【課題】板ガラスの内部、あるいは表面に発生する各種の欠陥を迅速かつ効率的に高い精度で検出する。
【解決手段】板ガラス欠陥検出装置１０は、板ガラスＧを挟む対向位置に配置された光源２０と受光装置３０とを備えている。板ガラスＧは、その厚み方向に対向する透光面Ｇａ、Ｇｂを有し、透光面Ｇａ、Ｇｂが、この板ガラス欠陥検出装置１０の光学系の光軸Ｌｘに対して所定角度αだけ傾斜するように、光源２０と受光装置３０との間に配置されている。また、受光装置３０と板ガラスＧとは、光軸Ｌｘ上において、受光装置３０のレンズ系３１の焦点距離Ｆが、受光装置３０の受光素子から板ガラスＧまでの距離Ｚよりも小さくなるような位置関係で配置されている。 （もっと読む）

本発明は、ガラス基板の品質検査装置に関する。本発明は、波形の発生有無を検査するための照明部の照明がガラス基板だけに透過されるようにし、カメラにガラス基板表面の影映像をより鮮明に撮影されるようにするとともに、前記影映像による波形が種類別発生有無を微分アルゴリズムでより精密に検査できるようにしたものである。これによって、移送ユニットを介して連続的に移送されるガラス基板の品質状態をリアルタイムで検査し、製品に対する品質満足度を向上させるとともに、ガラス基板の品質検査に必要とされる時間を節約することで、連続する蒸着やエッチング、スパッタリングなどのプラズマを用いる工程が迅速に行われるようにする。
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【課題】微細な引掻き傷のより簡単な検出を可能にする装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基板１０の表面エラー、特に微細な引掻き傷、を光学的に検出する装置に関するものであって、基板１０表面の検出領域を照らす照明１５と、検出領域へ向けられた、照明から放射される光を検出する検出器１８とを有し、照明１５と検出器１８が互いに対して次のように、すなわち、検出領域内にある表面エラーで散乱された、照明の光２０’が少なくとも部分的に検出器１８へ達し、かつ基板表面のエラーのない検出領域内で散乱された、照明の光２０”は検出器１８へ達しないように、配置されている。 （もっと読む）

【課題】屈折率の高い材料からなる透明体を検査する場合においても、毒性を有する液体を使用することなく、あるいは、毒性を有する物質の使用量を低減しつつ、透明体の内部や表面を光学的に良好に検査することができる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】透明体１０１の曲面を含む表面１０１ａに対向面１ａを近接させ、もしくは、接触させて配置される少なくとも一の導光部材１を備える。導光部材１内を経てこの導光部材１の対向面１ａ及び透明体１０１の表面１０１ａを介して透明体１０１内部へ検査光を導き、及び／又は、透明体１０１内部を透過した検査光をこの透明体１０１の表面１０１ａ及び導光部材１の対向面１ａを介して、導光部材１０１内に導く。 （もっと読む）

【課題】透明体における様々な欠陥を検出することができる構造簡単な検出装置を提供する。
【解決手段】透明体に斜め方向から光を入射させ、全反射により光を透明体内を通過させ、欠陥により散乱し、透明体外の出射した不均一光を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターンの影響を受けずに精度の高い欠陥検出が可能な欠陥検出装置、欠陥検出方法、及び欠陥検出処理プログラムを提供する。
【課題手段】本発明は、表面上に視認可能に形成されたパターンを有する検査対象物における欠陥であって当該検査対象物の表面から観察される欠陥を検出する欠陥検出装置において、前記検査対象物の表面を撮影した表面画像のデータを取得し、当該表面画像又は当該表面画像に対して所定の補正処理を行った後の表面画像を、少なくとも所定の一方向の長さが、検出対象とすべき欠陥における前記一方向の長さよりも長い領域に分割する領域分割手段と、前記分割された領域毎にコントラスト強調処理を行って前記パターンの影響を除去し前記欠陥を検出する欠陥検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な構成でありながら、光学材料に存在する異物を高精度に、且つ、短時間で検査（検出）することができる検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】光学材料に存在する異物を検出する検査装置であって、光束を射出すると共に、前記光束の周波数を変化させる光源部と、前記光源部から射出される光束を、参照ミラー面と前記光学材料に導光する導光手段と、前記参照ミラー面から反射される光束と、前記光学材料に存在する異物から反射される光束との干渉光束に基づいて、前記光学材料に存在する異物の３次元位置座標を演算する演算手段とを有することを特徴とする検査装置を提供する。 （もっと読む）

ガラス板上またはガラス板内の欠陥（例えば、インクルージョン、オンクルージョン、掻き傷、染み、膨れ、脈理、あるいは表面の不連続性または材料の不均一性にともなうその他の欠陥）を識別する、いくつかの異なる検査装置及び方法が説明される。
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【課題】ガラス板に出現する遮光性欠点を透明欠点と区別して検出する欠点検査装置を提供すること。
【解決手段】移動するガラス板の一方の面側にＣＣＤラインセンサーを配設し、ガラス板の他方の面側でＣＣＤラインセンサーの視野角の外側に棒状光源を配設し、ガラス板の他方の面側でＣＣＤラインセンサーが見る位置に拡散反射面を有する反射板を配設し、棒状光源からガラス板に向けて光を投光するとともに、棒状光源から出射し反射板で拡散反射させた光をガラス板に導き、ガラス板に存在する欠点で偏向した光の光量をＣＣＤラインセンサーで受光して欠点を検出する。 （もっと読む）

【課題】 スペース上における基板の平面状態を保持しながら、その基板を容易に搬送することができ、迅速かつ正確な検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 所定のスペース１５をおいて配列された第１のステージおよび第２のステージと、基板１３を浮上させる浮上手段２０と、基板１３を支持する支持部と、この支持部を移動させて前記基板１３を搬送する基板搬送機構と、前記スペース１５に沿って移動可能に設けられ、基盤１３を観察するための観察手段と、この観察手段に対向して配置され、前記スペース内を移動する照明部と、前記スペース１５を埋めるスペーサ４０と、このスペーサ４０を、前記スペース１５内において前記スペース１５の少なくとも一部を埋める閉鎖位置Ｌと、前記スペース１５から退避して前記スペース１５を開放する開放位置との間で移動させるスペーサ移動機構と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）