【課題】 個人差、個人の状態差の影響を受けることなく、色むらの有無、程度などを精度よく検査する。
【解決手段】 モアレを除去できるように集光光学系３４の焦点を調節して撮像装置３５により基板３１を撮像し、撮像データに基づいて色むらの有無、程度などを検査する。 （もっと読む）

【課題】 透明体における欠陥の有無を判断することができる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】 透明体９２，コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２の何れかが光軸に垂直な面上において移動または回動されて、コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２と透明体１３との間の相対的配置関係は、第１および第２の相対的配置関係それぞれに設定される。第１および第２の相対的配置関係それぞれの状態において、光源９１から出射された光は、透明体９２，コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２を経て撮像部１３の撮像面に入射して、その光強度の放射角分布の画像が撮像部１３により得られる。第１の相対的配置関係の状態において得られた第１画像と、第２の相対的配置関係の状態において得られた第２画像とは、互いに比較されて解析され、その解析結果に基づいて透明体９２が検査される。 （もっと読む）

【課題】微弱ムラ状欠陥の検出精度を向上させる。
【解決手段】投光部５から検査体Ｆに対して照射した検査光の透過光又は反射光を受光するに際して、光の強弱が最大となる位置にＣＣＤ６４を配置し、このＣＣＤ６４により検出信号を生成する。次いで、生成された検出信号に対し、移動平均によるＬＰＦを用いてノイズ除去処理を施し、その処理信号に積算差分処理及び相互相関処理を施して欠陥信号の信号強調を行う。 （もっと読む）

照明系（例えば光源（ストロボ）及び光鮮明化要素）及び撮像系（例えばデジタルカメラ及びコンピュータ／ソフトウェア）を用いて、板ガラス（例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）ガラス基板）の表面及び内部の欠陥を検査して識別する検査装置及び方法が記載される。
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本発明は１枚のガラスなど、透明な媒質内の欠陥を検出する方法およびシステムに関する。その方法は、光源から透明な媒質に向かって光を送出するステップと、次いで光が透明な媒質で反射されまたは透明な媒質を透過するとき、光を走査することによって透明な媒質内の欠陥を検出するステップとを含む。その方法およびシステムは、暗視野モード、走査向け明視野モード、または検査向け明視野モードのいずれか１つで動作してもよい。
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【課題】 欠陥の検出と同時に欠陥の表裏判別を行う簡便なガラス基板欠陥の表裏識別方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板の表裏いずれかに欠陥が存在するかを識別するガラス基板欠陥の表裏識別方法であって、搬送されるガラス基板より間隔を空けて設けた検査光源より照射された検査光をガラス基板に対する入射角度を一定にして照射し、表面欠陥は、ガラス基板より間隔を空けて設けた検出カメラが欠陥による前記検査光の散乱を検知する際に、表面欠陥による検査光の散乱を検出カメラが検知し、更に前記散乱による散乱光がガラス基板内部を伝播し裏面反射したものを検出カメラが検知することで２回検出され、裏面欠陥は、ガラス基板内部に入射した検査光の裏面欠陥による散乱を検出カメラが検知し１回のみ検出されることによりガラス基板欠陥の表裏識別を行うことを特徴とするガラス基板欠陥の表裏識別方法。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの位置ズレを修正し、検査工程で光ファイバの内部欠陥を確実に検出することが可能な光ファイバの欠陥検出装置を提供する
【解決手段】製造ライン１１は、上流側から下流側に向かって順に、延伸機１３、欠陥検出装置１５、及び巻取機１７からなる。欠陥検出装置１５は、ガイド部２０、欠陥検出部３０、ガイドプーリ３１〜３８、及びコントローラ４０を備えている。ガイド部２０は、互いにＶ字状に配置されている円柱形状のガイド部材から構成され、延伸機１３によって線引きされたＰＯＦ素線１０を挟み込むようにガイドする。ガイド部２０によってガイドされたＰＯＦ素線１０は、欠陥検出部３０の検出位置の中心にガイドされ、ＰＯＦ素線１０の内部欠陥が確実に検出される。 （もっと読む）

【課題】 非常に小さな欠陥であっても、容易に検出することを可能とするフィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】 フィルム１の両側に直交ニコル状態に第１，第２の偏光板３，４を配置し、第１の偏光板３の外側からライン状光源２によりライン状の光を照射し、第２の偏光板４の外側に配置されたＣＣＤラインセンサ５により受光し、ＣＣＤラインセンサ５から得られた信号をＡ／Ｄコンバータ６でデジタル信号に変換し、得られたデジタル信号を画像処理装置７により２値化し、欠陥の有無を検出するに当り、ＣＣＤラインセンサ５における複数のＣＣＤカメラ５ａが並ぶ第１の方向及びライン状光源２から出射されるライン状の光のライン方向を平行とし、かつＣＣＤラインセンサ５における受光量を小さくするためにＣＣＤラインセンサ５の受光面をフィルム１の上面に対して傾斜させて配置する、フィルム検査方法。 （もっと読む）

【課題】紫外光を通しにくい反射防止機能の、又は低反射機能を持った反射防止透明フィルムの表面状態を検査し、光学欠陥を検出する方法のおいて、光学欠陥を検出する時、検査効率が低下せず、生産ライン上で検出する検査方法であって、分解能を上げずに実用上問題となる光学欠陥のみを検出する反射防止透明フィルムの検査方法を提供すること。
【解決手段】紫外光の３００から４００ｎｍの波長域の光源を用い、透明フイルムの基材の片側表面に低反射層を形成した反射防止透明フィルムの片側表面より照射して、その正反射光を紫外光用カメラで撮像することにより、反射防止透明フィルムの光学欠陥を検出することを特徴とする反射防止透明フィルムの検査方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、反射散乱光による撮像で検出でき、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができるガラス板の欠点検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】実施の形態の欠点検査装置１０は、ガラス基板１２の上面１２Ｂで反射した赤色の反射散乱光、ガラス基板１２の下面１２Ｃで反射した青色の反射散乱光、及びガラス基板１２の端面１２Ａで反射した緑色の反射散乱光に基づいて欠点を検査する。すなわち、本発明は、Ｂバンドカットフィルタ２８、Ｒバンドカットフィルタ３０によって透過散乱光をカットして欠点の検査を実施するため、反射散乱光による撮像では検出できるが、透過散乱光による撮像では検出できない欠点であっても確実に検出することができる。 （もっと読む）