【課題】 環境温度の影響を受けにくく、センサ全体の温度を均一かつ一定に保つことが容易な静電容量型隔膜式圧力センサを提供すること。
【解決手段】 対向配置された固定電極とダイヤフラムを有し、ダイヤフラムが外力によって変形され、この変形に応じて変化する固定電極とダイヤフラムの間の静電容量によって圧力を求める静電容量型隔膜式圧力センサは、センサの本体を囲う外側ケースと、外側ケースの内面に配置されたヒータと、外側ケースの内部の温度を測定するための温度センサと、温度センサにより得た温度信号を所定値と比較し、比較結果に基づいてヒータを駆動するための駆動信号を出力する温度調整回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】集積化が容易で超低消費電力であり、小型化に適した可変容量計測装置を提供する。
【解決手段】ＳＡＲ型Ａ／Ｄコンバータを応用し、電圧の代わりに電荷を計測する。初期段階の充電の動作が、ＳＡＲ型Ａ／Ｄコンバータとは異なり、容量型圧力センサだけ充電する。静電容量の変化を適格に検出するため、容量オフセットキャンセル回路を設ける。 （もっと読む）

【課題】圧力が掛かった際に柔軟に変形して電極間距離が変化する静電容量型圧力センサを提供することである。
【解決手段】電極３，４間に誘電体２を備え、前記誘電体２の一部又は全部を、膨張又は収縮が可能な気泡構造体９とした。静電容量型圧力センサ１に圧力が作用すると、誘電体２の気泡構造体９が収縮又は膨張し、電極３，４間の距離が変化して静電容量が変化する。静電容量と圧力の大きさとは予め関連付けられており、静電容量が変化することをもって圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】現在使用されているものよりも高い帯域幅を有する、感度の高い圧力センサを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１０２を包含し、ダイアフラムは剛性の外側部分と、ダイアフラムの第１の側と第２の側との間の圧力差に応じて変位する変位可能な内側部分とを有し、ダイアフラムに近接して配置されており、ダイアフラムの内側部分の変位をセンシングするセンサ１０４を包含し、センサと接続されており、ダイアフラムの変位から圧力差を求める監視制御システム１０６を包含する。 （もっと読む）

圧力センサーは基体部（1）と弾性測定膜（2）を含み、弾性測定膜（2）は基体部（1）の表面に接合し、エッジで密封された測定室（3）を形成する。基体部（1）および／または測定膜（2）は、セラミック、ガラス、もしくは単結晶材料を含む。測定膜は基体部（2）の表面に面する少なくとも一つの第一の電極（6）を持ち、基体部（1）の表面は測定膜（2）の表面に面する少なくとも一つの第二の電極（5）を持つ。第一の電極と第二の電極の間の静電容量は測定される圧力の尺度である。さらに第一の電極と第二の電極のうちの少なくとも一方は、金属とガラスを含む導電層を持ち、金属は少なくとも二つの貴金属元素を含む。
（もっと読む）

マノメータについて出力値のドリフト予測を行う、ソフトウェア実施態様を含む、システム、方法、および、装置を開示する。以前のゼロ調整イベントに関連する履歴（例えば、タイムスタンプ）に基づいて、点検、交換、および／またはゼロ調整イベントが必要となると予測または判断したときに、容量マノメータにまたは容量マノメータに関して、信号またはその他の指示を供給することができる。以前に記録したタイムスタンプを、適した関数の曲線に当てはめて、マノメータに対する今後の保守、較正、および／または交換イベントを計算または予測することができる。このような信号または指示は、画面上の指示として生成することができ、更に、ディジタル通信リンクまたはシステムを通じて、マノメータの質問時に入手可能にすることもできる。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて小型化が可能な静電型トランスデューサを提供する。
【解決手段】静電型トランスデューサ１は、支持基板１０と、支持基板１０の一表面側に形成された固定板部２０と、固定板部２０の厚み方向の一表面側に対向配置され固定板部２０の厚み方向に変位可能なばね構造部４０を介して固定板部２０に支持された可動板部３０とを備える。固定板部２０には、当該固定板部２０と可動板部３０との間の空間６０に連通する複数の穴部２１が設けられており、固定板部２０が固定電極２５を兼ねているので、固定電極２５が穴部２１の内面に沿って延在している。また、可動板部３０には、固定板部２０の各穴部２１に１つずつ遊挿される複数の突部３１が連続一体に設けられており、可動板部３０が可動電極３５を兼ねているので、可動電極３５が突部３１に延在している。 （もっと読む）

【課題】流体圧回路等の流体圧の相対的な圧力変動を、非接触で簡易に測定できる圧力測定器を提供する。
【解決手段】流体圧チューブＴの相対向する外周面の外径が、内部の流体圧の相対的変動に応じて変動する場合に、電極１を前記外周面に同期して変動するように流体圧チューブＴに対して着脱可能に設置し、この一対の電極１間の距離の変動による静電容量の変化によって、前記外径の変動を測定し、これにより流体圧チューブＴ内部の相対的な圧力変動を得る。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を感度良く検出することができる圧力センサ用パッケージおよび圧力センサを提供することにある。また、圧力センサ用パッケージの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧力センサ用パッケージは、内部空間Ｓを有する絶縁構造体１と、内部空間Ｓの互いに対向する内壁面の上側及び下側のそれぞれに設けられた上側電極６及び下側電極５とを備え、内壁面の上側或いは下側の少なくとも一方が、外部からの圧力が印加された際に可撓する可撓領域を有する圧力センサ用パッケージであって、絶縁構造体１には、内部空間Ｓから絶縁構造体１の外表面まで延びる空隙部７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】測定容量の逆数に依存する信号電圧を供給し、消費電流が瞬間的な測定容量には実質的に依存しない圧力センサを供給する。
【解決手段】バッファ増幅器(OV₁)の入力は、少なくとも一時的に測定コンデンサ(K_M1)に結合され、バッファ増幅器(OV₁)の出力が測定コンデンサ(K_M1)に発生する測定電圧に実質的に比例する信号電圧を供給する。各測定周期の最初に、測定コンデンサ(K_M1)を放電して所定の残留電荷にし、基準コンデンサ(K_Ref1)を充電して所定の基準電荷にする。その後、基準電荷をできるだけ完全に基準コンデンサ(K_Ref1)から測定コンデンサ(K_M1)に転送する。このため、バッファ増幅器(OV₁)の入力と出力が、動作中に一時的に基準コンデンサ(K_Ref1)を介して互いに結合される。 （もっと読む）