【課題】ブリルアン散乱現象を利用した光センシング技術により、微細構造物である素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する測定方法及び制御方法を提供する。
【解決手段】素子上又は素子中に存在する対象物の物理量を測定する方法であって、光入射端と光出射端を有するとともに該光入射端から該光出射端まで連続した形状を有する光導波路であって、少なくとも一部が対象物に近接するよう素子上又は素子中に配置された光導波路を用意し、光入射端から光導波路内に光を照射するとともに、導波路内を伝搬した後に光出射端から出射された光を検出し、そして、光導波路中で発生するブリルアン散乱に起因した、検出光の特性変化に基づいて、対象物の物理量を間接的に測定する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な圧力伝達機構を用いる必要がなく、簡単な構造のセンサを用いて感度よく測定することができる水圧測定装置を提供する。
【解決手段】 光ファイバ１０の片側に光源１１、他方側に光検出部１２とを備え、光ファイバ１０の中間領域に水圧を検出する水圧センサ部１３が設けられ、水圧センサ部１３は、光ファイバで形成される感圧部１０ａと、周期の溝面が形成され、溝面を感圧部の光ファイバに対し軸方向に沿って当接させる棒状の溝付き部材１５と、感圧部１０ａが溝付き部材１５の溝面に圧接されるように固定するファイバ圧接部材１６とからなる光透過型のＬＰＦＧにより構成されるようにすることで、ＬＰＦＧによる特定波長の減衰量を水圧に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、定常・非定常流の速度分布に加え、圧力または温度分布を同時に供する計測法を提示し、速度分布と圧力または温度分布の相関関係を得ることも可能とすることにある。
【解決手段】本発明の圧力または温度分布を速度分布と同時に計測する方法は、リファレンスとなる発光と圧力または温度に反応するシグナルとなる２色発光を備えた発光物質を表面に塗布した多孔質粒子を流体に混合し、該流体の流れの場に励起光を照射し、リファレンスとシグナルの発光を波長分離して同時に画像計測し、その比により圧力または温度分布を速度分布と同時に計測するものとした。 （もっと読む）

【課題】損傷することなくスプレーの噴出状態を精度よく測定できるスプレー圧力測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバー２５０を保持する板ばねの第一ばね部材２６０の長手方向の中央に、該第一ばね部材２６０より小さいばね定数の板ばねの第二ばね部材２７０を、圧力伝達部２２２の変位に応じて弾性変形する状態に設ける。微小な圧力で、かつ電磁波ノイズが生じる環境でも、微小な圧力を精度良く測定できる。過大圧が加わって圧力伝達部２２２が大きく変位する状況でも、第二ばね部材２７０が大きく弾性変形し、光ファイバー２５０を保持する第一ばね部材２６０は比較的に小さい弾性変形量となる。光ファイバー２５０に急激に大きな引張力が作用することを防止でき、光ファイバー２５０が断線するなどの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構成でＳＮＲを高め、非定常な流体現象を精度良く把握することができる変動画像解析方法および変動画像解析システムを提供する。
【解決手段】圧力の変化によって表面の発光の強さが変化する、感圧塗料を塗った測定対象１の画像を経時的に連続して取得し、それと併行して、測定対象１の表面または近傍で、基準となる圧力を経時的に測定する。測定された基準圧力の時間変化に基づいて、所定の周波数を有する圧力変動をバンドパスフィルタにより抽出する。各画像を取得した時刻に基づいて、抽出された圧力変動周期における各画像の位相を求める。求めた各画像の位相に基づいて各画像を複数の位相帯に配分し、各位相帯に含まれる複数の画像を平均化して、各位相帯ごとの平均化画像を得る。 （もっと読む）

【課題】缶詰１の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 四本のスポット式レーザ変位センサ４１，４２，４３，４４から半導体レーザ光をスポット的に缶詰１の缶端部の搬送方向下流側表面に照射して、その反射光から内圧によって変形する部分での基準点からの距離を一箇所測定し、内圧によって変形しない部分での基準点からの距離を二箇計測し、内圧によって変形する部分の距離から内圧によって変形しない部分での距離をそれぞれ差し引いて内圧によって変形する部分に於ける二個の変位量を求め、その二個の変位量を平均して第１の平均変位量を算出し、さらに缶詰搬送方向の下流側でも上流側と同様に第２の平均変位量を算出し、内圧によって変形する部分に於ける各平均変位量からさらに平均値を算出し、その変位量の平均値が予め設定しておいた許容設定範囲内に有るか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】缶詰の内圧の良否をその缶詰の搬送過程で正確に判定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 搬送されている缶詰１の缶端部に於ける内圧によって変形する部分Ｂの変位を計測して缶詰１の内圧の良否を判定する缶詰内圧判定方法に於いて、帯状にレーザ光を缶端部に照射して、その缶端部の内圧によって変形する部分Ｂと、変形しない部分Ａ，Ｃとを同時に計測し、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｂの平均変位量を求め、そのレーザ光の向きを変えて上記と同様に計測して、その計測値に基づいて内圧によって変形する部分Ｅの他の平均変位量を求め、上記二つの平均変位量からさらに平均値を算出して、その平均値と予め設定した許容設定範囲とを比較して缶詰内圧の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】差圧を簡易に測定可能な圧力測定システムを提供する。
【解決手段】第１の波長帯域の蛍光及び第１の波長帯域とは異なる第２の波長帯域の蛍光を発する少なくとも一つの蛍光体２と、第１の圧力Ｐ_O1を受け、少なくとも第１の波長帯域の蛍光に第１の変調を与える第１の受圧素子３と、第２の圧力Ｐ_O2を受け、少なくとも第２の波長帯域の蛍光に第２の変調を与える第２の受圧素子４と、第１の変調を与えられた第１の波長帯域の蛍光及び第２の変調を与えられた第２の波長帯域の蛍光の結合光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、第１及び第２の圧力の差圧ΔＰを算出する差圧算出部３０２と、を備える圧力測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】光学式圧力センサなどの光学装置の検出精度および製造効率を高める。
【解決手段】光学式圧力センサ１は、シリコン基板２の一方の基板面に形成された光導波路３と、他方の基板面に形成された受圧室５と、この受圧室５の底部に形成されたダイアフラム６とを備える。つまり、１つのシリコン基板に光導波路３、受圧室５およびダイアフラム６が一体形成されている。これにより、受圧室５に流入した流体の圧力により、ダイアフラム６が上下方向などに変位すると、その変位が正確かつ直接的にブラッググレーティング４に伝達される。従って、流体の圧力を高精度に、かつ、応答性良く検出することができる。 （もっと読む）