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国際特許分類[C23C4/04]の内容

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【課題】プラズマ中での使用により表面が劣化したプラズマ処理容器を新品同様に再生することを提供する。
【解決手段】基材の表面がアルミナ,希土類酸化物,ポリイミドまたはポリベンゾイミダゾールのうちのいずれかの溶射膜によって被覆されたプラズマ処理容器の内部の部材の,プラズマ中での使用により劣化した溶射膜に,前記溶射膜と同一の材料を再溶射する。 (もっと読む)


【課題】自己の耐焼付性・耐摩耗性に優れると共に相手攻撃性が低く、低コストなピストンリング用溶射皮膜を提供する。
【解決手段】MoとNiCr合金と炭化クロムからなる造粒焼結粉とMo造粒焼結粉とNiCr合金粉を混合し、溶射原料粉として形成した溶射皮膜はMoとNiCr合金からなる領域AとMoとNiCr合金と炭化クロムからなるサーメット領域Bが混在した組織でなるHVOF溶射皮膜は耐焼付性及び自己耐摩耗性に優れると共に相手材を摩耗させることが少ない。この溶射皮膜を外周摺動面に有するピストンリングも同様な摺動特性を得ることが出来る。 (もっと読む)


【解決手段】ハロゲン系ガスプラズマ雰囲気に曝される耐プラズマ部材であって、基材のプラズマに曝される部分の少なくとも一部に、イットリウム金属の溶射膜、又はイットリウム金属と酸化イットリウム及び/又はフッ化イットリウムとの混合溶射膜が形成されて、導電性が付与されたことを特徴とする導電性耐プラズマ部材。
【効果】本発明の耐食性の導電性耐プラズマ部材は、導電性があり、ハロゲン系腐食性ガス、あるいは、そのプラズマに対しての耐食性を向上させ、半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置に用いた際のプラズマエッチングによるパーティクル汚染を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】ベアリング面に対して使用される減摩コーティングを提供する。
【解決手段】ベアリングコーティングの形成方法は、基材の上に多孔質層26を堆積するステップと、多孔質層の細孔内に潤滑材料を堆積するステップと、を含む。多孔質層26および潤滑材料28は、基材の上にベアリングコーティング24を形成する。一実施例においては、ベアリングコーティング24は、約1〜20体積%の潤滑材料を含み、残りは多孔質層である。 (もっと読む)


この発明は、外周面およびその外周面上の溶射被膜を有する円筒状構造体を含む、金属また金属合金シート、例えばアルミニウム合金シート製造用の溶射被覆されたワークロールであって、該溶射被膜が約65〜約95重量パーセントの1種または2種以上の第VI族金属炭化物並びに約5〜約35重量%パーセントの、クロム、マンガン、鉄、コバルトおよびニッケルから選ばれる1種または2種以上の遷移金属を含む上記の溶射被覆ワークロールに関する。この発明は、また、金属また金属合金シート、例えばアルミニウム合金シートの製造用ワークロールを作成する方法、上記の溶射被覆ワークロールを用いて金属また金属合金シート、例えばアルミニウム合金シートを製造する方法、および金属また金属合金シート、例えばアルミニウム合金シートの製造用ワークロールの外周面を被覆するための溶射粉末にも関する。
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【課題】 本発明は、ガスタービンエンジンコンポーネント用の改良型耐摩耗性コーティングを提供する。
【解決手段】 本発明は、約50〜90重量%のチタンクロム炭窒化物および約10〜50重量%のニッケルコバルトを含むとともに、約700〜1000HVの範囲の硬度を示すガスタービンエンジンコンポーネント用コーティングを提供する。本発明のコーティング17は、HVOF法などの適宜な方法で、シールプレート面16Aまたはカーボンシール面12Aの少なくとも一方の少なくとも一部に塗布することができる。 (もっと読む)


【課題】ミクロンスケールのコーティング並びにナノスケールのコーティングの両方におけるコーティング組成物と比較して向上した特性によって特徴付けられるコーティング組成物を提供する。
【解決手段】分離した(discreet)ミクロンスケール粒子及びナノスケール粒子の分離した(discreet)アグロメレートを含む供給組成物の溶射により形成されるコーティング。 (もっと読む)


本発明は、硫化水素を硫黄および水素から製造する反応容器に関し、この場合この反応容器は、部分的または全体的に、反応混合物、その化合物、または元素に対して安定性の材料からなり、この場合この材料は、高い温度の場合でも安定性を維持する。 (もっと読む)


【課題】粉体の供給が容易で、均一なカーボン膜を作成するための溶射により適したフラーレン粒体、及びその製造方法、並びにこのフラーレン粒体を原料として用い、溶射法により成膜することを特徴とするカーボン膜、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】フラーレンの粒体は、粒径の下限が50μm以上、上限が800μm以下であり、かつ充填密度が0.7g/cm以上であることを特徴としている。 (もっと読む)


耐食性中性子吸収コーティングの形成方法であって、スプレー、堆積、スパッタリング、または溶接処理をしてスプレー材料、あるいは、堆積材料、あるいは、スパッタリング材料、あるいは溶接材料と、中性子吸収材料と、からなる複合材料を形成するステップを含む。スプレー材料、あるいは、堆積材料、あるいは、スパッタリング材料、あるいは溶接材料と、中性子吸収材料と、からなる複合材料を含む耐食性中性子吸収コーティングも開示されている。
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