基板収納用トレイを積重するパレット
【課題】積重した基板収納用トレイ１０に適切な頻度で洗浄を施すために、適切な時点を外部から容易に判別できるパレットを提供する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット７０の側面部に測定部４０と情報出力部５０で構成される微小異物測定装置６０が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター５２は適切な時点であると表示する。
【解決手段】基板収納用トレイを積重するパレット７０の側面部に測定部４０と情報出力部５０で構成される微小異物測定装置６０が備えられ、測定部は定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が閾値を越えたときモニター５２は適切な時点であると表示する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板収納用トレイを積重するパレットに関するものであり、特に、基板収納用トレイを適切な頻度で洗浄するために、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできるパレットに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置やカラープラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の生産においては、ガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、基板収納用トレイが用いられている。この基板収納用トレイは、工程途中のガラス基板にも適用されるなど多岐にわたる使われ方がされている。
【０００３】
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、用いられるガラス基板の大型化が進んでいる。この大型ガラス基板を限られたスペースで、各ガラス基板が相互に接触することなく、安定して効率よく収納、工程搬送、輸送、保管することが可能な基板収納用トレイとして、様々な基板収納用トレイが提案されている。
【０００４】
例えば、特開２００４−１８６２４９には、液晶表示装置用カラーフィルタのガラス基板が収納されて上下方向に積重された複数の基板収納用トレイの各々から、ガラス基板を効率よく取り出すことができ、また、ガラス基板が取り出された空の基板収納用トレイを効率よく上下方向に積重することができる基板移載装置が開示されている。
【０００５】
図１は、上記基板移載装置にて用いられる基板収納用トレイ（１０）の一例を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ’線での拡大した断面図である。この基板収納用トレイ（１０）は、液晶表示装置用カラーフィルタに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下のガラス基板を収納して輸送するために用いられる。
【０００６】
基板収納用トレイ（１０）は、樹脂によって長方形状トレイに一体的に成形されており、輸送するガラス基板（２０）が、水平状態で載置される長方形状の底部（１１）と、底部（１１）の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部（１２）とを有している。
【０００７】
底部（１１）は、収納されるガラス基板（２０）よりも一廻り大きな長方形状であって、底部（１１）の上面にガラス基板（２０）が載置される。底部（１１）の四隅の近傍には、四角形状の通孔部（１５）が形成され、また、底部（１１）の各四隅の中間位置にも、及び底部（１１）の中央部にも通孔部（１５）が形成されている。
【０００８】
底部（１１）に設けられた各通孔部（１５）は、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を基板収納用トレイ（１０）から取り出すための支持ピンが、底部（１１）の下方から挿通されるように設けたものである。
枠部（１２）は、底部（１１）の側縁部の全周にわたって、例えば、底部（１１）の上面から５ｍｍ程度に突出して設けられており、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
【０００９】
枠部（１２）の上部には、フランジ状に突出する係合部（１３）がその全周にわたって設けられている。この係合部（１３）は、断面形状が長方形状であり、基板収納用トレイ
（１０）を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が、この係合部（１３）に係合するようになっている。
係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間には、段差が形成されており、この段差が上下に積重される基板収納用トレイ（１０）の位置決め部（１４）となる。
【００１０】
図３に示すように、ガラス基板（２０）が収納された基板収納用トレイ（１０）は、上下に複数が積重された状態で工程搬送、輸送、保管される。この際は、上記係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間の段差である位置決め部（１４）に、枠部（１２）の下端部が係合した状態になり、上下方向に積重された基板収納用トレイ（１０）同士は、水平方向に相互に位置ズレを起こすことはない。
また、上下方向に基板収納用トレイ（１０）の複数が積重された状態では、上下の係合部（１３）間に適当な間隔（Ｄ）が形成され、この部分で、上記チャッキング用の爪部が係合部（１３）と係合する。
【００１１】
図４は、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。図４に示すように、パレット（３０）上に、複数の基板収納用トレイ（１０）が積重され、最上部の基板収納用トレイ（１０）上に防塵用蓋（１６）が設けられた状態となる。積重する基板収納用トレイ（１０）の段数は、例えば、３０個程度である。
【００１２】
このように、パレット（３０）上に上下に積重された複数の基板収納用トレイ（１０）から、収納されたガラス基板（２０）を取り出す際には、例えば、基板異載装置（図示せず）が使用される。基板異載装置は搬送機構と取出機構で構成され、先ず搬送機構は、そのチャッキング用の爪部で防塵用蓋（１６）を取り除き、最上部の基板収納用トレイ（１０）の係合部（１３）に爪部を係合させ、最上部の基板収納用トレイ（１０）のみを持ち上げ取出機構のテーブル上に載置する。
【００１３】
