【課題】荷重を検出する検出部により確実且つ安定した検出結果を得ることができると共に、前記検出部の信頼性を向上させる。
【解決手段】ワークＷを把持可能なチャック装置１０に設けられた荷重検出部２０は、磁歪素子からなる検出素子６６と、前記検出素子６６の外周部位に非接触で設けられるコイル６８とを有し、前記検出素子６６の一端部が前記ワークＷを把持する第２フィンガ６０に保持される。そして、ワークＷを把持した際に、第２フィンガ６０に付与される荷重によって検出素子６６が押圧されて変形し、その変形量に伴って磁気特性が変化する。この検出素子６６の磁気変化を電圧変化としてコイル６８で検出し、コントローラ７０へと出力することにより、電圧変化に基づいて前記ワークＷに付与される荷重が検出される。 （もっと読む）

【課題】従来のセンサとは別の動作原理に基づくMEMS技術を応用した新たな高感度センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】磁性膜センサは、磁気歪を発生する磁性膜を有し、磁性膜に磁気歪を発生させる磁気歪構造を有している。磁気歪構造は、例えば磁性膜を湾曲させて磁気歪を発生させるように構成されている。また、磁気歪構造は、例えば表面に凹部が形成された凹部付絶縁層を設け、その凹部を跨ぐようにして磁性膜を形成することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】ロボットハンドやマニピュレータにおける任意物体把持や操りを正確に行ったり、または人とより親和性の高い物理的インタラクションをとることができるようにする。
【解決手段】センサ２１は、物体や人の指などが触れる入力部３１、入力部３１を支える固定部３２、および外部接続部３３により構成されている。入力部３１は、シリコンゲル材料のような粘弾性材料と希土類磁性粉の複合材料で構成され、外部からの荷重により容易に変形する応力磁界変換部４１と、ホール素子のような１以上の磁電変換素子などが配置される回路基板などで構成され、隣接する応力磁界変換部４１の表面から発生する磁束を検出し、電圧出力する磁界検出部４２により構成されている。本発明は、任意物体を把持して操ったり、移動させる動作を行うロボットハンドマニピュレータに適用できる。 （もっと読む）

【課題】信頼性に優れ、かつ小型化、ローコスト化も容易な磁気デバイスを提供する。
【解決手段】磁気デバイス１０は、弾性体からなる第一基材１１と、この第一基材１１を挟むように配される磁場検出手段１２および磁場印加手段１３とを備えている。第一基材１１は、圧力変化によって伸縮可能な弾性体によって構成され、例えば一面１１ａ側に磁場検出手段１２が、他面１１ｂ側に磁場印加手段１３が配される。磁場検出手段１２は、磁場の変動によって抵抗値などが変化する磁気素子であればよい。また、磁場印加手段１３は、第一基材１１を介して磁場検出手段１２に対して磁場を印加する。 （もっと読む）

本発明は、励磁周波数を有する交流励磁信号によって駆動されるトランスデューサ（１）からの出力信号を復調する方法及び装置に関する。このトランスデューサは測定対象の量を含む振幅変調出力信号（ｙ（ｔ））を生成する。本装置は、トランスデューサからの出力信号、及び励磁ユニットからの出力信号をサンプリングするサンプリングユニット（５，６，７）と、計算ユニット（８）とを備え、計算ユニット（８）は、励磁周波数における出力信号の振幅及び位相に関する情報を含む第１の複素数量（Ｙ）を、トランスデューサからの出力信号のサンプリング値に基づいて計算し、励磁周波数における励磁信号の振幅及び位相に関する情報を含む第２の複素数量（Ｕ，Ｉ）を、励磁信号のサンプリング値に基づいて計算し、前記第１の複素数量と前記第２の複素数量との除算の商として出力される複素数を生成し、復調出力信号（Ｏ_ｄ）を、出力される前記商に基づいて計算する。
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【課題】磁性層が圧縮する方向および引っ張られる方向の圧力を区別して測定し得る歪センサを提供する。
【解決手段】ガラス板などで形成されて可撓性を有する基板１１と、基板１１の表面に磁歪材料を用いて形成された磁性層１２と、磁性層１２に接続された一対の電極１３ａ，１３ｂとを備え、磁性層１２は、一様な磁場中で形成されることによって一軸性の磁気異方性が付与されて、電流方向に対する磁化容易軸の角度が４５°に規定されている。 （もっと読む）

本発明は測定装置に関し、測定装置は、荷重支持部材の上に形成される磁気弾性合金層を含み、この合金層は、荷重支持部材に加わる力によって生じる応力を測定するために設けられ、前記層の平均粒子サイズは１００ｎｍ〜１００００ｎｍの範囲であり、そして本発明は更に、合金層の形成方法に関する。
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【課題】構造が簡素で、小型化を実現でき、応力測定時に出力をリアルタイムで検出する必要のない感圧センサと、かかる感圧センサを用いた応力測定方法とを提供すること。
【解決手段】核形成型の保磁力機構を有する磁性粉末２（例えば、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｎ系粉末またはＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系粉末）と、磁性粉末２が充填される充填部材３とを備える感圧センサ１を用いる。この感圧センサ１を、対象物の応力測定部位に設置し、対象物が応力を受けた後で、磁性粉末２の磁気特性（例えば、保磁力）を測定する。 （もっと読む）

２つの直交する測定方向（５ａ、５ｂ）での応力の差を測定するようになっているセンサ（３）を備えている、機械的な力を測定するための装置（１）。この装置は、測定すべき力を受容するようになっている少なくとも１つの力受容部材（２ａ、２ｂ）を備えており、センサは、力受容部材にかかる力を測定するようになっている。装置は、管形状の変換器（４）をさらに備えており、この変換器（４）は、力を力受容部材からセンサに伝達し、力受容部材によって受容された力をセンサに適する力に変換するようになっている。力受容部材（２ａ、２ｂ）は、変換器（４）から半径方向に外方に延在するフランジを備えており、力受容部材（２ａ、２ｂ）及びセンサ（３）は、変換器の長手方向軸線に沿って互いに距離（ｌ）を置いて取り付けられている。
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【課題】磁歪の逆効果を利用した応力センサを実用化し、コンパクトで取扱いが容易な検出部を備え、廉価でロバスト性に優れた磁歪式応力センサを提供する。
【解決手段】板状の永久磁石２と、この永久磁石２から発生して磁性体８の外部を流れる磁束の変化を検知する磁気センサ３，４と、その集磁効果によって磁気センサ３，４の検出感度を向上させる板状のヨーク５を備えた応力検出部１を磁歪を有する磁性体８に取付け、上記磁気センサ３，４を磁性体８に近接配置された板状磁石２の端部近傍であると共にこの板状磁石２の反磁性体側に配置されたヨーク５の磁性体側であって、磁性体８と板状磁石２の間以外の位置に配設する。 （もっと読む）