【課題】小形でかつ制御の容易な高精度の光ファイバ検査装置を提供する。
【解決手段】光ファイバ検査装置１０は、光導入部１２と画像取得部１４と画像処理部１６とを備える。光導入部１２は、光源１８と、光源１８が発する光Ｌを実質的に閉じ込めることができる遮蔽室２０とを備える。遮蔽室２０は、閉じ込めた光Ｌを、光ファイバＦの一部分Ｆ１の全周から光ファイバＦに導入する。画像取得部１６は、遮蔽室２０の外部にある光ファイバＦの他部分Ｆ２の側方に遮蔽室２０から独立して配置される１つ又は複数のカメラ２２を備える。カメラ２２は、遮蔽室２０で導入された光Ｌの一部を放射する光ファイバＦの他部分Ｆ２の側面を、予め定めた画角Ｖで複数の方向から撮像して、他部分Ｆ２の全周に渡る画像を表わす複数の側面画像Ｉを取得する。画像処理部１６は、カメラ２２が取得した複数の側面画像Ｉを個々に処理して、各々の側面画像Ｉにおける欠点Ｄを検出する。 （もっと読む）

【課題】
プリズムシートにおける欠点を精度よく検出することができる検査装置ならびに検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査体であるプリズムシートに光を照射する光照射手段と、前記プリズムシートに対して前記光照射手段と反対面に配置され、前記プリズムシートを透過した透過光を受光する受光手段と、前記プリズムシートと前記受光手段との間に配置され、前記透過光を集光し前記受光手段に光を入射させる集光手段と、前記受光手段で受光した前記透過光の受光信号波形に基づき前記プリズムシートに存在する欠点を検出するデータ処理手段とを有するプリズムシートの欠点検査装置であって、前記光照射手段は、該光照射手段の長手方向が前記プリズムシートに繰り返し設けられたプリズム形状の繰り返し方向に平行となるように配置されてなり、さらに、前記集光手段の画角θ２が、前記プリズムシートがもつ光屈折特性によって定まる主屈折角θ１に対し、
２×θ１＞θ２
であることを特徴とするプリズムシートの欠点検査装置。 （もっと読む）

【課題】大面積の板ガラスを生産する際、表面に発生する欠陥を迅速かつ効率的に高精度で検出して板ガラスの良・不良を高い再現性で判定できるようにする。
【解決手段】板ガラス欠陥検査装置１０は、光源２０から板ガラスＰ_１の透光面に光線Ｌを照射し、透過した光線Ｌを受光器３０で受光して欠陥を検出するもので、板ガラスＰ_１を支持しつつ透光面と略平行な方向に移動させる搬送手段５０を有し、光源２０と受光器３０とが、光学系の光軸が、搬送経路中の板ガラスＰ_１の透光面Ｐａ、Ｐｂに対して傾斜した位置に対向配置され、かつ光軸上における受光器３０のレンズ系の焦点距離は、受光器３０の受光素子から板ガラスＰ_１までの距離よりも小さく、板ガラスＰ_１を搬送手段５０により搬送経路中を移動させて欠陥を検出する。本発明の製造方法は、板ガラス欠陥検査装置１０を使用し、板ガラスＰ_１を検査しつつフラットパネルディスプレイ用板ガラスを製造する。 （もっと読む）

【課題】不均質部分による不良を精度よく検出し、不良部分を確実に排除可能な透明管体の外観検査装置及び外観検査システムを提供する。
【解決手段】光軸方向に順に光源１９、管軸方向のスリット３２を１本有するスリット部材２１、光軸直交方向に移送されるガラス管１５、撮像装置２０を配置し、スリット部材２１を背景にガラス管１５を所定単位時間毎に撮影し、撮影画像のガラス管内径部分を通してのスリット画像の幅寸法を測定手段３４で測定し、測定されたスリット画像の幅寸法をもとに、判断手段３５で、所定時間内の幅寸法の最大値、最小値及び最大値の差と、予め設定された各閾値とを比較してガラス管１５の外観の良否を判断する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の高さ方向位置を検出できる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ガラス板９９は一定の速度ｖで移動され、ステージ２の位置ｄはステージ位置検出装置４により検出される。照明装置１からマスク１０を介してガラス板９９に対して光を所定角度斜めに入射させ、画像検出装置３によりガラス板９９下面で反射した反射光を検出する。入射光と反射光の両方で欠陥を検出し、その時間間隔を測定し、コントローラ５は前記所定角度と所定速度ｖと時間間隔に基づいて欠陥の高さ方向位置を演算する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が透明であっても欠陥を確実に且つ高速に検出する。
【解決手段】検査対象物５の平坦な検査対象面に対して検査対象面を横切るスリット光Ｓを検査対象面の垂直方向から照射するとともに該照射方向と同方向から上記検査対象面からの正反射光を撮像し、得られた画像の濃淡から欠陥検出を行う。検査対象面に垂直にスリット光を照射すると同時に垂直方向から撮像することで、被検査対象面が透明であってもその表面状態に応じた反射光を得ることができ、また得られた画像の濃淡から欠陥を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の有無による受光強度の差が微小であり環境光が変動する場合でも欠陥を検出し、局所的に受光強度が変動しても誤認することなく欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】透明フィルム１を検査対象として照明装置２から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光をラインセンサカメラ３により受光して濃淡画像を生成する。画像分割部１３は濃淡画像を複数の分割画像に分割し、最頻値抽出部１４は分割画像内において濃淡値の最頻値を求める。欠陥候補抽出部１５は最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する。欠陥領域統合部１６は連結領域を統合する。検査領域設定部１８は欠陥領域について重心を基準とする検査領域を設定し、欠陥判定部２０は検査領域内で基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する。 （もっと読む）

【課題】ミクロ検査装置及びミクロ検査方法において、浮上プレート上の被検査体のミクロ検査を有効に行う。
【解決手段】被検査体を浮上させる浮上プレート２と、この浮上プレート２を移動させるアクチュエータ（２ｂ，１０ｂ）と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】フィゾー型干渉計を用いた装置を用いて、微小径略半球レンズの面精度測定とレンズ表面の欠陥観察とを高精度に行うことの可能な面精度測定及び表面欠陥観察装置、並びに面精度測定及び表面欠陥観察方法を提供する。
【解決手段】フィゾー型の干渉計光学系を用いた、被検レンズ７の被検面の面精度測定と被検面の欠陥観察をする装置である。被検レンズ７の位置調整に際し、被検レンズ７の位置を確認可能に構成された第一の光束制御板８_１と、中心に開口部８_２ａ、周囲に遮蔽部８_２ｂを有する第二の光束制御板８_２と、中心に遮蔽部８_３ａ、周囲に開口部８_３ｂを有する第三の光束制御板８_３とを有し、これらの光束制御板のうち所望の光束制御板を干渉計光学系の参照面５ａからの反射光の集光点Ｐ_１を含む干渉計光学系の光軸Ｚ_１に対して垂直な仮想平面上に挿脱可能な光束制御手段８を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板に形成された微小な線状のキズを確実に検出することのできる基板検査装置。
【解決手段】 基板（３０）の異物を検査する基板検査装置は、基板を照明する照明系（１；１ａ，１ｂ）と、照明系により照明された基板上の領域を暗視野観察する撮像系（２）と、撮像系の透過視野背景および反射視野背景に配置された低反射遮光部材（３，４）とを備えている。基板は光透過性を有し、低反射遮光部材は透過視野背景の全体および反射視野背景の全体を覆うように配置されている。 （もっと読む）