【課題】被測定媒体が感圧ダイアフラムに付着して堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、センサダイアフラム３２０の一面は被測定媒体を導入する圧力導入室側とし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側とし、センサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁がセンサダイアフラムのコンデンサ室側の周縁よりも圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て外側に位置し、かつセンサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁のコンデンサ室側の周縁に対する圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見た広がり幅が、センサダイアフラム３２０の半径の１％〜１５％となっている。 （もっと読む）

【課題】 静電容量型隔膜真空計が設置される測定環境、すなわち大気圧及び温度変動に対する静電容量型隔膜真空計の出力変動を低減させ、より高精度で再現性よく圧力を測定すること。
【解決手段】 圧力が測定される内部領域に面して配置されるダイヤフラムと、このダイヤフラムと対向して配置される検出電極とを有し、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を測定することで内部領域の圧力を測定する静電容量型隔膜真空計は、静電容量型隔膜真空計が設置されている外部の温度を測定する温度測定部と気圧を測定する気圧測定部とを備え、この測定結果に基づき、ダイヤフラムと検出電極との間に生じる静電容量の変化量を補正して、内部領域の圧力として出力する。 （もっと読む）

本明細書では、容量式圧力センサのための感知要素アセンブリと、付加的サイズを伴うことなく、感度を向上させたアセンブリを生成するための方法とについて説明される。感知要素アセンブリおよび方法は、偏心型の楕円形に成形された中心電極と、中心電極の周囲の少なくとも１つの楕円形環状電極と、接地電極とを製作するステップと、層をともに融合し、感度を最適化するための方法とを含む。方法は、基板上にＣＰおよびＣＲ電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、基板の上面にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、基板をアセンブルするステップと、共通／接地電極を印刷し、電極を乾燥および焼成し、ダイヤフラム上にフリットを印刷し、フリットを乾燥させることによって、ダイヤフラムをアセンブルするステップとを含む。
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【課題】熱遷移現象を考慮して、測定精度を向上させた圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサは、チャンバＢ内の気体の圧力を連通管Ｃを介して連通されたチャンバＡの受圧部１で検出する。チャンバＢ内の温度を入力するチャンバ温度センサ７と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３とを備え、チャンバＢ内の温度と受圧部１の温度とに基づいて、受圧部１で検出された圧力を補正してチャンバＢ内の圧力を得る補正処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】加熱手段の制御を適宜最適化することにより測定性能を高めた圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を外部電源６から供給された電力により加熱するヒータ２と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３と、受圧部温度センサ３によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するヒータ制御回路４とを備える圧力センサであって、外部電源６の電圧を検出する電源電圧検出回路２６と、電源電圧検出回路２６によって検出された電圧に応じたＰＩＤパラメータを算出するコントローラ５とを備える。ヒータ制御回路４は、コントローラ５によって算出されたＰＩＤパラメータに基づくフィードバック制御則によりヒータ２の加熱量を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ確実に測定圧力の取り込みタイミングを指示することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力を検出する受圧部１と、受圧部１を加熱するヒータ２と、受圧部１の温度を検出する受圧部温度センサ３と、受圧部温度センサ３によって検出された温度が予め設定された設定温度となるようにヒータ２の加熱量を制御するヒータ制御回路４とを備える圧力センサであって、受圧部温度センサ３の検出温度と前記設定温度との偏差が第１閾値以下であるときに、受圧部１の圧力検出値を出力端子５０から出力し、当該偏差が第１閾値より大きいときには、予め定められた第１信号を出力する。 （もっと読む）

工業用プロセストランスミッタ１２用の容量型圧力センサ３０は、ハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）、センサダイアフラム５８、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）、および充填流体を備える。ハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）は、内部空洞７８、およびハウジング（６２Ａおよび６２Ｂ）の外側から内部空洞７８まで延びる通路を含む。センサダイアフラム５８は、内部空洞７８内において、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）と対向して配置される。充填流体は、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）とセンサダイアフラム５８との間におけるキャパシタンスを調節するために、通路からの圧力をセンサダイアフラム５８に伝達するように内部空洞７８を占有する。充填流体は、約３．５よりも高い誘電率を有する。種々の実施形態では、圧力センサ３０は、約３．１７５センチメートル（〜１．２５インチ）よりも短い直径を有し、電極（６０Ａまたは６０Ｂ）は、約１センチメートル（〜０．４インチ）よりも短い直径を有し、圧力センサ３０は、約５〜約１０ピコファラッドのキャパシタンスを有し、充填流体は、液体添加物を有する油圧作動油を含んで構成される。 （もっと読む）

本発明は、導電性ナノ薄膜およびこれを利用した微細電気機械システムセンサーに関するものであり、より詳しくは、高分子電解質膜と炭素ナノチューブ層が積層して形成される導電性ナノ薄膜およびこれを利用した微細電気機械システムセンサーに関するものである。

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【課題】熱遷移効果が反映した圧力測定を行なう技術を提供する。
【解決手段】真空槽１１と、枝管１４を介して真空槽１１に接続された隔膜真空計１３にそれぞれ第一、第二の温度計２１、２２を取り付け、第一、第二の温度計２１、２２の測定結果と隔膜真空計１３の測定結果を圧力測定装置２０に入力させる。圧力測定装置２０の内部には、真空槽１１の温度と隔膜真空計１３の温度と隔膜真空計１３の測定値と、真空槽１１の内部圧力との関係が記憶されており、圧力測定装置２０は入力された測定結果から真空槽１１の内部圧力を求め、表示装置２８によって表示する。熱遷移効果が反映された圧力測定を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 高温用静電容量式静圧／動圧センサを提供する。
【解決手段】 本発明は、ガスタービン・エンジンで用いるような高温用途のための静電容量式圧力プロ−ブに関する。本発明の静電容量式プロ−ブ又は圧力センサ１０は、特に、圧力ポート３６を有する内部の検出チャンバー４２と、検出電極６２に隣接して位置する内部の基準チャンバー５２とを画定するセンサ・ハウジング２０を含む。基準チャンバー５２は、ヘインズ２３０アロイから作られた可撓性ダイヤフラム４４により検出チャンバー４２から分離され、検出チャンバー４２内に加えられる圧力に応じたダイヤフラム４４の撓みが、検出電極６２により検出される静電容量値の変化に対応する。 （もっと読む）