取出機構の支持ピンは、基板収納用トレイ（１０）の下方から上昇し、底部（１１）の通孔部（１５）を挿通し、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を下方から支持ピン上に保持する。
支持ピンの上昇により生じたテーブルとガラス基板（２０）の間隙に、ロボットのフォークを水平に挿入し、ガラス基板（２０）を取出機構外へと搬出する。
【００１４】
さて、このような、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態のパレット（３０）は、クリーンルーム外で、搬送、保管されることがあるので、積重した基板収納用トレイ（１０）には微小異物が付着する。このため、適切な洗浄を基板収納用トレイ（１０）に施さないと、基板収納用トレイ（１０）に収納されているガラス基板に微小異物が付着してしまうことがある。
【００１５】
基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度の指標には、例えば、クリーンルーム外での使用回数、前回の洗浄からの経過期間などが用いられることがある。しかし、基板収納用トレイ（１０）への微小異物の付着状況は、基板収納用トレイ（１０）を積重したパレット（３０）を保管する周辺環境によっても大きく異なったものとなる。
従って、一定の指標で基板収納用トレイ（１０）の洗浄を施こすと、過剰な洗浄でコストが増大したり、或いは、洗浄が不十分なためガラス基板へ微小異物が付着し、不良を発生させてしまうといった問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００４−０５９１１６号公報
【特許文献２】特開２００４−１８６２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、積重した基板収納用トレイに洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄が施されるように、基板収納用トレイを積重したパレットの周辺環境の空気中に含まれる微小異物を測定し、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできる、基板収納用トレイを積重するパレットを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、ガラス基板を水平に積載する基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００１９】
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）ａ）前記測定部の筐体は直方体であり、その内部空間は水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板で上室と下室に区分され、
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００２０】
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、下記数式１を用いることを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００２１】
【数２】
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられ、微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環
境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２３】
また、本発明は、測定部の筐体は直方体で上室と下室に区分され、筐体の前面上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、下室の底面部には、付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、演算部は、散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め閾値を越えたときに、モニターはトレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、前記数式１を用いるので、散乱光の光強度から微小異物数の累積値の算出が良好に行われる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】基板収納用トレイの一例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線での拡大した断面図である。
【図３】基板収納用トレイが積重された状態の説明図である。
【図４】複数の基板収納用トレイを上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。
【図５】（ａ）は、本発明によるパレットの一例における側面部を示す説明図である。 （ｂ）は、本発明によるパレットの上面から内部を示す説明図である。
【図６】（ａ）は、本発明における測定部の一例での前面の説明図である。（ｂ）は、測定部の左側面から内部を示す説明図である。（ｃ）は、測定部の上面から内部を示す説明図である。
【図７】微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物からの散乱光を受光する状態を示す説明図である。
【図８】数式１をグラフで表したものである。
【図９】情報出力部でのフローを例示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に本発明を詳細に説明する。
図５（ａ）は、本発明による基板収納用トレイを積重するパレットの一例におけるパレットの側面部を示す説明図である。また、図５（ｂ）は、このパレットの上面から内部を示す説明図である。
【００２７】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、パレット（７０）の１側面部（７１）には、開口部（７２）、開口部（７３）が設けられている。開口部（７２）、開口部（７３）に対応し、パレット（７０）の内部に測定部（４０）と情報出力部（５０）で構成される微小異物測定装置（６０）が備えられている。開口部（７２）には、測定部（４０）の前面が配置され、また、開口部（７３）には、情報出力部（５０）のモニター（５２）が配置されている。
【００２８】
この微小異物測定装置（６０）の測定部（４０）は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部（５０）は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するようになっている。
