【課題】従来の清浄度判定装置では、大型で複雑な形状に形成される部材をワークとする場合には、ワーク表面と投光部および受光部との位置関係を高精度に保持した状態で測定を行うことが困難であり、適正な判定を安定して行うことができなかった。
【解決手段】投光部２０からワーク５０表面に赤外線光を照射して、受光部３０にて反射光を検出し、検出した反射光からワーク表面での吸光度を算出し、算出した吸光度を用いてワーク表面の清浄度を判定する装置１であって、前記投光部は、面光源２１と、照射された赤外線光を集束させる集束レンズ２３とを備え、前記受光部は、ワーク表面の汚れ物質５１に対して赤外吸収が生じる波長の赤外線光が透過可能な干渉フィルタ３３と、ワーク表面からの反射光を受光する受光センサ３１とを備え、赤外線光のワーク表面への照射範囲Ｒａを、ワーク５０表面からの反射光の受光範囲Ｒｂよりも大きく構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査対象の色に拘わらずに食品に混入した細くて小さな異物の高精度な検出を容易且つ低コストで可能にした異物検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の異物検査方法は、食品に対して水分および脂肪酸を含有する物質内に存在するＯＨ結合の高調波および結合音によって吸収ピークと裾を示す１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域内の波長光を光源から照射し、前記光源から食品に対して照射された前記波長光が食品及び食品に含まれた異物から反射した反射光をハーフミラーを介して１０００ｎｍ−１５００ｎｍの波長域における複数の波長域の分光した反射光と透過した透過光とに分離させて受光し、この受光した前記波長域の反射光及び透過光に基づいて反射光画像及び透過光画像を撮影し、この撮影した前記波長域の反射光画像及び透過光画像を画像処理することによって異物を強調した画像を生成して食品に含まれた異物を検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に付着した超微小粒子を高精度に検出する。
【解決手段】基板の表面に付着した微小粒子を検出する表面検査方法において、前記微小粒子の周囲に析出物を生成するステップと、前記析出物が周囲に生成した前記微小粒子を光の散乱によって検出するステップと、を有することを特徴とする。これにより、基板の表面に付着した微小粒子の周囲に析出物が生成され、析出物が周囲に生成された微小粒子が光の散乱によって検出される。その結果、半導体や磁気記録装置等の電子機器製造工程において、搬送した基板に付着した０．１μｍよりも小さい超微小粒子の検出を可能とする表面検査方法及び表面検査装置が実現する。 （もっと読む）

【課題】異物の混入箇所、種類等を迅速に認知することができ、吸引ノズルにおける吸引力を低下させることなく、異物の混入を安定して検出することができる異物検知採集機を提供すること。
【解決手段】異物検知採集機１は、主吸引機３と副吸引機４との２つの吸引機を用いる。異物検知採集機１は、主吸引機３の吸引力により、吸引ノズル２２によってワーク８の清掃面８１を吸引する吸引力を発生させると共に、副吸引機４の吸引力により、サイクロン容器２１内に吸引された異物Ｐをさらに吸引し、異物検出センサ４５を通過させた後、異物採集フィルタ６へ付着させる。異物検知採集機１は、異物検出センサ４５によって異物Ｐの検出を行ったことを表示手段５によって表示する。 （もっと読む）

【課題】チューブ内を流通する液体の内部状態および液体流通チューブの品質を正確迅速に検知する検知センサの提供、内部状態を表示する装置の提供及び異常状態の場合にアラームを発する液体異常警報装置の提供を目的とするものである。
【解決手段】本発明の液体検知センサは、投光素子と受光素子と信号処理部よりなる液体検知センサであって、前記投光素子は液体流通チューブの外側に配され、前記受光素子は投光素子の発する光を受光するために投光素子に対向した前記液体流通チューブ外側に配され、前記信号処理部が前記受光素子の受光量レベルによって前記液体流通チューブ内を流通する液体、気泡若しくは異物の有無、若しくは液体流通チューブ自体の汚れの有無、又はこれらの組合せの有無を検知し得る。 （もっと読む）

