【課題】測定容量の逆数に依存する信号電圧を供給し、消費電流が瞬間的な測定容量には実質的に依存しない圧力センサを供給する。
【解決手段】バッファ増幅器(OV₁)の入力は、少なくとも一時的に測定コンデンサ(K_M1)に結合され、バッファ増幅器(OV₁)の出力が測定コンデンサ(K_M1)に発生する測定電圧に実質的に比例する信号電圧を供給する。各測定周期の最初に、測定コンデンサ(K_M1)を放電して所定の残留電荷にし、基準コンデンサ(K_Ref1)を充電して所定の基準電荷にする。その後、基準電荷をできるだけ完全に基準コンデンサ(K_Ref1)から測定コンデンサ(K_M1)に転送する。このため、バッファ増幅器(OV₁)の入力と出力が、動作中に一時的に基準コンデンサ(K_Ref1)を介して互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減することで小型化および低コスト化を図った圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサＡは、弾性を有する材料により３次元立体配線基板の製造技術を用いて形成されたセンサ本体１を備える。センサ本体１は、下面の中央部に凹部２ａが形成されたボディ２と、ボディ２の上面に突設された圧力導入管３とを一体に備えている。圧力導入管３の中心の圧力導入用孔４は凹部２ａの天井部付近まで形成され、その底部には薄膜部５が形成されている。薄膜部５の表面（下面）には、金属めっき層からなる櫛歯状の第１電極パターン７ａと第２電極パターン７ｂとが形成されており、両電極パターン７ａ，７ｂは互いに隙間を空けた状態で対向配置されている。流体の圧力変化に応じて薄膜部５が変形すると、両電極パターン７ａ，７ｂ間の隙間が変化するので、両電極パターン７ａ，７ｂ間の静電容量の変化から圧力変化を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】２つの測定ブリッジうち一方の故障や特性変動を確実に検出できるようにすることができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ステム２０に設けられたダイヤフラム上に、構造が異なる２つの歪みゲージを設ける。２つの歪みゲージのうち一つとして、薄膜抵抗歪みゲージ２１０で構成された薄膜抵抗歪みゲージ式検出部２００を設ける。もう一つとして、半導体センサチップ１００に拡散抵抗歪みゲージ３１０で構成された拡散抵抗歪みゲージ式検出部３００を設け、低融点ガラス２４を介して薄膜抵抗歪みゲージ式検出部２００上に半導体センサチップ１００を設置する。 （もっと読む）

【課題】気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着する。
【解決手段】第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してケース１０が構成されており、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤６１が配置された第１の接着領域７１と、気密性を確保する第２の接着剤６２が配置された第２の接着領域７２とにより構成されており、第１の接着領域は、ケース１０内の測定圧力媒体と接する部分に配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定媒体が感圧ダイアフラムに付着堆積した場合でも感圧ダイアフラムの撓みを抑制して零点シフトを抑制するようにした静電容量型圧力センサを提供する。
【解決手段】測定媒体の圧力に応じた静電容量を検出するダイアフラム構造の圧力センサチップ３０を備えた静電容量型圧力センサにおいて、圧力センサの感圧ダイアフラム３２の測定媒体と接触する面３２ａに所定パターンの凹凸部３２ｂを連続して形成することで当該面を複数の小さい領域３２ｃに画成した形状として、感圧ダイアフラム３２の測定媒体と接触する面３２ａに付着して堆積した測定媒体の収縮又は伸長に起因する感圧ダイアフラム３２の厚さ方向の撓みを抑えて圧力センサの零点シフトを軽減する。 （もっと読む）

【課題】外部の圧力を長期間にわたり正確に検出することが可能な小型で高感度の圧力検出装置を提供する。
【解決手段】第１の面に開口を有する凹部が設けられた基体と、前記開口を閉塞するように前記第１の面の側に取着され且つ少なくとも一部が導電性を有する蓋体と、前記蓋体と対向して前記凹部の内面に設けられた固定電極とを有して構成されたダイアフラム圧力検出部と、を備え、前記第１の面が、外部の実装体への対向面とされていることを特徴とする圧力検出器を提供する。 （もっと読む）

コンデンサ装置（１）と、コンデンサ装置の有効信号のための後置接続された増幅器（７）とを備えるマイクロメカニカルセンサ素子のための回路装置を提案する。この回路装置によって、コンデンサ装置（１）の基本容量の目標値からの偏差を簡単に調整することが可能となる。このためにこの回路装置は、以下のような制御信号、すなわちコンデンサ装置（１）の有効信号とは分離されているが、コンデンサ装置（１）の基本容量に依存している制御信号を形成する回路手段を有し、この制御信号は、増幅器（７）に供給され、増幅器が制御される。
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【課題】圧力に対する容量変化の直線性に優れ、しかもセンサ個体間のばらつきの小さいサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１９ａに外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。外圧力によるダイヤフラム１９ａの変位に起因する静電容量の変化は制御部２１で検知することができる。制御部２１は、サーボ電極１３に印加する電圧を制御して、ダイヤフラム１９ａに加わっている外圧力に抗する斥力をサーボ電極１３とエレクトレット層２０との間で生じさせる。この斥力により、ダイヤフラム１９ａを所定の位置に保持することができる。このときのサーボ電極１３への印加電圧をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）

【課題】サーボ動作の際にダイヤフラムの挙動が安定し、精度良く圧力を測定することができるサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１５ａに外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。外圧力によるダイヤフラム１５ａの変位に起因する静電容量の変化は制御部１９で検知することができる。制御部１９は、サーボ電極１８に印加する電圧を制御して、ダイヤフラム１５ａに加わっている外圧力に抗する引力をダイヤフラム１５ａとサーボ電極１８との間で生じさせる。この引力により、ダイヤフラム１５ａがサーボ電極１８側に引き付けられる。このようにして、ダイヤフラム１５ａを所定の位置に保持するようにサーボ制御を行う。このときのサーボ電極１８への印加電圧をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）

【課題】圧力に対する出力の直線性に優れ、しかもセンサ個体間のばらつきの小さいサーボ式圧力センサを提供すること。
【解決手段】ダイヤフラム１６ａの主面１６ａ₂に外圧力が加わると、その外圧力により変形してガラス基板１１側に変位する。ダイヤフラム１６ａとガラス基板１１上の固定電極１４との間には、所定の静電容量を有するので、ダイヤフラム１６ａが変位すると、その静電容量が変化する。この静電容量の変化で外圧力の変化を検知する。制御部１９は、ダイヤフラム１６ａを所定の位置に保持するように制御を行う。制御部１９は、スパイラルコイル１３に印加する電流を制御して、ダイヤフラム１６ａを所定の位置に保持するようにサーボ制御を行う。このときのスパイラルコイル１３への通電量をパラメータとして、その変化を圧力変化とする。 （もっと読む）