従って、積重した基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２９】
図６（ａ）は、本発明における測定部（４０）の一例での前面の説明図である。図６（ｂ）は、測定部（４０）の左側面から内部を示す説明図である。また、図６（ｃ）は、測定部（４０）の上面から内部を示す説明図である。
図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明における測定部（４０）の筐体（４１）は直方体の形状をしている。この直方体の内部空間は、水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板（４３）で上室（４１Ａ）と下室（４１Ｂ）に区分されている。
【００３０】
上室（４１Ａ）では、パレット（７０）の周辺環境の空気中の微小異物を透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させている。
また、下室（４１Ｂ）では、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を斜め下方で受光している。
【００３１】
筐体（４１）の前面（４２ａ）の上半部には、上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させるファン（４４）が設けられている。
筐体の下室（４１Ｂ）の底面部（４２ｂ）には、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源（４５）、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器（４６）が設けられている。
【００３２】
図６（ｃ）は、図５（ｂ）におけるＢ−Ｂ’線近傍を拡大したものである。測定部（４０）の内部は上面から順に、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）、その下方の底面部（４２ｂ）上にレーザ光源（４５）、及び光検出器（４６）が設けられている。
【００３３】
図７は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を受光する状態を示す説明図である。
測定部（４０）は、定期的にファン（４４）を作動させて上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み（図６中、白太矢印）、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させる。図７には付着した微小異物（８０）が表されている。
レーザ光源（４５）は、この付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射（ａ）して、微小異物からの散乱光（ｃ）を光検出器に受光させる。
【００３４】
照射（ａ）したレーザ光の一部は透過（ｂ）し、一部は散乱光（ｃ）となる。散乱光（ｃ）は照射したレーザ光が微小異物（８０）で乱反射した光であり、光検出器（４６）が受光するのは乱反射した光の一部である。
光検出器（４６）が受光する散乱光（ｃ）の光強度は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上へ付着する微小異物（８０）の増加に伴い大きくなる。
【００３５】
図５（ｂ）に示すように、情報出力部（５０）は、演算部（５１）とモニター（５２）
で構成されている。情報出力部（５０）の演算部（５１）は、この受光した散乱光（ｃ）の光強度から微小異物数の累積値を算出する。この累積値が、予め積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると設定された閾値を越えたときに、その旨をモニターは表示するようになっている。
図９は、上記情報出力部（５０）でのフローを例示したものである。
【００３６】
上記のように、本発明は、基板収納用トレイを積重したパレット（７０）が、搬送、保管される間での、各々異なる周辺環境で付着した微小異物数の累積値を、予め適切な時点であると設定された閾値と対比した結果をモニターに表示するので、適切な頻度で積重した基板収納用トレイに洗浄を施すことが可能となる。
【００３７】
本発明者は、上記微小異物測定装置（６０）を用い、散乱光の光強度と微小異物数との関係を具体的に精査し、下記数式１を見出した。この数式１を用いることにより、実際の作業において良好な結果が得られることが確認されている。
【００３８】
【数３】
【００３９】
光強度の増加率（倍）（ｘ）は、ガラス基板１０ｍｍ2 当たり、５０μｍφ以上の微小異物が３個以内である場合に受光した光強度を１としたときの、当該受光した光強度の増加率（倍）を表す。
微小異物数（個）（ｙ）は、当該増加率（倍）における、１０ｍｍ2 当たり、１００μｍφ以上の微小異物数（個）を表す。
つまり、当該受光した光強度の増加率（倍）（ｘ）から、微小異物数（個）（ｙ）を算出する。定期的にファンを作動させて微小異物を付着させ、この微小異物からの散乱光の光強度から算出した微小異物数が、微小異物数の累積値となる。図８は、上記数式１をグラフで表したものである。
【符号の説明】
【００４０】
１０・・・基板収納用トレイ
１１・・・底部
１２・・・枠部
１３・・・係合部
１４・・・位置決め部
１５・・・通孔部
１６・・・防塵用蓋
２０・・・ガラス基板
３０・・・パレット
４０・・・測定部
４１・・・測定部の筐体
４１Ａ、４１Ｂ・・・筐体の上室、下室
４３・・・微小異物付着用ガラス基板
４４・・・ファン
４５・・・レーザ光源
４６・・・光検出器
５０・・・情報出力部
５１・・・演算部
５２・・・モニター
６０・・・微小異物測定装置
７０・・・本発明によるパレット
７２、７３・・・開口部
８０・・・微小異物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板収納用トレイを積重するパレットに関するものであり、特に、基板収納用トレイを適切な頻度で洗浄するために、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできるパレットに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置やカラープラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の生産においては、ガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、基板収納用トレイが用いられている。この基板収納用トレイは、工程途中のガラス基板にも適用されるなど多岐にわたる使われ方がされている。
【０００３】
