【課題】蒸着マスクに付着した異物を高精度で検知することが可能な蒸着マスクの検査方法及び蒸着マスクの検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】表示素子を構成するパターン化された薄膜を蒸着法により形成するのに必要な蒸着マスクの検査装置であって、蒸着マスク２１２が配置される支持台３１０と、支持台３１０の所定位置に配置された蒸着マスク２１２を照明する赤外線光源３２０と、赤外線光源３２０により照明された蒸着マスク２１２からの反射光に基づき蒸着マスク表面の異物の有無を検知する検知部３３０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査時間の短縮化を図れ、かつ検査精度の向上を図れる穴内検査装置を提供すること。
【解決手段】穴２０の内部における異物９の有無を検査する穴内検査装置１であって、穴２０と同一形状かつ同一寸法の開口４１を有する絞り装置４と、開口を通してレーザー光を穴に照射するレーザー光源３と、穴からのレーザー光を受光するＣＣＤカメラ６と、このＣＣＤカメラ６が受光したレーザー光に基づいて異物の有無を判定する判定装置７とを備える。従って、従来のように対物レンズによってＣＣＤカメラを合焦させる必要がなくなり、検査時間の短縮化を図れる。穴を反射するレーザー光が対物レンズを通さずにＣＣＤカメラの受光素子に照射され、受光されるレーザー光が光軸に対して平行であるので、穴の内部に検査できない死角が生じず、検査精度を向上できる。 （もっと読む）

【課題】生理活性物質と検体物質との間の相互作用測定における測定精度の低下を抑制可能な測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】光源３５から出射された光ビームＬが光検出部３６に到る光路中に異物が存在することを検出した場合には、平行平面レンズ８２の入射される光軸に対する角度を変更することができる。従って、光源３５から出射された光ビームが光検出部３６に到る光路中に存在する異物を避けるように、光ビームの光路を変更することができるので、光ビームＬ１及び光ビームＬ２の各々光路中に異物が存在することによる測定精度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】光ビームにノイズが発生したことを検出することができる測定装置を提供する。
【解決手段】ノイズ検出部８６により、ＣＣＤ３６Ｂにより生成されて取得された画像情報に対して２次元フーリエ変換を行なって空間周波数領域の画像情報を求め、当該空間周波数領域の画像情報に、ノイズに対応するものとして予め定められた空間周波数成分が存在するか否かを判定することによりノイズの発生を検出する。 （もっと読む）

【課題】異物の巻込み防止を図り、製造コストの低減を図ることができるテープ巻付監視装置を提供する。
【解決手段】例えばテープ巻付装置でステータコイルに絶縁テープを巻付ける際に異物が巻込まれないかどうか監視するテープ巻付監視装置であって、巻付き直前及び巻付き直後のうち少なくとも一方における絶縁テープを撮像するカメラ８と、異物として例えば剥離テープの色情報を記憶した色情報記憶部１５を有し、この色情報記憶部１５に記憶された剥離テープの色情報に基づき、カメラ８の撮像画像から剥離テープ画像の抽出処理を行って、剥離テープを検出したかどうか判定する画像処理装置１１と、この画像処理装置１１で剥離テープを検出したと判定した場合、テープ巻付装置を停止させる中央処理装置１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 対向配置される導光部材の先端間の微小ギャップの断面積を小さくできて、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２に接続された投光側の導光部材４と、受光素子３に接続された受光側の導光部材５とを有する。両導光部材４，５の先端は、潤滑剤６の配置空間となる微小ギャップ１０を介して対向配置する。投光側の導光部材４の断面積と受光側の導光部材５の断面積とは互いに異ならせる。 （もっと読む）

【課題】従来、簡略化した低コストな構成でフィルタに残留した異物を検出することができないという課題があった。
【解決手段】流体を濾過フィルタの表面の画像情報を取得するスキャナ１と、スキャナ１から出力される画像情報を受け付ける画像情報受付部２と、画像情報受付部２が受け付けた画像情報から、フィルタの表面の異物に関する情報である異物情報を取得する異物情報取得部３と、異物情報取得部３が取得した異物情報を出力する出力部４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、軸受内部などへの配置の自由度が高く、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、先端が潤滑剤６の配置空間１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバは、それぞれ先端を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射して、この反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）

【課題】注射液剤中の異物を自動検出し、外乱要因のない環境下において当該異物の同定を的確に行なうことができる、ラマン分光測定法による注射剤中の異物自動測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン分光装置のステージ下に置いた検査チップに注射液剤を注入し、低倍率の対物レンズによって検査チップの液材収容部をマッピングして画像を撮影し、撮影画像をコンピュータで二値化処理し、当該異物の重心の二次元座標を記録し、顕微ラマン分光装置の対物レンズを高倍率の対物レンズに切り替えて、異物が存在する座標位置にステージを移動し、ラマン分光測定法によって異物のスペクトルを取得し、前記スペクトルをコンピュータに記憶されているライブラリーと対比して、異物の物質名の同定を行なう。検査チップには、マイクロ流路を形成したものと、プール部を形成したものがある。 （もっと読む）

【課題】 潤滑剤の厚さ、および発光部と受光部の距離を一定に保つことができ、現場でサンプリングした潤滑剤の劣化検出が容易な潤滑剤劣化測定器具を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化測定器具１は、基端側部６ａが把手となる一対の支持部材６，６を互いに開閉自在に連結してなり、閉じ状態で先端間の距離が一定となる鋏状器具本体２を備える。この鋏状器具本体２の前記一対の支持部材６，６の先端６ｂ，６ｂには、互いに対向して互いの間に潤滑剤９を介在させる発光部３および受光部４がそれぞれ設けられる。また、前記鋏状器具本体２には、前記受光部４の出力から潤滑剤９の光透過率を求めて潤滑剤９に混入している異物の量を検出する判定手段５が設けられる。 （もっと読む）