【課題】複数の基板を一括して容易に乾燥することができる乾燥ユニットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】乾燥部７０は、複数の基板Ｗを一括して乾燥させる乾燥ユニットである。乾燥部７０は、主として、乾燥チャンバ７１と、貯留槽７２と、排出管７１ａ、７２ａと、バルブ７１ｂ、７２ｂと、吐出ノズル８７（８７ａ、８７ｂ）と、を備えている。ＩＰＡによる純水の置換処理において、貯留槽７２に複数の基板Ｗが浸漬されると、吐出ノズル８７から乾燥チャンバ７１内にＩＰＡの蒸気が供給され、純水８０ａの液面８０ｂにＩＰＡの液膜８０ｃが形成される。続いて、貯留槽７２から純水８０ａが排出され、ＩＰＡの液膜８０ｃが、下降させられる。そして、各基板Ｗの基板面とＩＰＡの液膜８０ｃとが接触することによって、各基板Ｗに付着した純水が、ＩＰＡに置換される。 （もっと読む）

【課題】、真空圧と大気圧との圧力差によるエアブローで、大気を異なる方向かつ複数方向からワークに吹き付けて、該ワークを効率よく乾燥することができるワークの乾燥装置の提供を目的とする。
【解決手段】乾燥槽４１内を真空にする真空ポンプ１７と、乾燥槽４１と真空ポンプ１７とを結ぶ真空ライン４３に分岐接続された真空容器４６と、乾燥槽４１に大気開放弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９からの大気を異なる方向から流入する複数の大気流入口４８，４９，５０とを備え、乾燥槽４１内を真空にした後、大気開放弁Ｖ７，Ｖ８，Ｖ９から大気を流入し、エアブローによりワークを乾燥させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム用ブーツ６内の奥部、特に爪先部６２を素早く確実に乾燥させることができ、しかも、ブーツ６内の塵埃等を確実に外側へ排出することができるクリーンルーム用ブーツの清浄乾燥装置１０を提供すること。
【解決手段】給気パイプ２に靴底を上にして逆さに被せたブーツ６内へ清浄空気を送風してブーツ６をその清浄度を保って乾燥させる清浄乾燥装置において、給気パイプ２の上端に、ブーツ６の内底部６１を支持する一対の支持部３１と、ブーツ６の爪先部６２へ送風する爪先側凹部３２と、踵部６３へ送風する踵側凹部３３とから成る給気ノズル３を設け、給気パイプ２の外面の周方向における前記爪先側凹部の側にのみ、複数の凸条２１を設けた。 （もっと読む）

【課題】接触型または非接触型のセンサを用いることなく熱風や発熱体の温度調整が行え、かつ定期的なメンテナンスを行うことなく長期間使用できる熱風発生装置を提供することを課題とする。
【解決手段】一端部１ａに空気を排出する排出部２が形成され、他端部１ｂに外気を取り込む吸引口３が形成されたケース本体１の排出部２に、電熱線を内蔵した発熱体４が設けられ、この発熱体４の他端部１ｂ側にフロントケース５が形成されるとともに、このフロントケース５内に、吸引口３から空気を吸引して、排出部２から空気を排出させるための送風装置６が配設された熱風発生装置であって、発熱体４が内設された排出部２は、その断面積が送風装置６が配設されたフロントケース５の断面積よりも小さく形成されるとともに、フロントケース５の他端部１ｂ側には、送風装置６のモータ７の回転数を検知して、発熱体４の通電を制御する制御手段８が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】椎茸の凍結乾燥法を提供する。
【解決手段】椎茸に紫外線を２０分〜１時間照射してから、３０〜４０℃の熱風で１〜２時間椎茸を熱風乾燥させた後、−３５〜−４５℃で１０分〜１時間椎茸を急速凍結すると共に、前記急速凍結された椎茸を−３５〜−４５℃で４０〜５０×１０^−３ｔｏｒｒの減圧真空状態で２１〜４８時間減圧凍結乾燥させることを特徴とする椎茸の凍結乾燥法を提供することにより、乾燥時、生椎茸の外形をそのまま維持する共に、使用時、椎茸を水中で迅速に原形に復元させる凍結乾燥の利点と、紫外線照射によるビタミンＤの含量および椎茸の味と香りを高める熱風乾燥の効果とを同時に期待することができる。 （もっと読む）