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、用いられるガラス基板の大型化が進んでいる。この大型ガラス基板を限られたスペースで、各ガラス基板が相互に接触することなく、安定して効率よく収納、工程搬送、輸送、保管することが可能な基板収納用トレイとして、様々な基板収納用トレイが提案されている。
【０００４】
例えば、特開２００４−１８６２４９には、液晶表示装置用カラーフィルタのガラス基板が収納されて上下方向に積重された複数の基板収納用トレイの各々から、ガラス基板を効率よく取り出すことができ、また、ガラス基板が取り出された空の基板収納用トレイを効率よく上下方向に積重することができる基板移載装置が開示されている。
【０００５】
図１は、上記基板移載装置にて用いられる基板収納用トレイ（１０）の一例を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ’線での拡大した断面図である。この基板収納用トレイ（１０）は、液晶表示装置用カラーフィルタに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下のガラス基板を収納して輸送するために用いられる。
【０００６】
基板収納用トレイ（１０）は、樹脂によって長方形状トレイに一体的に成形されており、輸送するガラス基板（２０）が、水平状態で載置される長方形状の底部（１１）と、底部（１１）の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部（１２）とを有している。
【０００７】
底部（１１）は、収納されるガラス基板（２０）よりも一廻り大きな長方形状であって、底部（１１）の上面にガラス基板（２０）が載置される。底部（１１）の四隅の近傍には、四角形状の通孔部（１５）が形成され、また、底部（１１）の各四隅の中間位置にも、及び底部（１１）の中央部にも通孔部（１５）が形成されている。
【０００８】
底部（１１）に設けられた各通孔部（１５）は、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を基板収納用トレイ（１０）から取り出すための支持ピンが、底部（１１）の下方から挿通されるように設けたものである。
枠部（１２）は、底部（１１）の側縁部の全周にわたって、例えば、底部（１１）の上面から５ｍｍ程度に突出して設けられており、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
【０００９】
枠部（１２）の上部には、フランジ状に突出する係合部（１３）がその全周にわたって設けられている。この係合部（１３）は、断面形状が長方形状であり、基板収納用トレイ
（１０）を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が、この係合部（１３）に係合するようになっている。
係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間には、段差が形成されており、この段差が上下に積重される基板収納用トレイ（１０）の位置決め部（１４）となる。
【００１０】
図３に示すように、ガラス基板（２０）が収納された基板収納用トレイ（１０）は、上下に複数が積重された状態で工程搬送、輸送、保管される。この際は、上記係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間の段差である位置決め部（１４）に、枠部（１２）の下端部が係合した状態になり、上下方向に積重された基板収納用トレイ（１０）同士は、水平方向に相互に位置ズレを起こすことはない。
また、上下方向に基板収納用トレイ（１０）の複数が積重された状態では、上下の係合部（１３）間に適当な間隔（Ｄ）が形成され、この部分で、上記チャッキング用の爪部が係合部（１３）と係合する。
【００１１】
図４は、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。図４に示すように、パレット（３０）上に、複数の基板収納用トレイ（１０）が積重され、最上部の基板収納用トレイ（１０）上に防塵用蓋（１６）が設けられた状態となる。積重する基板収納用トレイ（１０）の段数は、例えば、３０個程度である。
【００１２】
このように、パレット（３０）上に上下に積重された複数の基板収納用トレイ（１０）から、収納されたガラス基板（２０）を取り出す際には、例えば、基板異載装置（図示せず）が使用される。基板異載装置は搬送機構と取出機構で構成され、先ず搬送機構は、そのチャッキング用の爪部で防塵用蓋（１６）を取り除き、最上部の基板収納用トレイ（１０）の係合部（１３）に爪部を係合させ、最上部の基板収納用トレイ（１０）のみを持ち上げ取出機構のテーブル上に載置する。
【００１３】
取出機構の支持ピンは、基板収納用トレイ（１０）の下方から上昇し、底部（１１）の通孔部（１５）を挿通し、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を下方から支持ピン上に保持する。
支持ピンの上昇により生じたテーブルとガラス基板（２０）の間隙に、ロボットのフォークを水平に挿入し、ガラス基板（２０）を取出機構外へと搬出する。
【００１４】
さて、このような、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態のパレット（３０）は、クリーンルーム外で、搬送、保管されることがあるので、積重した基板収納用トレイ（１０）には微小異物が付着する。このため、適切な洗浄を基板収納用トレイ（１０）に施さないと、基板収納用トレイ（１０）に収納されているガラス基板に微小異物が付着してしまうことがある。
【００１５】
基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度の指標には、例えば、クリーンルーム外での使用回数、前回の洗浄からの経過期間などが用いられることがある。しかし、基板収納用トレイ（１０）への微小異物の付着状況は、基板収納用トレイ（１０）を積重したパレット（３０）を保管する周辺環境によっても大きく異なったものとなる。
従って、一定の指標で基板収納用トレイ（１０）の洗浄を施こすと、過剰な洗浄でコストが増大したり、或いは、洗浄が不十分なためガラス基板へ微小異物が付着し、不良を発生させてしまうといった問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００４−０５９１１６号公報
