国際特許分類[C23C14/10]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | 被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆 (14,491) | 被覆材料に特徴のあるもの (5,176) | ガラスまたはシリカ (136)
国際特許分類[C23C14/10]に分類される特許
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ガスバリア性蒸着フィルム、並びにそれを用いた輸液バッグ及び輸液バッグ用外装袋
【課題】 アンチモン系触媒を使用せずに製造された蒸着フィルムであって、且つ、優れたガスバリア性を示し、包装用途及び光学用途に好適な物性を備えた蒸着フィルム、並びにそれを用いた輸液バッグ及び輸液バッグ用外装袋。
【解決手段】 重縮合触媒としてチタン系触媒を使用して製造したポリエステルフィルムからなる基材フィルムの一方の面に、酸化物蒸着膜、バリアコート及びヒートシール性樹脂層を積層したガスバリア性蒸着フィルム、並びにそれを用いた輸液バッグ及び輸液バッグ用外装袋。
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ガスバリア性蒸着フィルム、その製造方法及びそれを使用した積層材
【課題】 アンチモン系触媒を使用せずに製造された蒸着フィルムであって、且つ、優れたガスバリア性を示し、包装用途及び光学用途に好適な物性を備えた蒸着フィルム。
【解決手段】 重縮合触媒としてチタン系触媒を使用して製造したポリエステルからなる基材フィルムの一方の面に、酸化物蒸着膜及びバリアコート層を積層したガスバリア性蒸着フィルム。
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液晶素子、空間光変調素子、光路偏向素子、および画像投射装置
【課題】液晶を用いた画像表示装置において、光学的異方性を避けるためと、高速応答のために、液晶を基板に対して垂直若しくはそれに近い配向にする必要がある。液晶には強い光、波長の短い光があたることが多いので、従来のポリイミドの配向膜では劣化が生じ寿命が短くなる。配向膜を無機化したいが、SiO2斜方蒸着を液晶配向膜とした場合、液晶として特性の優れる誘電率異方性が正のものを使うと水平配向になってしまう。金属アルコラートを用いて垂直配向にする技術はあるが工程が複雑になっている。
【解決手段】液晶を挟む2枚の基板の内、少なくとも一方の基板側の液晶配向膜を金属にすることにより、基板の間に封入する液晶は、誘電率異方性(Δε)が正のものを用いていながら、基板に対して垂直若しくはほぼ垂直に配向させることができる。
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液晶表示素子およびその製造方法
【課題】蒸着機をいじることなく、斜方蒸着配向膜を均一な膜厚にできる液晶表示素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】画素電極基板と透明電極基板とが液晶を介して互いに対向配置された液晶表示素子であって、 前記画素電極基板と前記透明電極基板とのそれぞれの前記液晶に接する面側に、基板面に対して斜め方向から蒸着形成された第1斜方蒸着配向膜と、基板面に対して垂直方向から蒸着形成された垂直蒸着膜と、前記垂直蒸着膜を介して、前記第1斜方蒸着配向膜形成時と基板の上下を180度回転し基板面の法線に対して前記斜め方向から対称な斜め方向から蒸着形成された第2斜方蒸着配向膜とが順に積層形成され、基板全面で蒸着膜の総厚が一定である液晶表示素子とする。
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ガスバリア性フィルムおよびその製造方法
【課題】SiOを蒸着材料としたガスバリア性フィルムにおいて、反応ガスを導入しなくても、黄色を呈さず高い透明性を備えながら、優れたガスバリア性を有するガスバリア性フィルムおよびその製造方法の提供。
