【課題】カーペットなどの測定対象の汚染状態をより適切に表す汚染度を求めることが可能な汚染度測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ３は、被測定面の色である被測定色を検出する。本体装置５は汚染度測定部であり、非汚染状態の前記測定対象に相当する基準面の色である基準色を用いて、被測定色から被測定面の汚染度を求める。本体装置５は、単位汚染度当たりの色差を表す汚染度変換パラメータに基づいて基準色と被測定色の色差に対応する汚染度を求める。汚染度変換パラメータが均等色空間における基準色の位置に応じて変更される。汚染度変換パラメータを変更することにより、カーペット等の色の違いによる測定結果の差を低減し、汚れの色が同じであれば同様の測定結果が得られる。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報をより精度よく取得することができるスラリー中の異物の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、サンプリング工程で採取された半導体用研磨スラリーを、半導体用研磨スラリーから抽出した分散液を用いて希釈する希釈工程と、希釈工程で希釈された半導体用研磨スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である、孔径が０．１ｎｍ〜１００μｍのろ過膜に、希釈された半導体用研磨スラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、希釈された半導体用研磨スラリーを通液したろ過膜の表面にろ別された異物を検査する異物検査工程とを有することを特徴とするスラリー中の異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できてメンテナンスなどにおける取り扱いも容易で、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２および受光素子３と、中間に潤滑剤を介在させる検出ギャップ部７を有し前記発光素子２から受光素子３へ光を導く導光部材４Ａ，４Ｂと、判定手段６と、センサケース１０とを備える。判定手段６は、受光素子２の出力から前記検出ギャップ部７内の潤滑剤に混入している異物の量を推定する手段である。センサケース１０には、発光素子２、受光素子３、および導光部材４Ａ，４Ｂが取付けられる。軸受２１が取付けられたハウジング２５の前記軸受２１の端面を覆う軸受端面覆い部２６にセンサケース１０を取付け、前記導光部材４Ａ，４Ｂの前記検出ギャップ部７を、ハウジング２５の前記軸受端面覆い部２６と軸受２１の端面との間の空間内に配置する。 （もっと読む）

【課題】 検出部の小型化が可能で、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、互いに反対方向に延び先端が潤滑剤６に入る測定用ギャップ１０を介して並ぶ２本の光ファイバ４，５と、一方の光ファイバ４の基端に配置した発光素子２と、他方の光ファイバ５の基端に配置した受光素子３と、この受光素子３の出力から潤滑剤６に混入している異物の量を検出する判定手段７とを備える。前記２本の光ファイバ４，５は、それぞれ先端の前記測定用ギャップ部１０とは反対側の部分を斜めにカットしてその斜めカット面を反射コーティングした反射面４ａ，５ａとする。これら斜めの反射面４ａ，５ａは、一方の光ファイバ４を通る光が先端の反射面４ａで他方の光ファイバ５の反射面５ａに向けて反射してこの反射面５ａから他方の光ファイバ５内に反射する方向に向ける。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトに配置できて、軸受内の潤滑剤の劣化状態を正確に検出できる軸受の潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 主軸３０を支持する転がり軸受２１が軸受ハウジング２５の内周面に設置され、軸受ハウジング２５が、転がり軸受２１の端面に対向して軸受内の潤滑剤を保持するグリースポケット２８を有する軸受装置２０に適用される。グリースポケット２８の内部に潤滑剤劣化検出センサ１を配置する。 （もっと読む）

【課題】軸受に簡単に搭載できて軸受内部の潤滑剤劣化状態を精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部は、固定具を用いて軸方向に位置調整自在に光ファイバ支持部材１１に支持固定する。 （もっと読む）

【課題】 軸受等に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７の近傍に、前記潤滑剤の測定用ギャップ部７に対する相対的な移動に対して抵抗を与える抵抗体１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を除く部分を覆う円弧状のカバー１２を設け、前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を、前記カバー１２から突出させる。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を除く部分を覆う円弧状のカバー１２を設け、前記カバー１２に、前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を固定する固定具１１を設け、この固定具１１およびこの固定具に固定された前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を、前記カバー１２から突出させる。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供すること。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４における測定用ギャップ部７以外の部位は、光ファイバ４を潤滑剤５から保護するための円弧状カバー１２で覆う。 （もっと読む）