【課題】液状版感光性樹脂凸版をスムーズに搬入することができる乾燥装置を提供する。
【解決手段】傾斜ガイドに沿って上方から吊り下げた状態でケーシング内に搬入され、同ケーシングの底面を滑らせながら略水平状態とされた液状版感光性樹脂凸版を、前記ケーシング内に備えられた乾燥手段によって乾燥処理する乾燥装置において、傾斜ガイドの上面には、前記液状版感光性樹脂凸版の搬入方向と略平行に複数本の凸部が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥器の乾燥能力を適正値に設定して設備コストを効果的に削減できるようにする。
【解決手段】乾燥器に導入される基材の搬送速度等のデータに基づいてこの塗工液を乾燥させるのに必要な熱量を演算する必要熱量演算手段３３と、乾燥用エアの吹付面積および境膜伝熱係数等のデータに基づいて乾燥器の乾燥能力を演算する乾燥能力演算手段３４とを備え、この乾燥能力演算手段３４において演算される乾燥器の乾燥能力を、上記基材に対する塗工液の塗工面積率が小さくなるのに応じて値が大きくなるように設定された乾燥能力補正係数を用いて補正するとともに、この補正後の乾燥能力と、上記必要熱量演算手段により演算された必要熱量とを比較することにより、上記乾燥器が必要な乾燥能力を有しているか否かを判別するように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の乾燥炉や焼却炉に設置するバーナーは専門の業者が供給しており、バーナーの燃焼用空気も温度制御用冷却空気も総て外気を導入するのが当然であり、疑問を持つ技術者もいなかった。
【解決手段】 化石燃料油が急騰し、乾燥用高温空気を維持するためのバーナー用燃料が高額になる。冬期の外気の温度低下が厳しくなると温度管理が容易でなくなり、外気５℃以下を数百度まで上げて維持するためにはバーナーの燃焼に頼るだけではなく、バーナーの燃焼温度を下げる為の制御用冷却風を温度管理して、可能な限り温度を上げて温風による冷却を行えばバーナーを限度一杯まで操作しなくても、温度維持が出来るようになれば上限で５０％燃料の節約ができ即、省エネルギーの球形熱風炉として提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】厨芥処理機において、排出容器への厨芥排出後、前記厨芥が排出容器外へ散乱すること。
【解決手段】厨芥を乾燥させる乾燥室１と、乾燥室１外へ前記厨芥を排出する排出口１２と、前記厨芥を排出口１２に搬送する撹拌手段（搬送手段）５と、排出口１２より排出された前記厨芥を収納すると共に開閉可能な排出容器蓋２９を有する排出容器２８と、排出容器蓋２９を動かして排出容器２８を閉塞する閉塞手段３０と、搬送手段５と閉塞手段３０を制御する制御手段（図示せず）を備え、前記制御手段は、前記厨芥の排出を終了した後、排出容器２８を閉塞するようにした。これにより、排出容器２８への厨芥排出後、前記厨芥が排出容器２８外へ散乱することを防ぐことができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 洗浄した袋やラップ等のリサイクルに供せられるものにおいて、再利用の為に洗浄した後、空気の通りを良くして乾燥を促進するため、袋を開いている状態やラップ等を広げている状態を保持するための乾燥用具を提供する。
【解決手段】 ラチェット爪により任意の角度で略扇状のラチェット８を係止することにより固定できる、少なくとも２本の略Ｌ字状の下部可動部１２から成り、略凹形状の支持腕部４に設けられた支持腕挟着部３および基材ベース５の中間ヒンジ１１で勝手違いに任意の位置で折り曲げて固定した略Ｌ字状の下部可動部１２に設置された下部袋押当部１３で袋内部を押し広げたり、ラップを広げたりすることにより、袋の開口部を下にして開いた状態やラップ等を広げている状態を保持しながら略凸形状の頭頂部１に付設されている磁石２により袋やラップ等を内側から金属面に挟着して固定する。 （もっと読む）