【課題】 磁歪素子の寸法変化の阻害、特性低下を招くことなく、高温、高圧に対する耐性、防錆性を確保することのできるコーティングを、容易かつ確実に施すことのできる、磁歪素子の製造方法等を提供することを目的とする。
【解決手段】 磁歪素子１０を構成する磁歪素子本体１１の表面に、ポリパラキシリレンからなるコーティング層１２を形成するようにした。コーティング層１２は、ＣＶＤ法により、ガス化したポリパラキシリレン樹脂を磁歪素子本体１１の表面に吸着・重合させるようにし、磁歪素子本体１１に多数形成された空隙にも確実にポリパラキシリレン樹脂を入り込ませ、磁歪素子本体１１全体を、ピンホールを生ずることなく確実にコーティングする。 （もっと読む）

第１基板上に複数の環状電極が直列連結されるコイル部が形成され、第１基板と一定距離で平行に対向する第２基板上に環状電極と一対一対応する磁歪物質薄膜が形成され、コイル部と磁歪物質薄膜とがインダクターを構成し、外部の圧力によって磁歪物質薄膜の透磁率変化を誘導させてコイル部のインダクタンスを変化させるインダクターアレイ部と、インダクターアレイ部とＬＣ共振回路とを構成し、インダクターアレイ部で放電される磁気的エネルギーを電圧形態に変換させて保存するキャパシタと、を備える磁歪効果を利用した可変インダクター型のＭＥＭＳ圧力センサーである。これにより、本発明は、既存の圧抵抗型または静電容量型センサーに比べてさらに敏感であるので、解像度が優秀であり、半導体工程と互換可能なＭＥＭＳ工程技術を利用して製作されるので、小型化及び大量一括工程が可能であるので、生産コストが減らせる。 （もっと読む）

【課題】 ヒステリシス量を低減することでセンサの検出精度を向上させるとともに、連続的に検出を行うことができ、センサのコンパクト化、低コスト化を測ることのできるセンサ装置、応力の検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 センサ装置において、コイルに交流電流を流し、１０〔Ｏｅ〕以上、あるいは４０〔Ｏｅ〕以上等といった従来より大幅に高い駆動磁界下で検出を行うことにより、磁歪素子のヒステリシス量を低減する。また、磁歪素子とハウジングの間に磁歪素子の振動やノイズを減衰する減衰部材を配設するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 磁性体である軌道部材（被検知部）自体に残留磁束密度のバラツキが存在しているために、磁歪センサで得られる値が逆磁歪効果とこの残留磁束密度のバラツキとを含んだものとなることによって精度が低下するという点に着目し、残留磁束密度のバラツキをなくすことにより、検知精度を向上させたセンサ装置およびセンサ付き転がり軸受ユニットを提供する。
【解決手段】 センサ装置2は、回転側軌道部材4に設けられた被検知部の逆磁歪効果を検知する磁歪センサ8を有しており、被検知部とされる内輪17は、キュリー点以上の温度まで加熱された後、磁気シールドされた状態で冷却されることにより焼入れされている。 （もっと読む）

【課題】 車両にコンパクトに荷重センサを設置できて、車輪にかかる荷重を安定して検出できる荷重センサ付き車輪用軸受を提供する。
【解決手段】 複列の転走面４が内周面に形成された外方部材１と、この外方部材１の転走面４と対向する転走面５を形成した内方部材２とを設け、両転走面４，５間に複列の転動体３を介在させて、車体に対して車輪を回転自在に支持する。外方部材１の外径面における転動体列と対応する軸方向位置に、磁歪材からなる被検出部１５を設ける。この被検出部１５の磁歪変化を検出することで軸受に作用する荷重を検出する荷重センサ１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】 インダクタンスのヒステリシス特性が低減されたセンサを提供する。
【解決手段】 外圧を受けることにより軸方向に伸縮する筒状の磁歪素子１と、磁歪素子１の外周側に配置され、磁歪素子１の透磁率の変化をインダクタンスの変化として検出する検出コイル２と、磁歪素子１の内周側に配置され、磁歪素子１に磁界を印加する極異方性円筒磁石３とを備えるセンサ。極異方性円筒磁石３は、磁歪素子１の周方向に磁界を印加する。この磁界は、磁歪素子１の伸縮方向と直交する。 （もっと読む）

