【課題】正確に圧力を検出することができる圧力センサ用容器、および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ用容器は、セラミックスからなる基体１と、セラミックスからなり、圧力が作用することによって変位するダイアフラム２と、基体１とダイアフラム２との間に設けられた感圧室１ａとを備え、基体１とダイアフラム２とは、感圧室１ａの周囲において、基体１およびダイアフラム２の少なくとも１つから溶出されたガラス質成分３ａ（接合部３）を介して全周にわたって連続的に接合されている。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を精度良く検出することができる圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】 内部空間１ａを有する焼結体から成る絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面に設けられた上側電極３および下側電極４とを備え、上面および下面の少なくとも一方に可撓領域１ｅを有し、可撓領域１ｅの外表面に、平面視で上側電極３または下側電極４を覆うように形成されたシールド層５と、内部空間１ａならびに上側電極３および下側電極４を囲むように配置され、シールド層５とは電気的に独立し、電極用導体層２の少なくとも１つに電気的に接続されたシールド導体６と、絶縁基体１の表面に形成されたシールド層５と電極用導体層２とを電気的に接続するための接続部７とを備えている圧力検出装置用基体。シールド層の表面へめっき層が被着されず、ノイズを遮蔽することが可能な圧力検出精度の高い圧力検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】隔膜表面での水蒸気の氷結を防止しつつ、タンク内の水蒸気圧を高精度に測定することができる簡単な構成の圧力センサを提供する。
【解決手段】一定圧力に保たれた第一室１１と、真空チャンバに水蒸気を供給するタンクに連通する第二室１２と、第一室１１と第二室１２とを隔絶する隔膜１３とを備え、タンク内の水蒸気変動に応じて生ずる第一室１１と第二室１２との間の圧力差に応じた隔膜１３の変位量に基づいて、タンク内の水蒸気圧を測定する圧力センサ１において、第二室１２からタンクへと通じる連通路１７中に発熱体１８を設け、発熱体１８からの輻射熱が隔膜１３に達しないように隔膜１３から発熱体１８を離間させた。 （もっと読む）

【課題】 真空計の取り付け条件によらず、高精度の圧力測定が可能な静電容量型隔膜真空計を提供する。
【解決手段】 静電容量型隔膜真空計１００の傾斜角を検出する傾斜角センサ１４を具備する。また、静電容量型隔膜真空計１００を真空装置２に対して第一の傾斜角（＋９０度）、第二の傾斜角（０度）及び第三の傾斜角（−９０度）で取り付けた場合の静電容量圧力依存性を記憶部に記憶させておく。そして、傾斜角センサ１４で検出された傾斜角情報に基づいて圧力測定値は補正され、静電容量−圧力特性データは第一乃至第三の傾斜角において実際に測定され、記憶される。 （もっと読む）

【課題】二重電極静電容量型ダイアフラムセンサ（ＣＤＳ）のようなセンシング素子に対する電気インターフェースの性能の改善及びコストの軽減を行う。
【解決手段】励磁電圧と、しっかりと結合された差分用電流変成器（１１１）とが差分静電容量圧力計に結合されて差分電流を発生する。この差分電流は、効果的に差分電流を統合する電荷増幅器（１１２）の低インピーダンス加算ノードに入力される。電流変成器（１１１）及び増幅器（１１２）を取り囲む遮蔽構造体（１１５）は励磁電圧電位に駆動される。（励磁信号に対応する）ガード電位を出力信号から除去するため、励磁電圧源（１１０）に結合されたコモンモード変成器（１１３）を電荷増幅器（１１２）の出力が通過する。次に、同期検出器（１１４）が、結果として生じた信号を、センサ（１０）の差分静電容量を示すＤＣレベルに変換する。 （もっと読む）

【課題】微小な容量値の差を精度よく検出することができる検出回路を提供する。
【解決手段】センサの第１の容量と第２の容量との容量値の差を検出する検出回路は、該第１の容量に応じた周波数の第１の発振信号を生成する第１の発振器と、該第２の容量に応じた周波数の第２の発振信号を生成する第２の発振器と、該第１の発振器に結合され、該第１の発振信号に応じた第１のカウント値を出力する第１のカウンタと、該第２の発振器に結合され、該第２の発振信号に応じた第２のカウント値を出力する第２のカウンタと、該第１のカウンタと該第２のカウンタとに結合され、該第１のカウント値と該第２のカウント値とに基づいて該容量値の差を示す信号を出力する演算回路を含む。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を感度良く検出することができる圧力検出装置用基体および圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】 内部空間１ａを有する焼結体から成る絶縁基体１と、内部空間１ａの上面および下面のそれぞれに設けられた互いに対向する上側電極３および下側電極４とを備え、上面および前記下面の少なくとも一方に、外部から圧力が加わることにより撓む可撓領域１ｅを有し、内部空間１ａから絶縁基体１の外部に通じた流体の通路５が形成されているとともに、面積が内部空間１ａの上面または下面の面積よりも小さい下側電極４または上側電極３は、その表面が焼結体から成る絶縁層６により被覆されている圧力検出装置用基体。通路が封止材で塞がれて内部空間が気密封止されることで圧力検出装置となる。作製工程による感度ばらつきが抑えられた、感度の高い圧力検出装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】支持構造体４とダイアフラム３との溶接時における熱応力による歪みを可及的に小さくするとともに、支持構造体４とダイアフラム３間の剛性を大きくして、固定電極２及びダイアフラム３間の距離の変化を可及的に小さくして、圧力センサ１の出力を安定させる。
【解決手段】圧力により変位するダイアフラム３と固定電極２との間の静電容量の変化を検出して圧力を測定する静電容量型圧力センサ１であって、前記固定電極２と前記ダイアフラム３との対向面の距離を規定する凹部４１を有し、前記固定電極２の電極面が、前記凹部４１の底面４１１と略同一平面上に設けられ、前記ダイアフラム３が、前記凹部４１を覆うように前記凹部４１の開口周縁部４０１に設けられる一体成型された支持構造体４を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の接合時に高精度のギャップ高さを実現し、高信頼性の電子部品パッケージを提供する。
【解決手段】静電容量の測定用電極１４，１６は、枠部１９の傾斜面２１ａと接合部１５によりカバー基板１２と装置基板１１の当接で形成されたギャップ高さの空隙を介し、相対して形成されることで静電容量の測定が可能となる。装置基板１１の接合部１５とカバー基板１２の傾斜面２１ａに形成の斜面接合部１７は相対部位に形成され、装置基板１１のギャップ高さ規制面と平行面２１ｂとが当接し、かつ接合部１５が接合時の荷重で変形して傾斜部を形成し、装置基板１１とカバー基板１２が接合される。これにより、ギャップ高さが正確に規制でき、さらに、装置基板とカバー基板のギャップの応力変動が抑制されて、高品質、高信頼性の電子部品パッケージを実現できる。 （もっと読む）

【課題】被測定媒体が感圧ダイアフラムに付着して堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】被測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップを備えた静電容量型圧力センサにおいて、センサダイアフラム３２０の一面は被測定媒体を導入する圧力導入室側とし、他面はコンデンサ部を形成するコンデンサ室側とし、センサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁がセンサダイアフラムのコンデンサ室側の周縁よりも圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見て外側に位置し、かつセンサダイアフラム３２０の圧力導入室側の周縁のコンデンサ室側の周縁に対する圧力導入室側の被測定媒体導入方向から見た広がり幅が、センサダイアフラム３２０の半径の１％〜１５％となっている。 （もっと読む）