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国際特許分類[C23C14/10]の内容

国際特許分類[C23C14/10]に分類される特許

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【課題】食品、日用品、医薬品などの包装分野や電子機器関連部材などの分野において、包装材料としての通常の加工を施してもガスバリア性が劣化しない、特に高いガスバリア性が必要とされる場合に好適に用いることができる透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】基材層1の一方の表面上に、ガスバリア層2(厚さXa)、被膜層3(厚さYa)、ガスバリア層4(厚さXb)、被膜層5(厚さYb)を順次積層してなり、Xa、Xb、YaおよびYbの関係が、0.002≦XaYa、0.002≦XbYb、XaYa+(Xa+Xb)Yb≦0.5(単位はμmである)を満たす。 (もっと読む)


【課題】高温・高湿環境でガスバリア性に対して優れた耐久性を有するガスバリア積層体を提供することを目的とする。
【解決手段】プラスチックフィルム基材の両面または片面に酸化珪素膜を積層するガスバリア積層体において、前記プラスチックフィルム基材の前記酸化珪素膜を積層する面の中心線平均粗さRaが3〜30nmであり、高分解能ラザフォード後方散乱法(HR−RBS法)測定によって算出される前記酸化珪素膜の密度が1.9〜2.6g/cmの範囲内であること、酸素と珪素の比(O/Si)が1.4〜2.0の範囲内であることにより、高温高湿環境下でガスバリア性の劣化を抑えることができるガスバリア積層体を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】昇華する昇華材料を安定的に合成樹脂フィルム上に付着させることにより成膜して合成樹脂フィルムの上の成膜の特性を向上させること。
【解決手段】本発明の真空成膜装置1は、真空雰囲気下にある真空室内において合成樹脂フィルム7の少なくとも一方の面に昇華される昇華材料を蒸着して成膜する。真空成膜装置1は、材料容器9に収容された昇華材料9aを電子線発生手段8の電子線により昇華させる手段と、昇華材料9aの近傍に加熱水蒸気を供給する加熱水蒸気供給手段14と、昇華材料9a及び前記加熱水蒸気の両方にマイクロ波を照射させて昇華材料9aの蒸気を酸化反応させるマイクロ波発生手段12と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】植物などから得られるセルロース材料を有効に利用し、酸素バリア性、水蒸気バリア性に優れるだけでなく、透過性に優れ、耐湿熱性に優れ、可とう性に優れ、耐熱水性に優れ、環境負荷の少ないガスバリア性を備える積層体を提供する。
【解決手段】高分子組成物からなる基材の少なくとも一方の面に、無機化合物からなる第1層11と、短方向の繊維幅が380nm以下のセルロースファイバーを含む第2層12とを備えることを特徴とする積層体。また、前記セルロースファイバーの短方向の繊維幅が50nm以下であることを特徴とする積層体。また、前記基材側から順に、前記第1層11、前記第2層12を順に備え、且つ、第1層11上に第2層12が直接設けられていることを特徴とする積層体。 (もっと読む)


【課題】硬化したオルガノポリシロキサン樹脂フィルム上に酸化窒化ケイ素層、窒化ケイ素層または酸化ケイ素層が接着性良く形成されており透明性、ガスバリアー性等が優れた硬化オルガノポリシロキサン樹脂フィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒドロシリル化反応により架橋させてなる硬化オルガノポリシロキサン樹脂からなり、可視光領域で透明であるフィルム上に、有機官能基、重合性有機官能基が重合して生成した有機基、ヒドロシリル基またはシラノール基を有する硬化オルガノポリシロキサン層が形成され、該硬化オルガノポリシロキサン層上に酸化窒化ケイ素層、窒化ケイ素層または酸化ケイ素層が形成されている、ガスバリアー性硬化オルガノポリシロキサン樹脂フィルムおよびその製造方法。 (もっと読む)


本発明は、薄膜被覆技術に有用な新しいプラズマ源を提供し、更にプラズマ源の使用方法を提供する。より具体的には、本発明は、プラズマ強化化学蒸着に有用な線状及び二次元のプラズマをそれぞれ生成する、新しい線状及び二次元のプラズマ源を提供する。また、本発明は、薄膜被覆を形成する方法及びそのような方法による被覆効率を向上させる方法を提供する。
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【課題】基材フィルムの少なくとも一方の面にアンカーコート層、無機酸化物層を順次形成してなる透明ガスバリアフィルム、及びそれを用いた透明包装材料において、無機酸化物層の厚さを増大させることなくガスバリア性を確保するフィルムの提供。
【解決手段】アンカーコート層と無機酸化物層との界面について、連続傾斜TEM像(−60°〜+60°、1°ステップ)を撮影した後、Fiducial Marker法による画像位置補正を行うことで3次元再構成像を得た際の界面における表面粗さRmsが1.0nm以下である透明ガスバリアフィルム。 (もっと読む)


本発明は、基板と、対応する電極構造物とを有する電子音響部品(1)、特に、表面音波またはバルク音波で動作する部品に誘電体層(3)を形成する製造方法に関し、多重部品システムとしてのホウケイ酸ガラスなどの蒸着ガラス材料や、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウムなどの単部品システムからなる、蒸着材料のグループから選ばれる少なくとも一つの蒸着材料が、熱蒸着により析出するので、上記誘電体層(3)が、少なくとも部分的に形成される。本発明は、さらに、電子音響部品に関する。
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【課題】非導電性物質の複数の付着体からなる不連続構造膜上に成膜された金属膜を含むことで光輝性を有しながら電磁波透過性も有する電磁波透過性光輝樹脂製品及びこの電磁波透過性光輝樹脂製品の製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂基材11と、樹脂基材11上にスパッタリングで形成された酸化ケイ素の複数の付着体14からなる不連続構造の下地膜13と、下地膜13上にスパッタリングにより成膜されたアルミニウム膜12とを含み、アルミニウム膜12は膜厚が下地膜13の膜厚より薄く且つ付着体14の基部15に付着した部位の膜厚が他部位の膜厚より薄くなっている。 (もっと読む)


【課題】ZnO系透明導電薄膜の膜厚が薄い場合(特に膜厚が100nm程度以下の場合)にも、低抵抗値を示し、かつ湿熱環境下においても抵抗値の変化率が小さい、透明導電フィルムおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】有機高分子フィルム基材(1)を含む透明導電フィルムにおいて、有機高分子フィルム基材(1)上に形成された、可視光透過率が高い第一の酸化物薄膜(2)と、第一の酸化物薄膜(2)上に形成されたZnO系透明導電薄膜(3)とを有し、第一の酸化物薄膜(2)は、ZnO系透明導電薄膜(3)が形成される前の酸素量が化学量論値の60〜90%であることを特徴とする透明導電フィルムとする。 (もっと読む)


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