【課題】高周波導電性を犠牲にすることなくガラス基板と無電解銅めっき膜との密着性を高める方法を提供する。
【解決手段】平滑な表面を有するガラス基板１を無電解銅めっき浴中に浸漬してガラス基板１の片面に無電解銅めっき膜４を形成する。次いで、ガラス基板１側にマイナス電極１１、無電解銅めっき膜４側にプラス電極１２を押し付けて各電極１１，１２間に電圧を印加し、無電解銅めっき膜４を加熱する （もっと読む）

【課題】 基板に対する密着性に優れた無電解銅めっき膜を形成する。
【解決手段】 下記（１）〜（４）の工程を行う。
（１）無機酸化膜を表面に有する基板１０の表面をシランカップリング剤で処理することにより、基板の表面にシランカップリング剤１２を結合させるカップリング処理工程。
（２）基板の表面に触媒金属を含有する溶液を接触させることにより、シランカップリング剤に触媒金属１４を捕捉させる第１触媒化工程。
（３）基板の表面に塩化錫溶液と塩化パラジウム溶液または錫・パラジウムコロイド溶液を接触させることにより、基板の表面のシランカップリング剤が結合していない部分にパラジウム１６を析出させる第２触媒化工程。
（４）基板の表面に微量のニッケル化合物を含有する銅めっき液を用いて無電解銅めっきを行うことにより、無電解銅めっき膜１８を形成する無電解めっき工程。 （もっと読む）

【課題】無電解めっき液の再生処理を、効率的かつ自動的に行う。
【解決手段】本発明の無電解めっき液の再生装置は、めっき処理に伴ってめっき槽２０内で生成される亜リン酸の生成速度を測定するセンサ２０ｂと、めっき槽内のめっき液１００を分取し第一処理槽１１に移送する分取装置２１と、分取されためっき液に含まれる亜リン酸の濃度を測定するセンサ３１と、このめっき液に含まれる亜リン酸から、亜リン酸カルシウム１０５を生成させるために必要な炭酸カルシウム又は水酸化カルシウム１０４を第一処理槽に供給する添加装置１３と、第一処理槽内で生成した亜リン酸カルシウムをめっき液から分離除去する分離装置１４と、亜リン酸カルシウムが分離除去されためっき液をめっき槽に移送する戻しポンプ２２と、分取装置２１及び戻しポンプ２２の移送速度を制御するコントローラ１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】より微細で信頼性の高い微細パターンを容易に形成可能な選択的無電解めっき方法を提供する。
【解決手段】基板１の表面を塩化スズ（II）で増感処理する工程と、増感処理された基板に紫外線４をパターン照射し、紫外線の露光部における基板の増感を抑制する工程と、紫外線の露光部に形成されるスズ吸着層２ａを除去する工程と、紫外線の非露光部に残留したスズ吸着層２を塩化パラジウム（II）で活性化処理する工程と、活性化処理された基板を還元処理する工程とを経た後に、還元処理された金属パラジウムの触媒核５を有するスズ吸着層２上に金属の無電解めっき膜６を形成する。 （もっと読む）

【課題】 所望の領域にメッキ層を高精度に形成することができると共に、コストを低減して環境破壊を低減することができる無電解メッキ方法及びシリコンデバイスを提供する。
【解決手段】 被メッキ部材をメッキ液１１が充填されたメッキ槽１２に浸漬し、メッキ槽１２内でメッキ液１１の流れを作りながら、被メッキ部材のメッキ層を形成するメッキ領域のメッキ液１１の流れを実質的に停止させて、メッキ領域３のみにメッキ層を選択的に形成する。 （もっと読む）

【課題】 摺動部材において油溜まりの潤滑油の保持性を向上し、もって低摩擦性、耐磨耗性を向上すること。
【解決手段】 摺動面をめっき皮膜で被覆した摺動部材において、前記めっき皮膜には、独立した空洞部が分散状態にて内在されていると共に、前記めっき皮膜の表面付近に分布する前記空洞部が前記めっき皮膜表面に開口していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 固体潤滑材の剥離防止。
【解決手段】 摺動面をめっき皮膜で被覆した摺動部材において、前記めっき皮膜には空洞部が内在されていると共に前記めっき皮膜の表面に前記空洞部と連通するクラックが形成され、前記クラックと前記クラックに連通する前記空洞部に固体潤滑材が充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成形加工時に表面を全体的又は選択的に改質された成形品を製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂から成形品を製造する方法であって、前記成形品を成形するための成形部に、前記熱可塑性樹脂を溶融樹脂として導入する第１の導入工程と、前記成形部に、有機金属錯体が溶解した超臨界流体を導入する第２の導入工程と、前記溶融樹脂を固化し、金属元素を前記成形品の表面に配置させる工程とを有することを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】無電解銅めっき廃液を従来よりも簡単な設備で容易に処理し得る無電解銅めっき廃液の処理方法を提供する。
【解決手段】陽極１６と陰極１４とが配置された電解槽１０内に貯留した、キレート剤を含有する無電解銅めっき廃液１２ａを電解処理する際に、少なくとも陽極１６として導電性ダイヤモンド電極を用い、陽極１６と陰極１４との間に直流電流を流して、陽極１６側でキレート剤を電解酸化すると共に、廃液１２ａ中の銅イオンを陰極１４側に金属銅として析出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】射出成形加工時に表面を全体的又は選択的に改質された成形品を製造する方法及びを提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂を射出成形することによって成形品を製造する方法であって、金型内に前記熱可塑性樹脂を溶融樹脂として導入する第１の導入工程と、前記第１の導入工程の後又は同時に行われ、前記金型内に溶解物質が溶解した超臨界流体を導入する第２の導入工程と、前記溶融樹脂を固化し、前記溶解物質を前記成形品の表面に配置させる工程とを有することを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）