【課題】本発明は静圧空気軸受けがガイド面に非接触状態を維持しているか否かを監視することを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、静圧空気軸受け２２が非接触状態を維持しているか否かを監視する監視装置８０を有する。監視装置８０は、電圧検出回路８２と、判定回路８４と、報知手段８６とを有する。電圧検出回路８２は、複数の信号線６６を介して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３に電圧を印加し、信号線７６からの電圧と比較して静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差を検出する。判定回路８４は、静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との電位差に応じた検出信号に基づいて静圧空気軸受け２２_１〜２２_３と固定側電極６０との接触の有無を判定する。報知手段８６は、判定回路８４により静圧空気軸受け２２_１〜２２_３の何れかと固定側電極６０との接触が発生したと判定された場合に報知する。 （もっと読む）

【課題】 圧力−容量特性の直線性に優れた高精度の静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力センサ１は、ＡＴカット水晶板からなる上側基板２とガラス材料の下側基板３とを気密に接合することにより画定される真空チャンバ１８内に、上側基板のダイヤフラム４下面に形成した第１電極７と、下側基板上面に形成されかつ誘電体膜１０で被覆した第２電極９とから構成されるコンデンサを備える。外部の圧力でダイヤフラムが撓むことにより第１電極と誘電体膜とが接触し、その接触面積により変化するコンデンサの静電容量を検出して、圧力を測定する。下側基板上面の凹部１２を形成した領域に第２電極を設けることにより、第１電極と誘電体膜間の接触面積を圧力に関して直線的に増加させ、圧力−容量特性の直線性を改善する。 （もっと読む）

静電容量デジタル変調器を有する圧力トランスミッターはセンサー静電容量とリファレンス静電容量の比率に応じてアウトプットを生成する。トランスミッターはまた、センサー障害モード検出器を含む。センサー障害モード検出器は、アウトプット信号を生成し、センサー・キャパシタ及びリファレンス・キャパシタの障害モードを識別する。
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【課題】圧力検出器において、応力の集中し得る構造部分をなくし耐久性の向上を図る。
【解決手段】本発明のセンサ部３を備えた圧力検出器１の製造方法では、第１及び第２の基板１２、１４の構成材料として互いに焼成収縮率の等しい材料を適用するとともに、これらの基板間のギャップの非形成部分に選択的に有機溶剤３７を塗布して焼成処理を行うことで、焼成後、第１及び第２の基板１２、１４がそれぞれ個別に焼成収縮して有機溶剤３７の非塗布部分にギャップ７を形成することができる。すなわち、この製法によれば、焼成後、第１及び第２の基板１２、１４が各々ほぼ均一に焼成収縮によって変形することになるので、これらの基板間の接着部分に残留応力が生じることなどが抑制され、圧力検出器１の耐久性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】センサー信号に重畳されるノイズ成分を低減し好ましいセンサー信号を得ることができる液体吐出装置及び圧力検出方法を提供する。
【解決手段】第１の電極及び第２の電極を有し、第１の電極から第１のセンサー信号を出力し、第２の電極から第１のセンサー信号と極性が反転した第２のセンサー信号を出力する静電容量型圧力センサー５９を用いた圧力室の圧力検出において、圧力センサー５９のインピーダンス（静電容量）に基づいて圧力センサー５９から得られた第１のセンサー信号と第２のセンサー信号との間に生じる位相差を補償し、差動増幅処理部２１２で第１のセンサー信号及び第２のセンサー信号に差動増幅処理を施すように構成されるので、第１のセンサー信号及び第２のセンサー信号の同相ノイズが除去される。 （もっと読む）

本発明は、２つの平坦なハウジング部分（１，４）の間に配置されたダイヤフラム（２，４１）を備え、第１のハウジング部分（１）は基準真空室（１０）を形成しており、第２のハウジング部分（４）は測定されるべき媒体と接続するための接続手段（５）を備える測定真空室（９）を形成しており、ダイヤフラムの撓みを測定するための手段が設けられている測定セルに関するものであり、測定されるべき媒体に曝露されるダイヤフラム表面（４１ａ）は構造化された表面として構成されており、それによりダイヤフラムに堆積した測定媒体の材料による応力曲げが大幅に低減されるようになっている。
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【課題】ダイアフラムと基板との接合を確実に行なうことができるとともに、リード部材と電極との接続の信頼性を高める。
【解決手段】基板１０とダイアフラム２０とを接合してなる圧力センサのダイアフラム２０には、電極２２及び２３から外周部への電極引出部２２−１及び２３−１が形成されている。絶縁性接着剤２６はダイアフラム２０の外周部に塗布されており、前記電極引出部間にも絶縁性接着剤の引出部２６−１が塗布されている。基板１０の対応する部分にはオリフラ部が設けられており、そこにリード部材が導電性接着剤により接続される凹溝が設けられている。基板１０とダイアフラム２０とを接合し、前記凹溝にリード部材を接続するときに、前記電極引出部間に絶縁性接着剤の引出部２６−１が形成されているため、リード部材を接続する導電性接着剤による電極引出部間の短絡を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力の検出精度の低下を招くことなく静電容量の調整を行なうことが可能な圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置を提供する。
【解決手段】半導体素子３が搭載される絶縁基体１と、枠状のスペーサ１１を介して絶縁基体１の表面に対向する位置に配置されたダイアフラム２と、絶縁基体１の表面の前記枠状のスペーサ１１の内側に形成された円形の静電容量形成用の第１の電極７と、ダイアフラム２の表面の枠状のスペーサ１１の内側に第１の電極７に対向するように形成された静電容量形成用の第２の電極９とを備える圧力検出装置用パッケージであって、第１の電極７が、中心と外縁とを結ぶ複数のスリット１３により分割されている。 （もっと読む）

【課題】バイアス調整コンデンサ・アレイによるフロント・エンド・バイアス調整を不要にして、小型化及び低価格化を図る。
【解決手段】駆動信号発生器１２ａ、１２ｂは、感知コンデンサ１４ａ、１４ｂに励起駆動信号を印加する。駆動信号発生器は、コントローラ２８中のヌル・バイアス調整回路３０の制御の下で、システム・クロック発振器のクロック周波数の端数である励起周波数によって励起駆動信号のそれぞれの時間長を変化させて、異なる時間幅を有する励起駆動信号を発生する。これにより、２つの感知コンデンサの共通接続点１６の電位を調整することができ、零変位のときのヌル電位を所定値に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力検出器の製造の簡略化を図りつつ圧力の検出精度を向上させる。
【解決手段】本発明の圧力検出器１のセンサ部３は、第１の圧力検出用電極８が設けられた基板１５と、この基板１５上の第１の圧力検出用電極８との間でギャップ７を挟んで対向して配置される第２の圧力検出用電極９を備えたダイアフラム２と、基板１５とダイアフラム２との間に介在されているとともに、第１及び第２の圧力検出用電極８、９が互いに対向する領域部分に、内壁面２５ａが膨出した曲率面からなる開口部３７を有する絶縁性セラミックペーストの固化体で構成されたスペーサ層２５とを備える。 （もっと読む）