【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を提供する。特に冷陰極形電離真空計の生産現場における容易な校正方法を提供する。
【解決手段】表示が正確な計測器１２と誤差をもつ計測器１の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され、両者のセンサーが同一雰囲気中に配置された状態で校正を行なう。また冷陰極形電離真空計１の校正をスポット式行う。 （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を求める。特に冷陰極形電離真空計は生産現場においても校正が容易な方法を求める。
【解決方法】表示が正確な計測器と誤差をもつ計測器の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され，両者のセンサーが同一雰囲気中にあれば誤差の校正は容易に行えた。また冷陰極形電離真空計の校正もスポット式で簡単に行えた。 （もっと読む）

【課題】真空計内部における皮膜形成を抑制すること。
【解決手段】真空処理装置にバルブ２を介して取り付けられ、該真空処理装置内の圧力を計測する冷陰極電離真空計１と、バルブ２の開閉制御を行う第１制御機器２１と、冷陰極電離真空計１と通信線及び電源用ケーブルを介して接続されるとともに第１制御機器２１と信号線を介して接続され、第１制御機器２１からバルブ２の開閉制御信号が入力される第２制御機器２２とを備え、バルブ２が開状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が開始されて計測が実施され、バルブ２が閉状態にあるときに、冷陰極電離真空計１の放電が停止されて計測が終了される真空計システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明における課題は、長期間使用しても放電の誘発を短時間で行うことができる冷陰極電離真空計を提供することにある。
【解決手段】本発明にかかる冷陰極電離真空計は、陽極２と、陽極２とともに放電空間９を形成するように配置された陰極１と、放電空間９内に配置され、陰極１と電気的に接続された放電開始補助電極２５とからなり、放電開始補助電極２５は、陽極２の軸長手方向と平行に配置された電極部２６を有して構成されている。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材として永久磁石を用い、この永久磁石をポールピースに配置することにより放電が生じ易い冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】この冷陰極電離真空計１は、一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、前記陰極の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、前記陽極と前記陰極との間の電界に直交する磁界を形成し、該陽極と該陰極との間に放電を起こす磁性手段４５ａ，４５ｂと、前記陰極の開口縁に着脱自在に嵌合され、前記開口を覆うポールピース１４と、前記ポールピース１４に配置された永久磁石４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】放電を誘発させるための部材の取り付けおよび交換を容易に行うことができ、その部材により放電が生じやすい冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端に開口が形成された筒状の陰極４３と、陰極４３の内部空間に配置された棒状の陽極４４と、陽極４４と陰極４３との間の電界に直交する磁界を形成し、陽極４４と陰極４３との間に放電を起こす磁性手段（磁石４５ａ及び磁石４５ｂ）と、陰極４３の開口縁に嵌合され、その開口を覆うポールピース１４とを備え、ポールピース１４には、ネジ１５が着脱自在に螺合され、そのネジ１５の頭部が、陽極４４の先端部と相対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能であるとともに、放電開始後に安定した放電が行われる冷陰極電離真空計、放電開始補助電極板及び真空処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る冷陰極電離真空計は、陽極２と、該陽極２と共に放電空間９を形成するように配置された陰極としての測定子容器１と、陽極２と測定子容器１とに電圧が印加される場合に、測定子容器１における電界よりも電界が集中するように構成された突起部２１とを備え、突起部２１がフローティングとなるように該突起部２１が放電空間９内に設けられている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】一端部が封止された放電空間９を有する測定子容器（陰極）１の内部に棒状の陽極２を配置し、この陽極２に放電開始補助電極５を取り付けた構造とする。放電開始補助電極５は、放電開始補助電極板７にカーボンナノチューブ層１０を形成することによって短時間で放電を誘発する。 （もっと読む）

【課題】より長寿命化を図ることができる冷陰極電離真空計を提供するものである。
【解決手段】アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有する測定子１と、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に電圧(Vd)を供給する電源１４、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に流れる電流(Id)を測定する電流計１５、及び電源１４を制御し、圧力(P)が低くなるにつれて電圧(Vd)を高くし、圧力(P)が高くなるにつれて電圧(Vd)を低くするように、前記圧力(P)の変化に追随して前記電圧(Vd)を絶えず調整して連続的に又は逐次変化させる制御回路３を備えた電子回路とを有する。 （もっと読む）