【課題】高温の用途における静電容量式圧力プローブまたはセンサを提供する。
【解決手段】静電容量式圧力センサ１００はプローブ筐体の内部検出チャンバ３０内に配設され、かつ、その中央部分上に形成される第１の電極５２を有する、サファイヤダイアフラム４２を含む。ダイアフラム４２の中央部分および第１の電極５２は、内部検出チャンバ３０内で、かつ圧力センサ１００によって、遭遇する圧力変動に反応して撓むように適合および構成される。その上に形成される第２の電極５４を有するサファイヤ基板４６は、サファイヤ積層を形成し、その間に基準チャンバ８０を画定するように、その周辺を中心として、サファイヤダイアフラム４２に融合される。サファイヤダイアフラム４２のサファイヤ基板４６への融合前に、全ての接触表面は、結合積層を形成し、融合に必要な温度を低下させるように、化学処理され、プラズマ励起を用いて準備される。 （もっと読む）

【課題】固定電極や封止ガラスなどの集合体であるセンサ本体の熱膨張率及びフランジ部などの固定用部材の熱膨張率により生じる熱応力によって、ダイアフラムが変形することを防止する。
【解決手段】固定電極２１が固定されたセンサ本体２と、センサ本体２との間で密閉空間を形成するダイアフラム構造体３と、ダイアフラム構造体３の受圧部を囲むように接合されて受圧部に流体を導く固定用部材４とを備え、ダイアフラム構造体３が、平板状のダイアフラム本体３１と、ダイアフラム本体３１の周縁部両側に設けられた熱膨張率が既知である第１のリング部材３２及び第２のリング部材３３とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造が比較的容易である頑丈な密封流体圧力感知装置を提供する。
【解決手段】支持構造１２ａと当該支持構造に取り付けられたダイアフラム１２ｂを有する圧力感知変換器１２を含み、ダイアフラムは、流体接触面を有する。ハウジング１６は、底壁と当該底壁から上方に延在するハウジング側壁１６ｆによって規定された変換器受け取り空洞を有する。底壁には、流体圧力受け取り窪みが形成され。流体圧力ポート１６ｃは、流体圧力受け取り窪みに連通するようにハウジング内に形成される。ダイアフラムは、支持構造と流体圧力受け取り窪みとの間に位置決めされ、支持構造の側壁の周囲のシール１８の材料は、圧力感知変換器をハウジング内に固定し、かつ密閉シールを提供する。 （もっと読む）

【課題】静電容量型圧力センサを小径化する。
【解決手段】ダイアフラムが接合される本体部２１と、本体部２１に形成された電極固定孔２１１に挿入される固定電極２２と、小径部２３ａ及び大径部２３ｃを有するガード電極２３と、ガード電極２３の大径部２３ｃ及び固定電極２２を連結する第１封止ガラス２４と、ガード電極２３の小径部２３ａ及び本体部２１を連結する第２封止ガラス２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】利用可能な様式で再現性よく製造され得る、単純な構造体を有するキャパシタンスダイアフラムゲージを提供する。
【解決手段】圧力を測定するためのキャパシタンスダイアフラムゲージ１００は、シム１２２または他の隆起外周部分を介して本体構造体１１０に設置された、低いヒステリシス特徴を有するフラッシュダイアフラム１２０を備える。 （もっと読む）

（ａ）共通電極と（ｂ）中心電極およびリング電極を含む電極構造体とを含むダイアフラムであって、（ｉ）ダイアフラムの両側の圧力が同一であるときのゼロ位置と（ｉｉ）ダイアフラムに対して測定可能な最大圧力差が与えられたときの最大の差動位置との間で移動可能なダイアフラムと、ダイアフラムが電極構造体に対して拘束され、共通電極が、中心電極およびリング電極から間隔を置かれ、マノメータのアライメント軸に対して中心電極およびリング電極と軸方向に位置合わせされるようにダイアフラムを支持するように配置された支持構造体とを備える改善された容量型マノメータであって、電極構造体が、ダイアフラムに対して、アライメント軸のまわりに角度間隔を置いて配置された少なくとも３つのクランプ位置で固定され、それぞれの適切な平面内に定義された角度がダイアフラムの拘束点を含み、ゼロ位置におけるダイアフラムの平面に対するそれぞれのクランプ位置の点が、電極ディスクの支持高さの変化を低減し、ダイアフラムと電極構造体の間に、より小さな間隙おとび改善された安定性を与えるように６０°と９０°の間にある改善された容量型マノメータ。複数のタブを含むスペーサリングと、アライメント軸のまわりに複数の等角度間隔で配置されたクランプ位置を定義するように、また、スペーサによって誘起される偶発的な半径方向せん断力、ならびに再現性および安定性に悪影響を与える恐れがある後続の考えられるスティックスリップの条件の可能性を解消するように、電極構造体を、スペーサリングに対してタブのそれぞれの位置でクランプするように構成されたクランプとを含むことにより、さらなる改善がもたらされる。 （もっと読む）

【課題】静電容量圧力センサーのためのバッフルを提供する。
【解決手段】バッフル３０が、小さな容量を有するように、静電容量圧力センサー１０の近傍に配置される。このバッフルは高縦横比の径方向通路４４を創り出し、ダイアフラム１６に到達する前の分子の移動を創り出す。この通路は、汚染物がダイアフラムに到達する前に、バッフルまたはハウジング１２に付着することを推進する。センサーは更に、導入部１４とバッフルの間に粒子のトラップ２８を含む。 （もっと読む）

本明細書には、デバイスに印加される圧力を検出する方法及びデバイスが説明されている。一実施形態において、前記デバイスは、第一の層と、前記第一の層の下部に位置する第二の層とを備える。前記第一の層及び前記第二の層はキャビティを形成する。前記デバイスは、前記キャビティ内に配置された複数のディスプレイ素子をさらに備える。前記デバイスは、前記第一の層及び前記第二の層の間の相対的な運動を測定するように構成されたセンサをさらに備える。他の一実施形態において、前記デバイスは音波を検出しうる。
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【課題】高い感度を有する小型の圧力センサーを提供すること。
【解決手段】容器と、この容器の一部をなし、外部からの圧力により撓むように構成されたダイヤフラムと、このダイヤフラムと隙間を介して対向するように当該ダイヤフラムに固定されると共にその一面側及び他面側に励振電極が形成され、当該ダイヤフラムの撓みに応じて応力が発生する圧電振動子と、この圧電振動子の励振電極と隙間を介して対向するようにダイヤフラムに設けられ、当該励振電極との間で、圧電振動子に対して直列に接続されるコンデンサを形成するために補助電極と、を備えるように圧力センサーを構成する。このような構成により、ダイヤフラムに加わる応力の変化分に対する圧電振動子の発振周波数の変化分を大きくすることができるので、圧力センサーの感度を高めることができる。 （もっと読む）