【課題】導電性を有する異物の検出に要するコストの低減を図りつつ、極く小さな異物であっても確実に検出する。
【解決手段】非導電性材料で形成された樹脂フィルム２０にマイクロ波Ｗｍを照射して樹脂フィルム２０に含まれている導電性を有する異物Ｘを選択的に発熱させる発熱処理を実行するマイクロ波照射部３と、樹脂フィルム２０を撮像して樹脂フィルム２０における各部の温度を検出するサーモカメラ４と、マイクロ波照射部３による発熱処理およびサーモカメラによる樹脂フィルム２０の撮像（樹脂フィルム２０における各部の温度の検出）を制御すると共に、サーモカメラ４の撮像結果を温度検出結果として分析して、発熱処理によって発熱した発熱部位に異物Ｘが存在すると検出する処理部６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】噴霧効率を維持しつつ、塩の析出を低減すること。
【解決手段】一端部に噴霧口（１２ｂ）が形成された筒状の外筒（１２）と、前記外筒（１２）の内部に同軸に配置され且つ前記外筒（１２）との間で噴霧用のガスが流れるガス流路（Ｒ１）が形成される筒状の中筒（１３）と、中筒（１３）の内部に同軸に配置され且つ中筒（１３）との間に隙間をあけて配置された筒状の内筒（１４）と、内筒（１４）の内部に形成されて噴霧口（１２ｂ）に搬送されて噴霧される液体試料が流れる試料流路（Ｒ３）と、中筒（１３）の先端と外筒（１２）との間のガス出口（２４）に近づくに連れて、断面積が小さくなるように形成されたガス流路（Ｒ１）と、試料流路（Ｒ３）の一端に形成され且つガス出口（２４）と噴霧口（１２ｂ）との間に配置された試料出口（２５）と、を備えたことを特徴とする噴霧器（３）。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内部の分圧分布を簡便に測定する分圧測定方法および分圧測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバ内に備える測定専用の局所プラズマ源９を測定箇所に移動させる移動ステップと、真空チャンバの壁部に設けられ、光が通過する窓を通して、局所プラズマ源が発生させたプラズマからの発光を受光し、受光した発光の発光強度を分光測定することにより、真空チャンバ内の分圧分布を測定する測定ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
酸素ボンベや酸素ガス供給ライン、流量制御器などが新たに必要としない装置、ＩＣＰのトーチ位置をサンプリングコーンから遠くに離すことなどの煩雑な操作を必要としない新規なＩＣＰ−ＭＳ及びＩＣＰ−ＯＥＳの提供。
【解決手段】 誘導結合プラズマ質量分析装置又は誘導結合プラズマ発光分析装置において、プラズマに導入されるガス或いはプラズマを形成するガスの供給ラインの少なくとも一部に、酸素又は空気透過性チューブ、若しくは、酸素又は空気透過性膜を備え、透過した酸素を任意の時間帯だけ前記ガス供給ラインに導入するための切替バルブを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製鉄プロセスで生成される製鉄スラグなどの酸化物系無機材料中の硫酸マグネシウムを精度良く、迅速かつ簡便に定量できる酸化物系無機材料中の硫酸マグネシウムの定量分析方法を提供する。
【解決手段】抽出溶媒による酸化物系無機材料試料中の硫酸マグネシウムの定量方法において、前記抽出溶媒としてエチレングリコールを用い、前記試料を含む抽出溶媒を攪拌しながらマグネシウムの抽出を開始し、前記硫酸マグネシウム中のマグネシウムが抽出完了後、該抽出溶媒中のマグネシウム濃度を測定し、該測定値を基に、前記試料中の硫酸マグネシウム含有量を求めることを特徴とする硫酸マグネシウムの定量方法。 （もっと読む）

【課題】測定試料を分解したときに生じる発光強度の経時変化により、測定試料における元素の化学結合状態を判定することができるようにすることである。
【解決手段】測定試料Ｗにエネルギを加えて、その測定試料Ｗ中の励起された元素が発する光を検出して、前記測定試料Ｗを分析する発光分析装置１であって、前記光の強度を検出する光検出部８と、前記光検出部８により検出された光強度の経時変化に基づいて、前記測定試料Ｗにおける元素の化学結合状態を識別可能に出力する経時変化出力部９と、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】試料交換時の安定時間を明確に把握でき、また試料の分析開始時期を正確に把握することができる分析開始時期判断方法及び該方法に使用するＩＣＰ発光分析装置を提供する。
【解決手段】試料の導入に先立ち導入される溶媒の発光強度を測定する。溶媒の導入後、測定対象である試料の導入が開始される。測定中に溶媒の発光強度が所定値を超えた場合、溶媒導入後試料導入前に混入した空気であることを示すフラグが設定される。フラグの設定を条件に、開始許可信号出力手段は試料の分析開始許可を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】霧状試料の大径化及び水滴化を抑制し、安定性及び信頼性を有して、効率良く定性分析や定量分析を行い得るネブライザ及び試料液霧化装置を提供する。
【解決手段】ネブライザ３の試料液ノズル３１の外周側には、試料液ノズル３１と同心に、キャリアガスノズル３２が設けられている。さらに、キャリアガスノズル３２の外周側には、キャリアガスノズル３２と同心に、通ガス管３４が設けられている。通ガス管３４はホウ珪酸ガラス製であり、通ガス管３４の先端部は、試料液ノズル３１及びキャリアガスノズル３２の先端部よりも突出している。通ガス管３４の後端部には、アルゴンガス供給管３５が立設されており、アルゴンガスが通流される。 （もっと読む）

【課題】装着されたトーチの種類を自動的に識別し、各トーチに応じた確実な安全対策を施す。
【解決手段】冷却ガス供給管６上に設けた抵抗管２２の両端の差圧を検知する差圧センサ２３と一次側ガス圧を検知する圧力センサ２１との検知値から実流量Ｑを計算できるようにし、トーチ識別時には、実流量Ｑが規定値になるように流量制御弁２４の開度を調節しそのときの制御電圧値を得る。トーチの流路形状や内容積の違いにより開度が変わるため、メモリ２７に格納しておいた情報と検知した制御電圧値とを比較することでトーチの種類を識別することができる。そして、その識別結果に応じて冷却ガス流量下限値を設定し、実際の分析時に実流量がこの下限値を下回ったならば高周波電源１１から誘導コイル１２への電流の供給を停止してトーチの過熱を防止する。 （もっと読む）

本発明は、基体のプラズマ処理中、プラズマシステムの上方電極内に配置された標準的ガスシャワーヘッドの標準的シャワーヘッド孔内に配置された光ファイバーセンサーを使用することによりプラズマ処理の光学的感知を改良するための方法及び装置を与える。フイルムの性質は、基体の表面からの測定プラズマ放射に基づいて計算することができる。フイルムの性質は、フイルムの蒸着速度、屈折率、フイルムの厚さ等にすることができる。測定されたフイルムの性質に基づき、基体のプラズマ処理を調節し、且つ／又は終止させることができる。更に、前記標準的シャワーヘッド孔を通るプラズマ放射を見るための上方電極組立体中に配置された窓が与えられている。
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