【課題】 帯体が傾いて巻き取り長さに異同を生じさせ、帯体の巻装に歪みが生じて一定の方向に曲がりやすくなるのを抑制できる帯体の巻取り方法を提供する。
【解決手段】 巻取り用コア１の周面２にキャリアテープ１０をトラバースして巻き取る帯体の巻取り方法であり、巻取り用コア１の一端部から他端部方向に向かうにしたがい周面２を半径外方向に傾斜させ、この周面２の傾きθを、０＜θ≦２ａｒｃｔａｎ〔キャリアテープの厚み／トラバースピッチ〕に基づくものとする。そして、巻取り用コア１にキャリアテープ１０を巻き取る場合に、巻き取ったキャリアテープ１０の側部にキャリアテープ１０の側部を重ねて重ね巻きする工程と、巻き取ったキャリアテープ１０の側部にキャリアテープ１０の側部を重ねることなく巻き取る工程とを交互に繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 冷温での保管を行うと同時に、フィルムの特性に悪影響を与えることがないダイシングダイボンディングフィルムの梱包構造等を提供する。
【解決手段】 梱包箱３は断熱性を有する樹脂製である。梱包箱３の内部には、一対の仕切り部材９が設けられて内部の空間が仕切られる。梱包箱３の両側方の空間が保冷材収納部５となり、中央の空間が製品収納部７となる。梱包箱３の側壁の厚みをｔ１（ｍｍ）、仕切り部材の厚みをｔ２（ｍｍ）、前記梱包箱の底面の厚みをｔ３（ｍｍ）、前記保冷材収納部の側壁側の表面積の和をＡ１（ｍｍ^２）、前記保冷材収納部の仕切り部材側の表面積をＡ２（ｍｍ^２）、前記保冷材収納部の底面側の表面積をＡ３（ｍｍ^２）とした場合に、Ｔ１＝Ａ１／ｔ１、Ｔ２＝Ａ２／ｔ２、Ｔ３＝Ａ３／ｔ３とすると、（Ｔ２／Ｔ１）が１．１〜２．０であり、（Ｔ３／Ｔ１）が０．３以下で設定される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、複数の電子部品が順次連結されてなる長尺部材が巻芯の囲りに多重に巻回されてその長尺部材の搬送の用に供する電子部品搬送用リールに関し、輸送中の長尺部材の荷崩れを防止しつつ輸送効率を高める。
【解決手段】 フランジ１１が、円形を基準とし、その円形の一部の円弧が、巻芯１２が存在する表面側に折り曲げられた折曲片１１１が、その円形の９０°ずつ回転した位置に合計４箇所形成された周縁形状を有する。 （もっと読む）

【課題】高度なクリーン度が要求される電子材料部品等を包装する無塵包装袋について、自動包装機による自動包装適性を改善する。
【解決手段】少なくとも最内層にシーラント層２を有する電子部品等包装用の無塵包装袋において、最外層４フィルムの裏面（隣接層との貼り合わせ面）に、ポリチオフェン系導電性高分子による帯電防止層を形成し、最外層フィルムの表面の摩擦帯電圧試験での初期帯電圧のピーク値が絶対値で２．０ｋＶ以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器及び基板収納容器用梱包体を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体４と、この容器本体４の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器１であって、容器本体４の上壁７、側壁９の外面に、この外面を覆い、且つ、容器本体４の外部と内部の間における熱伝導を抑制する断熱壁３１、３２、３３を設けてなる。さらに、蓋体、背面壁８、ボトムプレート１１を覆う断熱壁３４、３５、３６を追加することで、合計６枚の断熱壁により、基板収納容器用梱包体を構成することもできる。 （もっと読む）

【課題】供給側と排気側の何れにも用いることができるパージ用の開閉バルブを備えた基板収納容器及びこれを用いた気体の置換方法を提供する。
【解決手段】貫通孔４２が形成された円筒状のボール開閉弁４０を、下筒１０に回転自在に軸支し、ボール開閉弁４０を収容する保持筒３０を、下筒１０に対して軸線方向に移動可能に収容し、保持筒３０の内壁に、下筒１０を軸線方向に案内する第一カム溝４４と、下筒１０の移動に伴いボール開閉弁４２を回転させる第二カム溝４５とを形成する。そして、第一カム溝４４及び第二カム溝４５の案内によりボール開閉弁４０を回転させ、通常時は、貫通孔４２が軸線方向に対して垂直な方向を向かせることで、容器内部を気密に保持し、保持筒３０に対して下筒１０が容器内部側に移動させて、貫通孔４２が軸線方向に対して平行な方向を向かせることで、容器内外を連通させる。 （もっと読む）

