【課題】多孔板の表面における汚れ、傷、めっき不良、異物の付着等を正確に検出することができる多孔板表面検査方法及び装置を提供すること。
【解決手段】多孔板Ｗの表面側から反射用の照明光を照射するとともに、多孔板Ｗの裏面側からバックライト用の照明光を照射して、多孔板Ｗの表面Ｗａを撮像部４で撮像する。そして、その画像に基づいて多孔板Ｗの表面Ｗａで反射した反射光１２の光量と、多孔板Ｗの透孔部Ｗｃを透過した透過光１１の光量を測定して、これら２つの光量が同一且つ予め設定された範囲の光量となるように、反射用の照明光とバックライト用の照明光の光量を調節する。そして、光量の調節がなされた状態で、多孔板Ｗの表面Ｗａを撮像して、その撮像した画像に基づいて多孔板Ｗの表面Ｗａの欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。
【解決手段】異状検査システム１００（検出装置）は、検査対象物３を撮像する光源ユニット１０及び検出ユニット２０と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物３中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット３０と、を備える。この異状検査システム１００では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】発電機巻線端部の弛みについて、発電機の運転中止を要求する粉塵の目視検査、多数の位置への配置を要求し、運動のみ検出するファイバ結合加速度計、又は多数の設置を要求するカメラ撮影によらずに健全性監視を行なう。
【解決手段】電気機械部品監視システム（２０、１００）が、光ファイバ・ケーブル（２６、１０７）を通して光信号を与える光源（２２、１０１）と、電気機械部品（４６）に又は電気機械部品（１０９）から一定の離隔距離に配置されて、電気機械部品（４６、１０９）の状態を表わす応答光信号を得る光ファイバ・センシング部品（３０、１０６）とを含んでいる。このシステムはさらに、光ファイバ・センシング部品（３０、１０６）からの応答光信号を受信して電気信号へ変換する光検出器（３２、１０４）を含んでいる。また、電気信号を解析することにより電気機械部品（４６、１０９）に付着した汚れに関する情報を決定する処理回路（３８、１０５）がシステムに設けられている。 （もっと読む）

【課題】１枚の対象基板の測定結果だけで，パーティクル分布が異常か否かを極めて容易に判定できるようにする。
【解決手段】パーティクル分布解析を行う対象基板について，その基板上のパーティクル座標データからパーティクル相互間距離についてのヒストグラムデータを作成するとともに，その対象基板上のパーティクルと同数のパーティクルを計算上ランダムに分布させた複数枚の仮想基板について，パーティクル相互間距離のヒストグラムデータを作成する。これら対象基板と各仮想基板のヒストグラムデータ群との差異に基づいて，対象基板のヒストグラムデータについて仮想基板のランダムなヒストグラムデータ群からの距離を数値化した判定データを算出して表示部に表示する。 （もっと読む）

【課題】第１回転ディスクから第２回転ディスクへのワークの移し替えを良好に行える外観検査装置を提供する。
【解決手段】第１回転ディスク１１及び第２回転ディスク１２の下面外周部分に、各エア吸引穴１１ｂ及び１２ｂと外気とを連通する圧力調整穴１１ｄ及び１２ｄが個別に設けられているため、エア吸引力が生じている全てのエア吸引穴１１ｂ及び１２ｂがワークＷによって塞がれても、各エア吸引穴１１ｂ及び１２ｂの内圧が減少し引き込み力が増加することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】電解質基材に混入した金属粉異物を色により識別して高い信頼性で検出できる検査装置等を提供すること。
【解決手段】検査装置は、電解質基材が所定形状で積層されて所定幅寸法で切断された長尺のアルミ箔をロール状に巻き取ったシートの電解質基材に混入した金属粉異物を加熱する電磁誘導加熱器と、電磁誘導加熱器の働きで昇温されて変色した金属粉異物を撮像する画像認識用カメラとを備える。 （もっと読む）

【課題】 小さなサイズの残留物から大きなサイズの残留物まで様々なサイズの残留物を同時に検出することが可能な画像処理を行うことで測定精度を向上させた残留物測定方法を提供する。
【解決手段】
濾過フィルタ上の残留物 (屑や粉等)を撮像し、取得した画像データを分岐させて、分岐した画像データのうち一方の画像データに対して直ちにラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＰ以下として所定サイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、かつ、他方の画像データに対してオープニング処理とクロージング処理のいずれか１種以上の処理を行ってからラベリング処理を施して、画像処理領域の画素サイズをＱ以上とし当該ＱとＰはＱ＜Ｐの関係とすることで、前記所定サイズよりも大きなサイズの前記残留物を検出する特徴抽出を行い、引き続き、これら特徴抽出された画像処理領域同士を結合した後に再度のラベリング処理を行う。 （もっと読む）

【課題】積重した基板収納用トレイ１０に適切な頻度で洗浄を施すために、適切な時点を外部から容易に判別できるパレットを提供する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット７０の側面部に測定部４０と情報出力部５０で構成される微小異物測定装置６０が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター５２は適切な時点であると表示する。 （もっと読む）

【課題】特定の要因で発生するパーティクルの数を正確に計測することができるパーティクル数計測方法を提供する。
【解決手段】ガラス窓２４を介して本排気ライン１６内にレーザ光２５を入射し、該レーザ光２５と交差したパーティクルＰ１，Ｐ２から発生する散乱光Ｌ１，Ｌ２を光検出器２１によって受光し、該受光された散乱光に基づいてパーティクルの数を計測する際に、移動しないパーティクルＰ２がガラス窓２４に付着した汚れと見なされ、移動しないパーティクルＰ２の数が本排気ライン１６内において計測されたパーティクルの数から除外される。 （もっと読む）

【課題】面照明と液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段等の効果的な使用により、レンズに付着した異物を欠陥として判定することを防止しつつ、レンズ自体の欠陥を高精度に検査できると共に、構成簡易にして安価に形成可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて透光部と遮光部を所定のパターンに設定可能な液晶パネルと、面照明から照射され液晶パネルを透過した光により検査対象レンズを撮像する撮像手段と、検査対象レンズに所定圧のエアを吹き付けて該レンズに付着した異物を除去可能な異物除去手段と、面照明、液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。また、前記制御手段は、異物除去手段の作動前後の撮像データを比較することにより、異物の有無を判定する。 （もっと読む）