【課題】搬送中のガラス板を停止させることなく、搬送方向に直交する向きの直交端面及びその近傍を撮像することのできるガラス板の端面撮像装置およびその撮像方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るガラス板の端面撮像装置５は、水平状態でガラス板を所定方向に搬送する搬送手段３と、搬送手段３で搬送されるガラス板２の搬送方向と直交する向きの直交端面４ａ（４ｂ）及びその近傍を撮像する撮像手段７（７ａ，７ｂ）と、撮像手段７（７ａ，７ｂ）を、ガラス板２の搬送方向に対して斜め方向に移動させる移動手段８と、ガラス板２の搬送時、撮像手段７（７ａ，７ｂ）と直交端面４ａ（４ｂ）との距離を一定に保ちつつ、撮像手段７（７ａ，７ｂ）を移動手段８により直交端面４ａ（４ｂ）に沿って移動可能とする移動制御手段９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】高速で走行する透明フィルムに生じた欠陥をリアルタイムに高い検出率で検査できる欠陥検査装置及び該装置を用いる透明フィルムの欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】暗室環境下で、透明フィルムの欠陥を検査するための装置において、透明フィルムの下方に設置された平行光源から照射される光が格子状チャートユニットを介して透明フィルムに垂直に当たり、キャプチャーされた画像に写る欠陥箇所の異常屈折を検出する。キャプチャー時に発生するノイズは、画像処理ユニットにより除去を行い欠陥部分とノイズ部分を誤認識することを避け、レンズの歪みによる補正は、取り込む画像を制限することにより処理効率の向上を図りリアルタイム処理を実現している。 （もっと読む）

【課題】マスク基板に対して洗浄加工を行なった場合の洗浄加工後にマスク基板に残る欠陥が洗浄加工プロセスによるものなのか、マスク基板自体の内部欠陥によるものなかを容易に判定する。
【解決手段】第１及び第２の受光手段に受光された散乱光に基づいて基板の両面（表面及び裏面）に存在する欠陥を検出することができるので、基板の洗浄加工の前後で両面の欠陥の存在位置をそれぞれ比較することによって、洗浄加工によって基板両面に存在していた欠陥が除去されたか否かを容易に判定することができる。すなわち、基板の洗浄加工処理によって基板から所定数の欠陥が除去されなかった場合には、マスク基板の内部に欠陥が存在する可能性が高いので、基板内部の欠陥の検出処理行い。その結果に基づいて洗浄加工によって除去できなかった欠陥が基板内部の欠陥であるのか、洗浄加工プロセスの問題によるものかを容易に判定することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】研削砥石や研磨砥石を用いて面取り加工が施されたガラス板等の端面の微細な凹凸の程度、すなわち表面粗さの検査を行うことが可能な検査方法を提供する。
【解決手段】搬送ライン上を搬送される光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面の表面状態を検査する端面検査方法において、固定配置された撮像手段を用いて、当該撮像手段の視野内を通過する前記光透過性矩形板状物の面取り加工が施された端面全域をカバーする複数ショット分の画像を連続撮像するステップと、前記連続撮像された複数ショット分の画像を、前記面取り加工が施された端面の表面粗さに相関するデータとして記憶装置に保存するステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透明物品に対して、透過照明を用いた高精度な外観検査を、検査漏れを可及的に低減しつつ行う。
【解決手段】外観検査装置は、ガラス管Ｇの外観検査が行われる第１回転盤１と第２回転盤２のそれぞれの回転軸Ｘ１，Ｘ２が互いに同一平面上で略直交するとともに、第１回転盤１の外周面に吸着保持されたガラス管Ｇの移動経路（Ｌ１）と第２回転盤２の外周面に吸着保持されたガラス管Ｇの移動経路（Ｌ２）とが、ガラス管Ｇの受渡位置で重複し、この重複部で第１回転盤１と第２回転盤２のそれぞれの外周面の吸着部１４，２４の指向方向が互いに略直交する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に生じた割れを検出する基板割れ検出装置において、かかるコストを低く抑え、容易かつ高精度に基板の割れを検出する。
【解決手段】基板搬送路１５に沿って基板Ｇを平流し搬送する基板搬送手段１６と、前記基板搬送路の一側方に設けられ、前記基板搬送手段により搬送される前記基板の上面に対し斜め上方から所定角度をもってラインレーザ光Ｌを放射し、前記ラインレーザ光を基板幅方向に沿って、少なくとも前記基板の左右端部を含む基板上面に照射するレーザ放射手段２と、前記基板搬送路を挟んで前記レーザ放射手段に対向配置され、前記レーザ放射手段により放射されたラインレーザ光を受光する撮像手段３と、前記撮像手段により撮像された画像と、予め記憶した基準画像とを比較処理し、比較結果に基づき基板割れを判断する制御手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥でも漏れなく検出し、低コスト、かつ、省スペースで構成できる信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物の幅方向から平行光を斜めに透過させて広範囲を照射する照明手段と、透過した光を光学的に圧縮させる配置で結像させるスクリーンと、該スクリーンに結像した画像を明暗信号として検出する撮像手段と、明暗信号のレベルをしきい値によって凹凸状欠陥として検知し、凹凸状欠陥の寸法及び形状を判定する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。 （もっと読む）

【課題】光学的透明材料の光学品質を簡略かつコスト効率的な方法で量的かつ質的に迅速に特性評価できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】光源からの光ビーム９で透明材料１を照射して光学的欠陥から散乱光８を生じさせ、前記透明材料を、少なくとも１個の回転角（Ψｓ）を通って前記光学的欠陥中を通過する回転軸を中心に回転させ、回転軸４に対して回転している間に、内部に隔壁、輪状ミラー、輪状レンズを有する検知光学機器６を用いて受光装置３へ導き、散乱角（θｓ）における散乱光強度を測定し、測定された散乱光強度の回転軸を中心とする前記回転角に対する依存度を測定し、及び、予め測定した比較値を用いて光学的欠陥のサイズ及び又は形状を測定する。 （もっと読む）