【特許文献２】特開２００４−１８６２４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、積重した基板収納用トレイに洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄が施されるように、基板収納用トレイを積重したパレットの周辺環境の空気中に含まれる微小異物を測定し、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできる、基板収納用トレイを積重するパレットを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、ガラス基板を水平に積載する基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００１９】
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）ａ）前記測定部の筐体は直方体であり、その内部空間は水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板で上室と下室に区分され、
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００２０】
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、下記数式１を用いることを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
【００２１】
【数２】
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられ、微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環
境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２３】
また、本発明は、測定部の筐体は直方体で上室と下室に区分され、筐体の前面上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、下室の底面部には、付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、演算部は、散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め閾値を越えたときに、モニターはトレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、前記数式１を用いるので、散乱光の光強度から微小異物数の累積値の算出が良好に行われる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】基板収納用トレイの一例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線での拡大した断面図である。
【図３】基板収納用トレイが積重された状態の説明図である。
【図４】複数の基板収納用トレイを上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。
【図５】（ａ）は、本発明によるパレットの一例における側面部を示す説明図である。 （ｂ）は、本発明によるパレットの上面から内部を示す説明図である。
【図６】（ａ）は、本発明における測定部の一例での前面の説明図である。（ｂ）は、測定部の左側面から内部を示す説明図である。（ｃ）は、測定部の上面から内部を示す説明図である。
【図７】微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物からの散乱光を受光する状態を示す説明図である。
【図８】数式１をグラフで表したものである。
【図９】情報出力部でのフローを例示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下に本発明を詳細に説明する。
図５（ａ）は、本発明による基板収納用トレイを積重するパレットの一例におけるパレットの側面部を示す説明図である。また、図５（ｂ）は、このパレットの上面から内部を示す説明図である。
【００２７】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、パレット（７０）の１側面部（７１）には、開口部（７２）、開口部（７３）が設けられている。開口部（７２）、開口部（７３）に対応し、パレット（７０）の内部に測定部（４０）と情報出力部（５０）で構成される微小異物測定装置（６０）が備えられている。開口部（７２）には、測定部（４０）の前面が配置され、また、開口部（７３）には、情報出力部（５０）のモニター（５２）が配置されている。
【００２８】
この微小異物測定装置（６０）の測定部（４０）は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部（５０）は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するようになっている。
従って、積重した基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
【００２９】
図６（ａ）は、本発明における測定部（４０）の一例での前面の説明図である。図６（ｂ）は、測定部（４０）の左側面から内部を示す説明図である。また、図６（ｃ）は、測定部（４０）の上面から内部を示す説明図である。
図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明における測定部（４０）の筐体（４１）は直方体の形状をしている。この直方体の内部空間は、水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板（４３）で上室（４１Ａ）と下室（４１Ｂ）に区分されている。
【００３０】
上室（４１Ａ）では、パレット（７０）の周辺環境の空気中の微小異物を透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させている。
また、下室（４１Ｂ）では、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を斜め下方で受光している。
【００３１】
筐体（４１）の前面（４２ａ）の上半部には、上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させるファン（４４）が設けられている。
筐体の下室（４１Ｂ）の底面部（４２ｂ）には、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源（４５）、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器（４６）が設けられている。
【００３２】