【解決手段】 基材フィルムの少なくとも一方の面に、SiOx蒸着材料を用い、反応ガスを導入しない雰囲気下でエレクトロンビーム蒸着方法によりSiOx膜を形成し、前記SiOx蒸着材料が結晶質のSiO2の回折パターンを有するものであり、かつ、前記SiOx蒸着材料の真密度に対する嵩密度が70%以上80%未満であるガスバリア性フィルムの製造方法。該製造方法を用いて形成したことを特徴とするガスバリア性フィルムであって、前記SiOx膜の膜厚が200nm以下であることを特徴とするガスバリア性フィルム。
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真空成膜方法
【課題】 合成樹脂フィルム上に成膜される昇華材料膜の特性を向上させるために、昇華した昇華材料を安定的に合成樹脂フィルム上に付着させる工程を有する方法を提供する。
【解決手段】 マイクロ波発生手段を用いて予備的に、かつ、均一的に昇華材料を加熱する。また、電子線発生手段を用いて電子線を照射する昇華材料表面がほぼ平滑であり、かつ、材料容器が可動式である。また、材料容器と冷却ロールとの間に高融点材料からなる網目状のフィルターを備えている。
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ガスバリア性透明フィルム、およびそれを用いたガスバリア性透明包装体
【課題】内容物を直接透視できる透明性を有し、ボイル殺菌、レトルト殺菌、オートクレーブ殺菌といった厳しい殺菌条件下でも、デラミネーションが抑えられガスバリア性が低下しない包装体を提供する。
【解決手段】熱可塑性高分子フィルムと、前記熱可塑性高分子フィルムの少なくとも一方の面に積層されたプライマー層と、前記プライマー層の上に積層された無機薄膜層とを有するガスバリア性透明フィルムであって、前記プライマー層が、芳香族炭化水素成分、N含有成分、メタクリレート成分、およびシラン化合物成分を含むことを特徴とするガスバリア性透明フィルム。
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ガスバリヤー性フィルムの製造方法
【課題】成膜時の酸素分圧のコントロールなどを必要とせず、高い生産性を有するとともに、高い透明性かつガスバリヤー性を有するガスバリヤー性フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】基材フィルムの少なくとも一方の面に、SiO蒸着材料を用い、反応ガスを導入しない雰囲気下でエレクトロンビーム(EB)蒸着方法によりSiOx膜を形成するガスバリヤー性フィルムの製造方法であって、前記SiO蒸着材料が酸素存在下において焼結されていることを特徴とするガスバリヤー性フィルムの製造方法。
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透明蒸着用フイルム及び透明蒸着フイルム
【課題】
本発明の透明蒸着用ポリエステルフイルムは、薄い蒸着膜厚さで高いガスバリア性能及び防湿性能を安定して付与し格段に向上させる透明蒸着用ポリエステルフイルム及びその透明蒸着ポリエステルフイルムを提供せんとするものである。
【解決手段】
本発明の透明蒸着用ポリエステルフイルム及びその透明蒸着ポリエステルフイルムは、2軸配向ポリエステルフイルムであって、蒸着側フイルム表面の中心線面粗さ(SRa)が2〜80nm、山数(SPc)が5〜130ヶ/0.1mm2であり、室温30℃で30日間放置した後に、蒸着側フイルム表面上に析出する直径0.5μm以上のポリエステルオリゴマーが1500個/mm2以下であり、フイルムの融解サブピーク Tsが190〜235℃であり、フイルム中のジエチレングリコール量が2.0重量%以下である厚さ5〜100μmを満たすことを特徴とするものである。
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真空蒸着装置
【課題】 真空蒸着装置で形成させた蒸着膜において、膜厚と蒸着膜の組成を制御するには、供給する蒸着原料量および反応ガス量をより適正に制御する必要がある。
【解決手段】 真空蒸着装置において、金属基板3に蒸着膜を形成すると同時に、第1の透明フィルム基板6と第2の透明フィルム基板9に蒸着膜を形成する。第1の透明フィルム基板6及び第2の透明フィルム基板9の抵抗値と透過率を測定し、蒸着原料22の蒸発量、第1酸素ノズル18および第2酸素ノズル19から供給する酸素ガス量を制御する。
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