【課題】湾曲形状を有する大型の透明搬送物を撮像するための照明設備を小型化できる透明搬送物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】本発明による透明搬送物検査装置は、透明体の搬送物をカメラで撮像しその搬送物像を得て良否を検査する検査装置であって、撮像領域を複数のブロックに分割して透明体の表面の正反射像を撮像するエリアカメラと、ブロック毎に撮像された連続する画像を貼り合わせて重複連写合成画像を生成する重複連写合成画像部と、ブロック毎の重複連写合成画像から所定の閾値により白を真とする２値化画像を生成する２値化変換部と、重複連写合成画像から２値化変換された２値化画像の論理和を取り論理和合成画像を生成する論理和画像合成部と、合成された論理和合成画像を最終検出画像として良否判定を行う良否判定部と、透明体の搬送物像を得るためにエリアカメラを挟んで搬送方向に設けられた１対の照明部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高性能の装置を用いることなく、搬送路上を搬送されてくる検査基板の精密な画像を得て精度よく検査すること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、基板３３を一定方向に沿って移動させる搬送ライン２５と、基板３３に対して照明光を出射する照明部１３と、照明部１３から出射され基板３３において反射した反射光、または、基板３３を透過した透過光を受光する撮像部１５と、照明部１３および撮像部１５を一体的に移動させる駆動部７と、駆動部７の駆動を制御する制御部１１とを有し、制御部１１は、駆動部７による照明部１３および撮像部１５の移動を基板３３の移動方向と同一方向に沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】撮像ごとに発生するノイズを除去できる検査装置を提供する。
【解決手段】検査システム１４は、ステージ３００に積載されている基板３０に光を照射するライト４６と、基板３０からの反射光を撮像するラインセンサ４８と、検査装置４０と、ディスプレイ装置５０とを備える。検査装置４０は、受信部４１と、記憶部４２と、判定部４３と、出力部４４と、入力部４５とを含む。判定部４３は、複数の領域の各画像を投影することにより１次元の投影データをそれぞれ算出し、各投影データを差分することにより差分プロファイルを算出し、差分プロファイルから強度のピークを検出し、当該ピークの値に基づいて基板３０に形成された薄膜のムラを判定する。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥を検出する検査機による搬送コロに起因する裏面汚れの欠陥の検出と、コロ裏面汚れを発生する搬送コロを特定することで、搬送コロによる欠陥発生時、迅速な対応が可能となり、当該装置及び搬送コロを早期復旧し、欠陥製品による損害、復帰のための人数と工数を削減すること。
【解決手段】予め処理装置毎に搬送コロの配置位置を装置座標上に登録する手段と、予め配置位置の座標をガラス基板上の基板座標上に変換して登録する手段と、カラーフィルタガラス基板から欠陥の特異点抽出し、コロ裏面汚れと判定する手段と、コロ裏面汚れの欠陥座標と搬送コロの基板座標上の位置座標とを照合する手段と、座標値の一致とコロ裏面汚れの欠陥特徴より処理装置及び搬送コロを特定する手段とを含む手段の構成によりコロ裏面汚れの発生位置からその欠陥起因となる処理装置および搬送コロを特定する検査機によるコロ裏面汚れ判定方法。 （もっと読む）

【課題】被検体画像データに重畳されたノイズを欠陥として誤検出することなく、被検体に存在する本来の欠陥のみを、高精度に検出する。
【解決手段】被検体ステージ１０１と、被検体ステージ１０１上の被検体に光を照射する照明光学部１０２と、被検体からの反射光を撮像する撮像カメラ１０３と、撮像された画像データを格納するフレームメモリ１１０と、画像データに画像処理を施すコンピュータ１１１を備えている。コンピュータ１１１は、被検体画像データに対し、輪郭強調処理を施して第１画像処理データを得るとともにローパスフィルタ処理を施して第２画像処理データを得る画像処理データ取得部と、第１画像処理データと第２画像処理データの差分画像データを得る差分画像データ算出部と、差分画像データにハイパスフィルタ処理を施すハイパスフィルタ処理部と、動的しきい値比較部と、欠陥有無判定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】特に偏光板２枚に位相差フィルムを挟んだクロスニコル形態でのムラ撮像において、全面撮像の計測が容易、且つ短時間で高精度に行えるようにする。
【解決手段】位相差フィルムの光学ムラを検出する光学ムラ検出装置１００において、位相差フィルムと偏光板とを一体に保持して所望の傾斜角度に設定するステージ２５と、位相差フィルムの一方の側から照明する照明手段２７と、位相差フィルムの他方の側から偏光板を介して照明手段２７からの照明光の透過光画面を撮像する撮像手段２９と、撮像手段２９から得られる撮像画像の輝度情報から輝度ムラ成分を検出するムラ検出手段３１とを備え、撮像手段２９が、位相差フィルムの所定の検査領域内における撮像方向の角度変動を２度以内となるように、位相差フィルムから離間配置された位置から望遠撮像する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、透明な被検査物の表面と内部の両方を同時に検査することができる透明物の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】（ａ）透明な被検査物２の表面２ａに斜め方向から光束１５ａを照射し、照射位置１５ｓを線状に移動させる発光部１４と、（ｂ）被検査物２に関して発光部１４と同じ側において照射位置１５ｓに対向して線状に延在する受光窓１６ｓを有し、受光窓１６ｓを通った光束成分の強度を検出する受光部と、（ｃ）受光部が検出した光束成分の強度に基づいて被検査物の良否判定を行う判定部と、を備える。受光窓１６ｓは、光束成分として、光束１５ａが照射位置１５ｓにおいて被検査物２の表面２ａで正反射された正反射光成分１５ｂと、光束１５ａが照射位置１５ｓで被検査物２の内部に入射し、裏面２ｂで反射した後、表面２ａから出射した内部反射成分１５ｅとの両方が同時に通るように、広げて形成されている。 （もっと読む）

製造環境において、測定装置の大半の移動を最小限にして、大きくて薄く平坦ではない鏡面反射性の基体のトポグラフィーを測定する方法である。ジンバルに取り付けられた反射要素を用いて、短コヒーレンス長のプローブビームを、該プローブビームが基体の局所的な表面に対して略垂直になるよう操作する。プローブビーム及び参照ビームを合波して、得られた干渉パターンを用いて、局所的な表面の欠陥を特徴付ける。
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【課題】欠陥の検出精度を高めることができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光透過性フィルムＡの外観を片面側から撮像する撮像手段１。撮像手段１による撮像時に光透過性フィルムＡの他の片面側に配置されるガイド手段２。撮像手段１による撮像で得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出する検出手段３とを備える光透過性フィルムＡの欠陥検出装置に関する。光透過性フィルムＡの上記他の片面とガイド手段２との間の空気を排除して光透過性フィルムＡをガイド手段２の表面に密着させるための密着手段４を備える。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの欠陥をマークするマーキングによって、欠陥の位置を容易に特定することができるとともに、そのマーキング自体が誤認であった場合においても、そのマーキング自体が欠陥とならず、マーキングされた光学フィルムが最終製品の品質に悪影響を及ぼすことを回避することができる光学フィルムの欠陥マーキング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光学フィルムの欠陥に対して、可視光外の波長の光にて蛍光するインクを用いてマーキングする光学フィルムの欠陥のマーキング方法。 （もっと読む）