【課題】 高い信頼性を有するとともに、製造が容易な磁歪式荷重センサを提供する。
【解決手段】 磁歪式荷重センサは、上側ケーシング１０、下側ケーシング２０、コイル４０およびボビン５０を含む。上側ケーシング１０は、略釣鐘形状を有するとともに、上端部に孔部１０Ｈが形成され、下端部に切欠き部１０Ｗが形成されている。下側ケーシング２０は、円盤状部材２０ａおよび棒状部材２０ｂが一体形成された構造を有する。ボビン５０に導線が巻回されることにより、コイル４０が形成されている。ボビン５０には、リード線取り出し部５４が形成されている。ボビン５０の軸心に棒状部材２０ｂが挿入され、下側ケーシング２０上に上側ケーシング１０が被せられ接続される。これにより、上側ケーシング１０の切欠き部１０Ｗと、ボビン５０のリード線取り出し部５４とが嵌合する。棒状部材２０ｂの上端部は孔部１０Ｈから突出する。 （もっと読む）

【課題】温度検出素子やゲイン調整回路を特別に設けることなく、簡単な回路構成で増幅率の温度補償機能を発揮できる物理量検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、交流電圧を生成する交流電圧生成部１０と、ブリッジ回路部２０とを備えた物理量検出装置である。ブリッジ回路部２０は、測定対象となる物理量に応じてインピーダンスが変化する第１のセンサ素子と、物理量に応じてインピーダンスが変化する第２のセンサ素子を含み、第１および第２のセンサ素子は、温度上昇に伴って感度が増加する正の温度特性を有している。交流電圧生成部１０は、発振回路と、所定範囲内に振幅が制限された交流電圧を発振回路の出力信号に基づいて出力する振幅制限回路とを備えている。振幅制限回路は、温度上昇に伴って交流電圧の振幅を小さく変化させる負の温度特性を有しており、それによって第１および第２の出力点の間に生じる差動電圧の温度依存性が補償されている。 （もっと読む）

【課題】ブリッジ回路を備えた物理量検出装置において、１対のセンサ素子における特性ばらつきの影響を低減する。
【解決手段】交流電圧が供給される第１および第２の入力点Ｎ１、Ｎ２と、差動増幅回路に接続される第１および第２の出力点Ｓ１、Ｓ２を有するブリッジ回路を備え、第１の入力点Ｎ１と第１の出力点Ｓ１を電気的に接続する第１ブリッジアーム、第１の出力点Ｓ１と第２の入力点Ｎ２を電気的に接続する第２ブリッジアーム、第１の入力点Ｎ１と第２の出力点Ｓ２を電気的に接続する第３ブリッジアーム、第２の出力点Ｓ２と第２の入力点Ｎ２を電気的に接続する第４ブリッジアームを有している。第１、２ブリッジアームは、測定対象となる物理量に応じてインピーダンスが変化する。第１、２ブリッジアームが有する合計のインピーダンスは、第３、４のブリッジアームが有する合計のインピーダンスよりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で荷重を精密に測定することが可能な荷重センサを提供する。
【解決手段】 荷重入力部材１３からの下向きの荷重を受けて変形するハウジング２６の内部に収納した環状の磁歪材料２７に励磁コイル２８および検出コイル２９を巻き付けて荷重センサ２５を構成したので、ハウジング２６の変形に伴って変形する磁歪材料２７の透磁率の変化を検出コイル２９のインダクタンスの変化として取り出すことで、前記荷重の大きさを精度良く検出することができる。しかも部品点数が少ない簡単な構造であるため、製造に要する工数、時間およびコストを削減することができる。特に、ハウジング２６がスリットαを有するＣ字状断面に形成されており、荷重によりスリットαの幅が減少する方向にハウジング２６が変形したときに、限界値以上の荷重が入力するとスリットαが閉じてハウジング２６の最大変形量を規制するので、大荷重の入力によるハウジング２６や磁歪材料２７の損傷を未然に防止することができる。 （もっと読む）