可変コンデンサー、可変コンデンサーおよびインダクターを含む微細加工された移植可能な圧力センサー、並びに関連する圧力測定および移植方法である。インダクターは固定のインダクタンスまたは可変のインダクタンスを有していてよい。可変コンデンサーおよび圧力センサーは、基板上に置かれチャンバーを規定する柔軟性のある部材を含む。コンデンサー要素は柔軟性のある部材から間接的に延びる。柔軟性のある部材の外表面にかけられる十分な流圧により、柔軟性のある部材は動きかつ変形し、これにより静電容量および／またはインダクタンスが変化する。結果として得られる共鳴周波数またはインピーダンスの変化を検出することができ、圧力、例えば、眼内圧を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】剛性容器内の流体の圧力を監視する方法及び装置を提供する。
【解決手段】好適な方法は、第１及び第２の導電性要素を分離する変形可能な弾性固体誘電体を備えるコンデンサの静電容量を監視することを含み、流体圧力の変化に応じた誘電体の圧縮または弛緩に伴って導電性要素間の距離とひいてはコンデンサの静電容量が変化するようにコンデンサが加圧された前記流体にさらされている。 （もっと読む）

静電容量圧力変換器のセンサインタフェースボードにわたって電力損失を実質的に一定に維持するためのシステム及び方法が記載される。短絡ダイヤフラムレベル検出器が、１つ又は複数の基準電極へのダイヤフラムの短絡を検出する。静電容量圧力変換器内の静電容量検出回路を駆動する発振器の近くに、電力散逸抵抗器が配置される。この抵抗器は、短絡が検出されると、電源に接続するように切り替えられ、それによって、ダイヤフラムが短絡すると、電流が抵抗器を通じて流れるようにし、発振器による電力損失を実質的に一定に維持するだけの十分な量だけ電力を加えることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】熱環境が変化しても良好な感度を保ち、破損しやすくなることを防止できる容量変化型圧力センサを提供すること。
【解決手段】基体３２と、受ける圧力に応じて変形するように厚みを薄くして形成した変形領域４２と、該変形領域と一体でその周囲を囲むようにされ、前記基体に対して固定される厚みの大きな支持部４３とを備える検出体４１と、 該検出体の前記変形領域の変形面と、前記基体とが互いに対向する対向面の前記基体側に形成された第１の電極４４と、前記第１の電極と所定の間隔を置いて前記対向面の前記変形面側に形成した第２の電極４６と、前記第１の電極と第２の電極の間に介在されるようにして、前記第１の電極の表面側に形成された誘電体膜２２とを含んでおり、前記変形領域を囲むようにして、前記支持部に形成された有底の溝５４，５５を備える。 （もっと読む）

【課題】キャリア信号と同じ周波数のノイズ成分の検出誤差への影響を排除し、検出精度に優れた容量型検出回路を提供する。
【解決手段】容量型検出回路１００に、少なくとも一方の容量が可変であって、直列的に接続された二つのキャパシタ１１１・１１２を備える検出部１１０と、キャリア信号を発生して検出部１１０に入力するキャリア信号発生部１２０と、キャリア信号発生部１２０により発生するキャリア信号のノイズ成分に対応するノイズ分圧を発生するノイズ分圧発生部１４０と、基準電圧およびノイズ分圧の和とキャリア信号との間の電圧により二つのキャパシタ１１１・１１２に蓄えられた電荷量の差を出力するＣ−Ｖ変換部１５０と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】気室の容量が大きい圧力センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】固定電極を有するプレートと、前記固定電極に対向する可動電極を有し、圧力変化によって変位するダイアフラムと、前記プレートの端部が固定され内側に第一気室を形成している第一内壁と、前記第一内壁に対して前記ダイアフラムの板厚方向に段差を形成し、内側に前記ダイアフラムの板面方向の断面積が前記第一気室より大きい第二気室を形成している第二内壁とを有する支持部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するとともに、応答性およびヒステリシス特性により優れた静電容量式センサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、可動電極側基板２と固定電極側基板３とに対して接着されている接着シート８と、少なくとも可動電極側基板２または固定電極側基板３の一方に対して接着されていないギャップ安定化部材７、もしくは少なくとも可動電極側基板２または固定電極側基板３の一方に対して、可動電極側基板２および固定電極側基板３と接着シート８との間の接着に働く接着力よりも弱い接着力で接着されているギャップ安定化部材７とからなっており、接着シート８とギャップ安定化部材７とは、スペーサ４に挟まれている可動電極側基板２または固定電極側基板３に対して、少なくともギャップ安定化部材７よりも近い位置に接着シート８を配置しない。 （もっと読む）

【課題】出力特性が非線形になることを防ぎ、脈波検出の誤差を小さくすることが可能な脈波測定装置を提供する。
【解決手段】脈波測定装置１００は、動脈内の圧力に応じて静電容量が変化する圧力検出用コンデンサＣＸと、反転入力端子が圧力検出用コンデンサＣＸの一端に接続され、非反転入力端子が基準電圧に接続される演算増幅器Ｇ１と、一端が演算増幅器Ｇ１の反転入力端子に接続され、他端が演算増幅器Ｇ１の出力に接続される電荷転送用コンデンサＣＦと、一端が演算増幅器Ｇ１の反転入力端子に接続されるスイッチＳＷ１と、一端がスイッチＳＷ１の他端に接続され、他端が演算増幅器Ｇ１の出力に接続され、スイッチＳＷ１の他端および演算増幅器Ｇ１の出力を接続するか、あるいはスイッチＳＷ１の他端および演算増幅器Ｇ１の出力を非接続としてスイッチＳＷ１の他端に所定電圧を印加する電圧設定部５４とを備える。 （もっと読む）

容量型圧力センサは、センサボディと、ネットに近く形づくられる焼結セラミックで作られるダイヤフラム部品と、で形成される。１つの形態では、差圧センサは、内部焼結セラミックダイヤフラムを２つのセル半部の間に捕えた、２つの焼結セラミックセル半部を有する。他の形態では、２つの並んだ焼結セラミックセル半部は、個々の焼結セラミックダイヤフラムを有し、２つのセル半部のチャンバが金属チューブによって連結される。 （もっと読む）

【課題】 電極同士のリークを生じるような誘電体膜の剥離を防止して安定して動作し得
る容量変化型圧力センサを提供すること。
【解決手段】 誘電体材料でなる基体３２と、該基体に重ねて固定されており、受ける圧
力に応じて変形するように厚みを薄くして形成した検出体４１と、該検出体４１の変形面
４２と、前記基体とが互いに対向する対向面の前記基体側に形成された第１の電極４４と
、前記第１の電極と所定の間隔を置いて前記対向面の前記変形面側に形成した第２の電極
４６と、前記第１の電極と第２の電極の間に介在されるようにして、前記第１の電極の表
面側に形成された誘電体膜２２とを含んでおり、前記第１の電極と前記誘電体膜との間に
接着補助層２１を設けた。 （もっと読む）