図６（ｃ）は、図５（ｂ）におけるＢ−Ｂ’線近傍を拡大したものである。測定部（４０）の内部は上面から順に、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）、その下方の底面部（４２ｂ）上にレーザ光源（４５）、及び光検出器（４６）が設けられている。
【００３３】
図７は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を受光する状態を示す説明図である。
測定部（４０）は、定期的にファン（４４）を作動させて上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み（図６中、白太矢印）、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させる。図７には付着した微小異物（８０）が表されている。
レーザ光源（４５）は、この付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射（ａ）して、微小異物からの散乱光（ｃ）を光検出器に受光させる。
【００３４】
照射（ａ）したレーザ光の一部は透過（ｂ）し、一部は散乱光（ｃ）となる。散乱光（ｃ）は照射したレーザ光が微小異物（８０）で乱反射した光であり、光検出器（４６）が受光するのは乱反射した光の一部である。
光検出器（４６）が受光する散乱光（ｃ）の光強度は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上へ付着する微小異物（８０）の増加に伴い大きくなる。
【００３５】
図５（ｂ）に示すように、情報出力部（５０）は、演算部（５１）とモニター（５２）
で構成されている。情報出力部（５０）の演算部（５１）は、この受光した散乱光（ｃ）の光強度から微小異物数の累積値を算出する。この累積値が、予め積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると設定された閾値を越えたときに、その旨をモニターは表示するようになっている。
図９は、上記情報出力部（５０）でのフローを例示したものである。
【００３６】
上記のように、本発明は、基板収納用トレイを積重したパレット（７０）が、搬送、保管される間での、各々異なる周辺環境で付着した微小異物数の累積値を、予め適切な時点であると設定された閾値と対比した結果をモニターに表示するので、適切な頻度で積重した基板収納用トレイに洗浄を施すことが可能となる。
【００３７】
本発明者は、上記微小異物測定装置（６０）を用い、散乱光の光強度と微小異物数との関係を具体的に精査し、下記数式１を見出した。この数式１を用いることにより、実際の作業において良好な結果が得られることが確認されている。
【００３８】
【数３】
【００３９】
光強度の増加率（倍）（ｘ）は、ガラス基板１０ｍｍ2 当たり、５０μｍφ以上の微小異物が３個以内である場合に受光した光強度を１としたときの、当該受光した光強度の増加率（倍）を表す。
微小異物数（個）（ｙ）は、当該増加率（倍）における、１０ｍｍ2 当たり、１００μｍφ以上の微小異物数（個）を表す。
つまり、当該受光した光強度の増加率（倍）（ｘ）から、微小異物数（個）（ｙ）を算出する。定期的にファンを作動させて微小異物を付着させ、この微小異物からの散乱光の光強度から算出した微小異物数が、微小異物数の累積値となる。図８は、上記数式１をグラフで表したものである。
【符号の説明】
【００４０】
１０・・・基板収納用トレイ
１１・・・底部
１２・・・枠部
１３・・・係合部
１４・・・位置決め部
１５・・・通孔部
１６・・・防塵用蓋
２０・・・ガラス基板
３０・・・パレット
４０・・・測定部
４１・・・測定部の筐体
４１Ａ、４１Ｂ・・・筐体の上室、下室
４３・・・微小異物付着用ガラス基板
４４・・・ファン
４５・・・レーザ光源
４６・・・光検出器
５０・・・情報出力部
５１・・・演算部
５２・・・モニター
６０・・・微小異物測定装置
７０・・・本発明によるパレット
７２、７３・・・開口部
８０・・・微小異物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を水平に積載する基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレット。
【請求項２】
１）ａ）前記測定部の筐体は直方体であり、その内部空間は水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板で上室と下室に区分され、
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする請求項１記載の基板収納用トレイを積重するパレット。
【請求項３】
前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、下記数式１を用いることを特徴とする請求項２記載の基板収納用トレイを積重するパレット。
【数１】
【請求項１】
ガラス基板を水平に積載する基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレット。
【請求項２】
１）ａ）前記測定部の筐体は直方体であり、その内部空間は水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板で上室と下室に区分され、
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする請求項１記載の基板収納用トレイを積重するパレット。
【請求項３】
前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、下記数式１を用いることを特徴とする請求項２記載の基板収納用トレイを積重するパレット。
【数１】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１１−１７８４６２（Ｐ２０１１−１７８４６２Ａ）
【公開日】平成２３年９月１５日（２０１１．９．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４７５５０（Ｐ２０１０−４７５５０）
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００００３１９３）凸版印刷株式会社 (10,630)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月１５日（２０１１．９．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００００３１９３）凸版印刷株式会社 (10,630)
【Ｆターム（参考）】
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