【課題】梱包容器に取り付けて合紙の突出部の向きを所定方向に強制する合紙倒れ防止治具、及び、合紙倒れ防止治具を取り付けた梱包容器に合紙を介して複数のガラス基板を収容したガラス基板梱包体を提供する。
【解決手段】本合紙倒れ防止治具は、合紙とガラス基板とが交互に積層され、前記ガラス基板の一端から前記合紙の一部が突出している積層体を、前記合紙の突出部が略上を向くように収容する梱包容器に取り付けられる合紙倒れ防止治具であって、前記合紙の突出部を側面側から押圧し、前記合紙の突出部の向きを所定方向に強制する押圧部を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。
【解決手段】上部にブリージングフィルターユニットの通気開口に密着するノズル先端部３６、下部に半球面シール部３７を備えると共に、上部と下部をガス通路３８が貫通した構造のノズル３５と、上部に前記ノズル３５の半球面シール部３７を受けて保持するための凹型半球面シール部４３を備え、且つ中心にガス通路４５を備えたノズル受け４２、更に、前記ノズル３５の可動性を維持したまま、該ノズル３５をノズル受け４２に保持すべく、ノズル３５とノズル受け４２にＯリング溝４６および保持用Ｏリング４７をそれぞれ設けてＮ２ガスパージ装置におけるノズルユニットを形成する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの大きさに関係なく、しかもデバイスを治具から搬送トレイへ効率よく移し替ることが可能な搬送トレイを提供する。
【解決手段】複数のデバイスを収容して搬送する搬送トレイであって、複数のデバイスを支持する表面を有するデバイス支持部と、デバイス支持部の外周を囲繞して形成された枠部とを備えたトレイ本体と、トレイ本体のデバイス支持部の表面に装着されタック力を有するタック層とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される気体の流量を均一化することにより、例え容器本体に複数枚の基板が並べて収納されていても、短時間で気体を効率的に置換できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能な容器本体１と、容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を備え、容器本体１の底板３の後部両側に第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂを取り付け、底板３の前部両側に第一、第二の排気バルブ４０Ａ・４０Ｂを取り付ける。各給気バルブ３０Ａ・３０Ｂに、容器本体１の上下方向に伸びるノズル３４を備えてその周壁に半導体ウェーハＷの上下面にパージガスを噴出する複数の噴出孔を穿孔するとともに、各噴出孔から噴出されるパージガス流量の割合を平均値±２％以内の範囲に設定し、第一、第二の給気バルブ３０Ａ・３０Ｂのノズル３４から噴出されたパージガスが半導体ウェーハＷの前後方向中心線ｌ上で干渉しないようにする。 （もっと読む）

【課題】 識別部材が示す情報の変更を極めて容易に行うことができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口を有し前記開口を通して基板を収納させる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の底部に取り付けられるボトムプレートを備える基板収納容器である。前記ボトムプレートの識別領域に、貫通孔の開閉を行い、あるいは貫通孔に沿ってスライドする識別部材を備える。また、前記識別部材は、冶具を用いて貫通孔から取り外すようにし、あるいはスライドできるようにした。 （もっと読む）

