層である光学部材である。 （もっと読む）

本発明の目的は金属表面およびガラス質被覆を有する基板を提供することにある。この目的のため、本発明は被覆された基板、あるいは被覆された基板を備えた製品を製造する方法に関し、前記基板はガラスで被覆された少なくとも１つの金属表面を有する。この基板は少なくともその金属表面上が蒸着ガラスで被覆されている。 （もっと読む）

有機、または無機ガラスからなる透明基質を含み、主要前面、および裏面を有し、少なくともひとつの前記主要面が多層抗反射コーティングを有し、前記抗反射コーティングが不足当量酸化チタンを含む少なくとも二つの可視光吸収層を有し、その可視光吸収層において可視光吸収層を含まない同様のもの（光学体）と比較して可視光の相対透過特性Ｔｖが１０％以上減少している光学体に関する発明。 （もっと読む）

Ｓｉスパッタリングターゲットは、スパッタ面の結晶面方位をＸ線回折法で測定した際に、Ｓｉの（１１１）面のピーク強度（Ｉ_{（１１１）}）と（２２０）面のピーク強度（Ｉ_{（２２０）}）の比率（Ｉ_{（１１１）}／Ｉ_{（２２０）}）が１．８±０．３の範囲である。Ｓｉスパッタリングターゲットは、例えば相対密度が７０％以上９５％以下の範囲のＳｉ焼結材を具備する。このようなＳｉスパッタリングターゲットによれば、Ｓｉ酸化膜等のスパッタ膜の膜厚特性や成膜コスト等を改善することが可能となる。 （もっと読む）