【課題】流量制御機器の流量精度を常時監視しつつ、必要な場合には、再検定又は流量監視ユニット自体の自己診断を含む、より信頼性の高い流量検定を行う。
【解決手段】ガスを流量制御機器を経由してから所定のプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスラインに配設し、流量制御機器の前後におけるガス圧の下降又は上昇を測定することで流量制御機器の流量監視を行うガス流量監視システムにおいて、プロセスガスラインの内、選択した任意のプロセスガスラインの流量制御機器の上流側流路に備える第１流量監視ユニットと、プロセスチャンバの上流側流路から分岐する排出流路に備える第２流量監視ユニットと、第１流量監視ユニットによって流量制御機器の流量を常時監視するとともに、第１流量監視ユニットが複数回流量異常と検知した時に第２流量監視ユニットによって流量制御機器の流量異常の有無を再検定するよう指令する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 技術的な知識などを有さなくても、各需要地へのガス供給可能量などを把握できるようにする。
【解決手段】 ガスの供給元から各需要地に至るガスパイプラインの敷設状態を含む敷設情報を記憶する敷設データベース５と、供給元の輸送ガス圧力および需要地の必要ガス圧力を圧力パラメータとして入力するとともに、各需要地におけるガス需給量またはガスパイプラインの径の一方を選択パラメータとして入力する入力部２と、敷設データベース５に記憶された敷設情報と、入力部２で入力された圧力パラメータと選択パラメータとに基づいて、入力部２で入力されていないガス需給量またはガスパイプラインの径を算出するシミュレータ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】自動車産業にみられる環境のような苛酷な腐食環境に適合可能な流体継手と、この流体継手を組み込んだシステムとの実施形態を提供する。
【解決手段】一実施形態において、流体継手２００は、流体、例えば燃料を送給する流体通路２０８を備えた導電性要素２２０を有する。流体継手２００はまた、導電性要素２２０から電子が放出されるようにこの導電性要素２２０に結合された非導電性要素２１８を有する。非導電性要素２１８は、検出素子ハウジング２１４に設置される検出素子２１２を備えた検出装置２１０を露出させる開口を備えた空洞部２２４を有する。検出素子ハウジング２１４は、導電性要素２２０に対して密封されているが、検出素子２１２を流体通路２０８内の流体に対して露出させている。 （もっと読む）

【課題】継手の接続の適否を判別可能な接続判別装置を提供する。
【解決手段】移送部材で構成され、流体を移送する移送経路に用いられる継手２の接続側２ｂ及び受け側２ａの移送部材のそれぞれにはバーコードラベル１１が取り付けられ、各バーコードラベル１１を読取り装置にて読み取ることにより継手２の接続の適否が判別される流体移送システムに適用される接続判別装置１であって、継手２の緩みを検出する検出装置３を備えた。 （もっと読む）

【課題】流体の性状や移送経路の劣化や異物の付着により圧損が変動する場合であっても、適正に流量制御可能な流量制御装置、及び、流体制御装置が組み込まれている水処理装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置５０の第一制御部５１は、パラメータ値の一例である膜間差圧と記憶部５３が記憶する制御マップＭＰに基づいて求めた目標弁開度ＳＤで、移送管２０を流れる処理水の流量を調整する流量調整弁２１を制御する。第二制御部５２は、第一制御部５１により流量調整弁２１が目標弁開度ＳＤに制御されたときに、流量計５５で検知した実移送流量ＰＶと目標移送流量ＳＶの偏差が許容範囲を逸脱していると、実移送流量ＰＶが許容範囲に収束するように流量調整弁２１をインチング制御することで処理水の移送流量を適切に制御する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室の雰囲気を大容量でスループットを低下させることなく置換し、定常時などには精度良く処理ガスを導入して雰囲気を常に適切に管理することができる半導体処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室を備え、前記半導体処理室の雰囲気調整を行うため半導体処理室に接続された真空排気系および処理ガス導入系を有し、前記処理ガス導入系には、大容量マスフローコントローラと小容量マスフローコントローラとを備える。大容量のガスを供給する際には、大容量マスフローコントローラによって大容量ガスをスループットを低下させることなく導入でき、定常時などには、大流量マスフローコントローラの精度の悪い領域を使うことなく、小容量ガスの流量を精度良く制御して導入できる。 （もっと読む）

【課題】塗工装置に供給する塗液の送液開始時における塗液供給経路への気泡の混入を効率的に防止することができる塗液供給装置ならびに塗液供給方法を提案することである。
【解決手段】複数の塗液タンクを有し、各塗液タンクには、塗液供給配管と、加圧ガス供給配管と、気泡除去配管が、それぞれ接続手段によって気密に接続されており、各塗液供給配管は、塗液タンクの底部から塗液を吸い上げる構造を有し、それぞれ塗液供給バルブを経由した後、１本に合流し、塗液供給ポンプを経て塗工装置に接続されており、加圧ガス供給配管は、加圧ガス供給源からそれぞれ塗液タンク加圧バルブを経由し、塗液タンク圧力解放バルブを分岐した後、各塗液タンクに接続されており、気泡除去配管は各塗液供給配管の、塗液供給バルブの直前から分岐して、それぞれ気泡除去バルブを経由して他の塗液タンクに接続されていることを特徴とする塗液供給装置である。 （もっと読む）

【課題】可燃ガスと空気の比重の違いに起因して新設ガス管内の一部へ空気が残留する事態は発生し得ず、エアパージ具本体からの空気の排出及び可燃ガスへの置換作業は確実に行われるようにする。
【解決手段】既設ガス管２１と新設ガス管１７との接続部近傍の新設ガス管１７の開口部２２に可搬式ガスボンベ３４から新設ガス管１７内の攪拌具２の方向へ向かって可燃ガス２７を噴射する可燃ガス導入管３２が挿入され、更に、新設ガス管１７の開口部１８にはエアパージ具本体１を嵌め込み、垂直部分４には透明部分が設けられている略Ｌ字形をなした気体抽出筒３内には判別用球体７が段差部６に転動自在に配置され、屈曲部５には大径のダクト１６と開閉自在のシャッター弁１４が取り付けられたエアパージ具本体１とから、可燃ガス配管工事用エアパージ装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】燃料容器内の燃料ガスの温度分布を利用して、燃料容器内の上層部の温度の高い領域の燃料ガスを燃料供給ラインに選択的に供給してデバイスの温度低下を抑制する高圧燃料ガス放出システムを提供すること。
【解決手段】高圧燃料ガス放出システムＳは、燃料ガスを貯蔵する燃料容器Ｔと、燃料ガスを燃料とするガス燃料機器１と、燃料容器Ｔからの燃料ガスをガス燃料機器１へ供給する燃料供給ライン２と、前記燃料供給ライン２上に設けられたデバイス３と、を備えている。燃料容器Ｔは、この燃料容器Ｔ内の燃料ガスを導出する導出部Ｔａを有し、この導出部Ｔａは、燃料容器Ｔ内の燃料ガスの温度分布の高い領域に開口されている。 （もっと読む）