【課題】排気管内を流れるパーティクルの数や大きさを正確に検出することができるパーティクルモニタシステムを提供する。
【解決手段】チャンバ１１及びＤＰ１７を連通するバイパスライン１６には、レーザ光を照射するレーザ光発振装置２１と、バイパスライン１６の中心軸及びレーザ光の交差部に焦点ＦＰを有する光電子倍増管２２と、円板状部材からなるパーティクル収束部材２３とから構成されるパーティクルモニタシステムが配され、パーティクル収束部材２３は焦点ＦＰに対向する貫通穴２４を有し、バイパスライン１６とパーティクル収束部材２３の周縁部との間には間隙２５が形成される。 （もっと読む）

【課題】試料セルの取り外しを要せず、簡単且つ正確に試料セル内壁の異常を検出できる半導体製造システム用分析装置を提供する。
【解決手段】異なる２種類の液体を選択的に収容する試料セル１と、前記各液体での吸収が略等しく屈折度合いが異なる所定波長の光を、前記試料セル１に照射する光照射部２３ａと、前記各液体を前記試料セル１にそれぞれ収容した状態で、前記光照射部２３ａの照射により前記試料セル１を透過してくる光を検出する光検出器２３と、前記光検出器２３で検出した前記各状態での検出光量に関する値である検出光量関連値を比較し、その比較結果に基づいて、前記試料セル１の汚れや傷などの異常の有無を判定可能に出力する判定部２３ｅと、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】特に高感度化を必要とせず、粒径の小さい例えば発生期のヘイズであっても短時間で好適に検出することができ、しかもパターンからの散乱光の影響による誤検出の問題もないといった、優れた欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】パターンを形成したパターン領域Ｓｘ及びパターンの形成していない非パターン領域Ｓｙを表面Ｓａに有し、前記パターン領域Ｓｘへの異物の付着等を防止するためのペリクル膜Ｐ２を支持するペリクル枠Ｐ１が前記非パターン領域Ｓｙに設けられた検査対象面であるサンプル表面Ｓａに対して、検査光Ｌ１を照射する光源と、前記検査光Ｌ１を前記サンプルＳの表面Ｓａ上で走査する光走査部２３と、前記光走査部２３が前記検査光Ｌ１を前記サンプルＳの表面Ｓａ上で走査した場合に、前記サンプルＳの表面Ｓａ及び前記ペリクル膜Ｐ２から回折及び／または散乱する光を検出光Ｌ２として検出する光検出器３２と、を具備し、検査対象領域を、非パターン領域Ｓｙに設定した。 （もっと読む）

【課題】汚れ検出用のセンサの数を制限しながらも、光学窓に付着した微細物まで検出することができる光学窓汚れ検出装置を提供する。
【解決手段】光学窓１０２が設けられたケーシング１０１に、投光部３と、投光部３から出力された測定光を光学窓１０２を通して測定対象空間に偏向走査する走査機構４と、対象物からの反射光を光学窓１０２を通して検出する受光部５が収容されている走査式測距装置の光学窓汚れ検出装置であって、光学窓１０２の外側に光学窓１０２に沿って複数の反射式光電センサ１を設けるとともに、光学窓１０２を通過した反射式光電センサ１からの検出光を反射式光電センサ１に向けて反射する再帰性反射部材２を走査機構４に取付けている。 （もっと読む）

【課題】車両等の投光器において、光源における付着物を、専用のセンサ等を設けることなく検出する。
【解決手段】付着物検出装置は、光を投光可能な投光手段（１１０）と、投光及び非投光を相前後して行うように投光手段を制御する投光制御手段（１２０）と、投光時及び非投光時の夫々に、投光手段により光が投光される範囲内にある被撮像物に係る画像を撮像する撮像手段（１３０）と、投光時に撮像された画像の輝度である投光時輝度と非投光時に撮像された画像の輝度である非投光時輝度とを相互比較することにより、投光手段に付着物が存在するか否かを判定する判定手段（１６０、１８０）とを備える。 （もっと読む）