【課題】マスクに貼り付けても、マスクに歪みを与えることの少ないリソグラフィー用ペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクルフレームの一方の端面に接着剤層を介してペリクル膜が張設され、他方の端面にマスク貼付側の面が平坦な粘着剤層が設けられ、かつその粘着力が１Ｎ／ｍから100Ｎ／ｍの範囲にあることを特徴とし、前記粘着剤層のマスク貼付側の面の平坦度を15μｍ以下とし、ペリクル膜が貼付された前記接着剤層の面の平坦度を15μｍ以下とするのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】輸送時の振動によりポリシリコンの表面とフィルムの内面とが擦れることによる樹脂粉の発生を効果的に防止でき、かつ外気を袋内に吸い込むことによる汚染を完全に防止することができるポリシリコンの新規な包装体の製造方法の提供。
【解決手段】製造方法は、ヤング率が２００〜１０００ＭＰａ、平均表面粗さ（Ｒａ）が０．０５〜０．１５μｍ、及び厚さが１２０〜３５０μｍである樹脂フィルムよりなる包装袋１に、その開口部よりポリシリコン３を充填し、次いで開口部より包装袋内を前記包装袋フィルムに内容物であるポリシリコンに密着した形状を型付けできる圧力で減圧し、包装袋をポリシリコンに密着せしめた後、開口部を大気に開放し、その後開口部を封止することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 少なくともひとつの辺長が５００ｍｍを超える矩形のペリクルを安全、確実かつ容易にハンドリングできるペリクルハンドリング治具を提供する。
【解決手段】 ペリクルフレームの一対の辺の外側面に沿って配置される２本の腕部を有し、該２本の各腕部はその一端で連結部に接続され、該連結部には操作部が設けられ、該２本の各腕部上には少なくとも２箇のペリクルフレーム把持手段が、任意の位置に移動ならびに固定可能な移動手段に搭載されていることを特徴とし、前記ペリクルフレーム把持手段の先端はピン形状または爪形状を有し、該先端をペリクルフレームの外側面に設けられた凹み部または溝部に挿入してペリクルの把持を行う。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ系樹脂を基材層とする表面導電性積層シートにおいて、スリットの方法やエンボス成形の際の打ち抜きで、どのような成形機に対しても抜きバリの発生が極めて少ないシートおよびそのシートを用いたキャリアテープ等の成形体を提供する。
【解決手段】ＡＢＳ樹脂を主成分とする基材層（Ａ層）と、少なくともその片側の表面が表面層（Ｂ層）で構成され、前記ＡＢＳ樹脂中のグラフトゴムが、アクリロニトリル（Ａｎ）が５〜１５質量％、ブタジエン（Ｂｄ）が４０〜６０質量％、およびスチレン（Ｓｔ）が５５〜２５質量％の組成比からなり、且つグラフト率が１００〜１４０％である表面導電性積層シート。 前記グラフトゴムのグラフト鎖の重量平均分子量（Ｍｗ）が、１８,０００〜５６,０００であること、更にグラフトゴムの体積平均粒子径が０．３〜２．０μｍであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】粘着層の粘着力を調整し易い基板搬送用部材を提供すること。
【解決手段】搬送する基板１６と接触（密着）する粘着層１２と、粘着層１２を固定する基材層１４（以下、ベース１４と称する）と、を備え、粘着層１２を、粘着材と充填材とを含んで構成させる。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣ用材料を輸送、運搬する際に発生する横揺れ等による材料のゆるみや巻きずれを防止することのできるＦＰＣ用材料ロール包装体、及びＦＰＣ用材料ロールの包装方法を提供すること。
【解決手段】巻取り管と、
前記巻取り管に巻かれたＦＰＣ用材料と、
前記ＦＰＣ用材料の外側に巻かれたラッピングフィルムと、を含むＦＰＣ用材料ロール包装体であって、
前記ラッピングフィルムが、前記ＦＰＣ用材料の両端部において少なくとも２回以上巻かれていると共に、前記ラッピングフィルムの両端部が前記巻取り管の内径部に折り込まれて固定された、ＦＰＣ用材料ロール包装体 （もっと読む）

【課題】ヘッダ部の図案などの印刷を鮮明にするとともに、ヘッダ部が腰を有するようにした食品用包装袋を提供する。
【解決手段】重ね合わされた表裏フィルム１０，２０の両側縁１１，２１をシールするとともに、表裏フィルム１０，２０の一端縁近傍を両側縁１１，２１間に亘ってシールして封止部５４を設けることにより、表裏フィルム１０，２０の一端縁と封止部５４との間にヘッダ部５１を設け、表裏フィルム１０，２０の他端縁側を開口部５２とし、開口部５２と表裏フィルム１０，２０の両側縁１１，２１と封止部５４とによって囲まれた内側に収納部５３を設け、開封起点となる切込線２１が裏フィルム２０の収納部５３内で封止部５４近傍に形成され、開封手段となる不透明なシート６０が裏フィルム２０によって設けられたヘッダ部５１及び切込線２１を塞ぐように重ね合わされ、切込線２１よりも開口部５２側の裏フィルム２０とシー６０トとが剥離不可能に貼付されている。 （もっと読む）

【課題】開口の寸法を大きく確保でき、且つ、載荷重に対する強度が大きい梱包ケースを提供する。
【解決手段】梱包ケース１は、段ボール板紙から形成される箱体２を有する。箱体２は、底壁４と、底壁４に対向する第１，２頂壁９，１０と、底壁４の周縁から第１，２頂壁９，１０の周縁に達して、相対向する一対の第１，２側壁５，６とを備える。箱体２には、開口３が形成される。開口３の外縁は、第１，２側壁５，６の上端辺４２，４３の中間部分４２ｃ，４３ｃからなる第１，２辺と、第１，２頂壁９，１０の端辺４６，４７からなる第３，４辺からなる。第１，２側壁５，６における開口３の第１，２辺に沿う範囲では、第１，２重合片１１，１２が接着されることで、段ボール板紙が複数重ね合わされる。 （もっと読む）